一种检测设备及其气路稳压方法技术

本申请公开了一种检测设备及其气路稳压方法，其中，检测设备包括用于支撑并带动被测件移动的承载装置、用于限制被测件相对承载装置移动的限位件以及由主要由管路和多个减压阀组合搭建而成的气路系统，管路的进气口连接气源，管路的出气口分别与限位件和设置于承载装置的通气孔连通，用于向两者提供预定压力的气体；多个减压阀依次分布在管路中，用以将气压逐级减小至管路的出气口所需要的预定压力。通过对减压阀的具体数量、进出气压力、量程以及排布方式等进行选择配置，可有效提高气路系统的气压控制精度，实现气体的高精度稳定输出，从而为精确平稳地控制限位件移动以及将被测件稳定在承载装置上面创造有利条件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检测，具体涉及一种检测设备及其气路稳压方法。

技术介绍

1、在对一些平面型待测件（例如晶圆）进行检测过程中，通常是通过真空吸附或气浮的方式将待测件固定在承载装置上，然后利用检测组件检测待测件表面是否存在缺陷。在使用气浮类型的承载装置对待测件进行固定时，还需要在待测件的边缘设置限位件对待测件进行定位或夹紧。为了方便对边缘的限位件进行控制，通常采用气动的方式对限位件进行控制，使限位件能够沿着承载装置的径向方向移动。

2、但是，通过气动方式对限位件进行控制时，通常对气动系统的控制精度有较高的要求，当控制精度较差时，限位件过慢移动会降低承载装置的使用效率，限位件过快移动则容易碰撞待测件，从而导致待测件损坏；另外，气动系统还用于为气浮类的承载装置进行供气，当吹气的气压不稳定时，会导致承载装置上方的待测件放置不稳定。

技术实现思路

1、本专利技术主要解决的技术问题是提供一种检测设备及其气路稳压方法，以通过稳定气路的压力达到提高控制精度的目的。

2、根据第一方面，一种实施例中提供一种检本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，沿从所述管路的进气口到出气口的气流传输方向，多个所述减压阀的量程逐级减小。

3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述减压阀的出气压力值位于减压阀量程的三分之一至三分之二之间。

4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述减压阀的出气压力值为减压阀量程的中间值。

5.如权利要求1-4中任一项所述的检测设备，其特征在于，所述管路的出气口包括连接承载装置的第一出气口和连接限位件的第二出气口，所述第一出气口与支撑被测件区域的多个通气孔连通，所述限位件包括卡...

【技术特征摘要】

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，沿从所述管路的进气口到出气口的气流传输方向，多个所述减压阀的量程逐级减小。

3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述减压阀的出气压力值位于减压阀量程的三分之一至三分之二之间。

4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述减压阀的出气压力值为减压阀量程的中间值。

5.如权利要求1-4中任一项所述的检测设备，其特征在于，所述管路的出气口包括连接承载装置的第一出气口和连接限位件的第二出气口，所述第一出气口与支撑被测件区域的多个通气孔连通，所述限位件包括卡头和气动驱动件，所述第二出气口与气动驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，张龙，黄有为，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：