【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光伏制造设备,特别是涉及一种炉门装置和扩散炉。
技术介绍
1、扩散炉是光伏生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
2、扩散炉包括了炉管和炉门,硅片进入炉管之后,关闭炉门并向炉内通入气体,硅片则在炉管内与各种气体在加热的状态下发生反应。但目前扩散炉的炉门在打开和关闭炉管的过程中,震动和噪音较大,容易磕坏炉管的管口。
技术实现思路
1、基于此,有必要针对目前扩散炉的炉门在打开和关闭炉管的过程中,震动和噪音较大,容易磕坏炉管的炉口的问题,提供一种炉门装置和扩散炉。
2、一种炉门装置,包括:
3、炉门本体;
4、调节件,与所述炉门本体相连,且可受控地带动所述炉门本体沿第一方向运动,所述第一方向与所述炉门本体的轴线所在方向平行;
5、液压缓冲器,安装于所述调节件上,且所述液压缓冲器包括沿第一方向可压缩的活塞杆,所述活塞杆的一端与所述炉门本体相抵接。
6、在其中一个实施例中,所述调节件与所述炉门本体的几何中心相连,所述液压缓冲器包括多个,多个所述液压缓冲器绕所述炉门本体的轴线间隔布设于所述调节件。
7、在其中一个实施例中,所述调节件包括连接部和多个缓冲部,所述连接部与所述炉门本体的几何中心相连,所述多个缓冲部呈放射状绕所述连接部的周向布设。
8、在其中一个实施例中,所述缓冲部背离所述连接部的一端
9、在其中一个实施例中,所述调节件还包括安装环,所述安装环环绕所述连接部设置,且连接每一所述缓冲部背离所述连接部的一端,全部所述液压缓冲器均设置于所述安装环。
10、在其中一个实施例中,所述炉门装置包括第一驱动件,所述第一驱动件与所述调节件传动相连,以驱动所述调节件带动所述炉门本体沿所述第一方向运动。
11、在其中一个实施例中,所述炉门装置还包括支架,所述支架的一端与所述第一驱动件传动连接;
12、所述调节件还包括固定部,所述固定部凸出设置于所述调节件背离所述炉门本体的一侧上,所述固定部的底部设置于所述支架的另一端。
13、在其中一个实施例中,所述炉门装置包括第二驱动件,所述第二驱动件与所述调节件传动连接,以驱动所述调节件带动所述炉门本体沿第二方向运动,所述第二方向与所述第一方向相交。
14、在其中一个实施例中,所述炉门本体包括石英门体和密封门体,所述密封门体的一侧设置有所述石英门体,相对的另一侧设置所述调节件。
15、一种扩散炉,包括炉管和如上任一项所述的炉门装置,所述炉门装置用于打开和关闭所述炉管。
16、上述炉门装置,当炉门本体以一定初速度与炉管的管口相接触时,炉管与炉门本体产生的冲击会作用在液压缓冲器的活塞杆上,并压缩活塞杆,而活塞杆在压缩的过程中,能够通过液压缓冲器中的液压油来提供活塞杆一个近乎固定大小的抵抗力,从而使得活塞杆的动能转换为热能,最后散发到空气中。也就是说,炉门本体与炉管接触时产生的冲击会被液压缓冲器所吸收,从而降低炉门本体关闭炉管时所产生的震动和噪音,并且减少炉门本体磕坏炉管的概率,进而达到提升扩散炉的开机率,延长机械寿命,降低维护成本,简化机械设计,提高半导体的生产效率等效果。
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1.一种炉门装置,其特征在于,所述炉门装置包括:
2.根据权利要求1所述的炉门装置,其特征在于,所述调节件(20)与所述炉门本体(10)的几何中心相连,所述液压缓冲器(30)包括多个,多个所述液压缓冲器(30)绕所述炉门本体(10)的轴线间隔布设于所述调节件(20)。
3.根据权利要求2所述的炉门装置,其特征在于,所述调节件(20)包括连接部(21)和多个缓冲部(22),所述连接部(21)与所述炉门本体(10)的几何中心相连,所述多个缓冲部(22)呈放射状绕所述连接部(21)的周向布设。
4.根据权利要求3所述的炉门装置,其特征在于,所述缓冲部(22)背离所述连接部(21)的一端均设置有所述液压缓冲器(30)。
5.根据权利要求3所述的炉门装置,其特征在于,所述调节件(20)还包括安装环(23),所述安装环(23)环绕所述连接部(21)设置,且连接每一所述缓冲部(22)背离所述连接部(21)的一端,全部所述液压缓冲器(30)均设置于所述安装环(23)。
6.根据权利要求1所述的炉门装置,其特征在于,所述炉门装置包括第一驱
7.根据权利要求6所述的炉门装置,其特征在于,所述炉门装置还包括支架(41),所述支架(41)的一端与所述第一驱动件(40)传动连接;
8.根据权利要求6所述的炉门装置,其特征在于,所述炉门装置包括第二驱动件(42),所述第二驱动件(42)与所述调节件(20)传动连接,以驱动所述调节件(20)带动所述炉门本体(10)沿第二方向(Y)运动,所述第二方向(Y)与所述第一方向(X)相交。
9.根据权利要求1所述的炉门装置,其特征在于,所述炉门本体(10)包括石英门体(11)和密封门体(12),所述密封门体(12)的一侧设置有所述石英门体(11),相对的另一侧设置所述调节件(20)。
10.一种扩散炉,其特征在于,包括炉管和如权利要求1-9任一项所述的炉门装置,所述炉门装置用于打开和关闭所述炉管。
...【技术特征摘要】
1.一种炉门装置,其特征在于,所述炉门装置包括:
2.根据权利要求1所述的炉门装置,其特征在于,所述调节件(20)与所述炉门本体(10)的几何中心相连,所述液压缓冲器(30)包括多个,多个所述液压缓冲器(30)绕所述炉门本体(10)的轴线间隔布设于所述调节件(20)。
3.根据权利要求2所述的炉门装置,其特征在于,所述调节件(20)包括连接部(21)和多个缓冲部(22),所述连接部(21)与所述炉门本体(10)的几何中心相连,所述多个缓冲部(22)呈放射状绕所述连接部(21)的周向布设。
4.根据权利要求3所述的炉门装置,其特征在于,所述缓冲部(22)背离所述连接部(21)的一端均设置有所述液压缓冲器(30)。
5.根据权利要求3所述的炉门装置,其特征在于,所述调节件(20)还包括安装环(23),所述安装环(23)环绕所述连接部(21)设置,且连接每一所述缓冲部(22)背离所述连接部(21)的一端,全部所述液压缓冲器(30)均设置于所述安装环(23)。
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹炜博,廖宝臣,陈云,陈程,种世平,张敏,安丽娟,
申请(专利权)人:江苏微导纳米科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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