散热器及其制备方法、半导体装置和电子设备制造方法及图纸

本申请提供一种散热器，包括导热的板体，所述板体中开设有收容腔以及处于所述收容腔上方的液冷通道收容腔。所述收容腔与所述液冷通道隔离且形成为封闭的腔体，所述收容腔具有靠近所述液冷通道的腔顶壁和远离所述液冷通道的腔底壁，所述收容腔中收容有冷却液体，所述冷却液体在所述收容腔腔底壁受热时汽化并在所述收容腔腔顶壁冷凝成液体；所述收容腔的腔壁上形成有毛细结构。本申请还提供应用该种散热器的半导体装置和电子装置、该散热器的制备方法。本申请的散热器，通过在导热的板体设置相互隔离的收容腔和液冷通道，消除了接触热阻，热量通过所述收容腔均温，提升了换热效率，再由液冷通道中的降温液体及时把热量带走，散热效果良好。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

pct国内申请，权...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢俊，吕建标，郑见涛，皮宇丹，苏玉，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：