波导总线加波导支线结构的行列寻址光学扫描芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种波导总线加波导支线结构的行列寻址光学扫描芯片，包括总线波导、支线波导、支线光开关、光开关光栅阵列、行选择电路及PAD点、列选择电路及PAD点。光信号列选择路径的切换由支线光开关控制，当支线光开关处于“开”状态时，光信号被导入其所对应的波导支线中，通过对行选择电路及PAD点进行通电，实现所对应控制列上的光开关加光栅单元中的光开关实现“开”状态，将光信号从支线波导导入对应光开关加光栅单元，将光束由其中的光栅天线发出。通过遍历光开关光栅阵列里面所有的光开关光栅单元，实现所有天线单元的发射，完成激光雷达扫描芯片一帧信号的发射，通过接收端接收处理，从而实现激光雷达投影面信息的采集。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微纳光学器件领域，特别涉及一种波导总线加波导支线结构的行列寻址光学扫描芯片。

技术介绍

1、近年来，利用透镜辅助光束操控（lens-assisted beam steering，labs）来实现激光雷达光束发射的方案被提出并获得一定研究。其主要通过依次控制光开关光栅阵列中光开关的“开”、“闭”状态，实现位于透镜焦平面上光开关阵列后接入的各光栅天线单元的依次光束发射，光束通过透镜的折射，根据几何光学原理，实现发射光束和投射面上投射点的一一对应，当位于焦平面上的所有光栅天线完成遍历，由投射点发射后接收的光信号形成投射面的点云数据，由此获得远场物象信息。以往文献中基于labs设计的通过行列选择控制光栅光束发射的方法需要至少m+n个电极来实现对所有光栅单元的控制，

技术实现思路

1、本专利技术目的是：提供一种波导总线加波导支线结构的行列寻址光学扫描芯片，通过特殊设计的光路及电路布线方式，在其中行（或列）一个方向上的控制电极中采用单线双控方法，同时控制处于不同支线光路中的光开关单元工作，从而实现全部光栅天本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.波导总线加波导支线结构的行列寻址光学扫描芯片，其特征在于，包括一条总线波导（1）、多条支线波导（2）、支线光开关（3）、光开关光栅阵列（4）、行选择电路及PAD点（6）、列选择电路及PAD点（7）、行选择电路（8）和列选择电路（9）；

2.根据权利要求1所述的波导总线加波导支线结构的行列寻址光学扫描芯片，其特征在于，所述光开关加光栅单元（5），其光开关为静电吸附式MEMS微执行器的垂直耦合的光开关，天线为光栅天线；

3.根据权利要求2所述的波导总线加波导支线结构的行列寻址光学扫描芯片，其特征在于，所述行选择信号和列选择信号同时加载到MEMS上下耦合端的各自电极...

【技术特征摘要】

1.波导总线加波导支线结构的行列寻址光学扫描芯片，其特征在于，包括一条总线波导（1）、多条支线波导（2）、支线光开关（3）、光开关光栅阵列（4）、行选择电路及pad点（6）、列选择电路及pad点（7）、行选择电路（8）和列选择电路（9）；

2.根据权利要求1所述的波导总线加波导支线结构的行列寻址光学扫描芯片，其特征在于，所述光开关加光栅单元（5），其光开关为静电吸附式mems微执行器的垂直耦合的光开关，天线为光栅天线；

3.根据权利要求2所述的波导总线加波导支线结构的行列寻址光学扫描芯片，其特征在于，所述行选择信号和列选择信号同时加载到mems上下耦合端的各自电极上的时候，mems微动执行器在静...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚子君，任李营，刘思源，崔博文，王臣，何伟基，
申请(专利权)人：中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心，
类型：发明
国别省市：