【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及尾气回收再利用，特别涉及一种蚀刻线尾气回收再利用装置及回收再利用工艺。
技术介绍
1、在印制电路板制造中，传统的印制电路板都是以化学反应方式将pcb板上不需要有的部分铜予以除去，使其形成所需的电路图形，而作为电路图形部分采用的图形转移或涂网印的方式使有机化合物体系的光致抗体蚀剂或采用金属抗蚀层覆盖电路图形表面，防止金属铜被蚀刻掉，因此，蚀刻工艺是目前制造印制板电路板中不可缺少的重要步骤，pcb酸性蚀刻液所采用的抗蚀剂是涂网印或涂覆抗蚀干膜、液体光致抗蚀剂等材料，适用于生产多层板的内层蚀刻板，印制电路板的制造不仅消耗大量的水和能量，而且产生对环境和人类健康有害的化学物质，由于在生产过程中会产生废气和易挥发的氯化氢气体，两者都会污染环境，同时也会操作人员的身体健康，所以需要通过尾气处理装置对其进行处理。
2、如申请号为202011485842.2公开了一种含hf/hcl蚀刻尾气ftrpsa分离与回收循环再利用方法，含有hf/hcl干法蚀刻尾气先后经过预处理、氯硅烷/hcl喷淋吸收、中温变压吸附、hf精馏、多级蒸发/压缩/冷凝、hcl精制、氯硅烷中浅冷精馏与尾气吸收工序，从中获得纯度大于等于99.99％的hf与hcl产品气，并返回干法蚀刻制程中循环使用，其中，中温变压吸附为二段psa、hf精馏为上下两段、hcl精制为两塔精馏。
3、基于上述方案，通过在处理蚀刻线尾气回收再利用的过程中，针对将逸出的氯化氢气体收集并通入酸性蚀刻液进行混合反应时，气液未完全反应，氯化氢气体的利用率较低，影响酸性蚀刻液的
4、因此，通过一种蚀刻线尾气回收再利用装置及回收再利用工艺来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种蚀刻线尾气回收再利用装置及回收再利用工艺，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种蚀刻线尾气回收再利用装置，包括蚀刻组件、气体收集组件、搅拌组件、循环上料组件和尾气处理组件，所述搅拌组件设置于蚀刻组件的内部，所述蚀刻组件设置于尾气处理组件和气体收集组件之间，且循环上料组件设置于气体收集组件的下方。
3、所述气体收集组件包括气体收集罐，所述气体收集罐的顶端固定设置有抽气管，所述抽气管远离气体收集罐的一端固定设置有收集罩，所述气体收集罐的一侧固定设置有第一送气管，所述气体收集罐远离第一送气管的一端固定设置有第二送气管，所述第一送气管的一端固定设置有安装接头。
4、所述搅拌组件包括电机，所述电机输出轴的一端固定设置有搅拌筒，所述搅拌筒的表面固定设置有搅拌叶，所述搅拌筒的内部开设有通气腔，所述搅拌筒的表面固定设置有高压喷头，所述高压喷头与通气腔相连通。
5、优选的，所述第一送气管的表面固定设置有第一抽气泵，所述第二送气管的表面固定设置有第二抽气泵，所述气体收集罐的内部设置有控制泵，所述抽气管远离收集罩的一端与控制泵的输入端相连接。
6、优选的，所述安装接头设置于第一送气管与搅拌筒之间，所述安装接头的内部开设有通气道，且安装接头与搅拌筒相连通，所述搅拌筒与安装接头相连接的位置开设有转动槽。
7、优选的，所述搅拌叶的表面开设有多个过滤孔，所述搅拌叶和高压喷头的数量均设置有多个，且搅拌叶和高压喷头呈交叉设置于搅拌筒的表面。
8、优选的，所述蚀刻组件包括蚀刻室和回收室，所述回收室的内部固定设置有蚀刻液储存箱，所述蚀刻液储存箱的上方设置有进液管，所述蚀刻室的内部固定设置有蚀刻喷淋管，所述进液管的一端与蚀刻喷淋管相连通，所述蚀刻液储存箱的内部设置有玻璃电极，所述收集罩设置于回收室的内部。
9、优选的，所述尾气处理组件包括废气塔，所述废气塔的一侧固定设置有进风管，所述进风管的一端固定设置有尾气收集管，所述尾气收集管设置于蚀刻室的内部，所述废气塔的顶端固定设置有尾气排放管，所述废气塔的下方固定设置有储液罐，所述储液罐的一侧固定设置有排液管。
10、优选的，所述废气塔的内部固定设置有填料层，所述填料层的上方固定设置有喷管，所述喷管的表面固定设置有喷嘴，所述喷管的一端固定设置有分流管，所述分流管的下端固定设置有水泵，所述水泵远离分流管的一端固定设置有输水管，所述输水管远离水泵的一端固定设置有药水箱。
11、优选的，所述循环上料组件包括箱体支架，箱体支架的内部固定设置有第一反应箱和第二反应箱，且第一反应箱设置于第二反应箱的上方，第一反应箱的一侧固定设置有第一输送管，第二反应箱的一侧固定设置有第二输送管，所述第二送气管的一端设置于第一反应箱的内部。
12、优选的，所述第一输送管和第二输送管均固定设置于蚀刻液储存箱的内部，所述第一输送管与蚀刻液储存箱相连接的位置开设有第一进液槽，所述第二输送管与蚀刻液储存箱相连接的位置开设有第二进液槽。
13、一种蚀刻线尾气回收再利用工艺，具体使用方法步骤如下：
14、s1、首先通过气体收集组件对蚀刻组件内的逸出的气体进行收集，然后根据实际监测情况将气体收集组件内的气体通入蚀刻组件中的蚀刻液进行反应；
15、s2、其次通过设置搅拌组件，使蚀刻组件内通入的气体与蚀刻液进行充分搅拌，使两者充分反应提高利用率，从而实现回收利用的目的；
16、s3、然后通过设置循环上料组件实现蚀刻液的快速上料，避免影响蚀刻组件的蚀刻工作的正常运行；
17、s4、最后通过尾气处理组件将蚀刻组件在工作过程中产生的尾气收集并对其进行净化处理，最终将净化后的尾气排放至空中。
18、本专利技术的技术效果和优点：
19、1、本专利技术通过尾气处理组件对蚀刻室内蚀刻喷淋过程中的蚀刻废气进行净化处理，但是为了实现对尾气回收再利用，通过气体收集组件对逸出的氯化氢气体进行回收再利用，从而减少了废气塔处理的尾气量，且也减少了药水箱内药水的添加量，减少了生产成本。
20、2、本专利技术通过设置气体收集组件和搅拌组件相互配合，提高氯化氢气体与酸性蚀刻液的气液混合程度，通过搅拌筒和搅拌叶相互配合，对酸性蚀刻液进行充分搅拌，通过搅拌筒和高压喷头相互配合，对氯化氢气体进行多方位喷射，提高氯化氢的溶解程度。
21、3、本专利技术通过玻璃电极检测出酸性蚀刻液的ph值以及观察a和b的变化，即可判断出氯化氢气体的溶解程度，继而通过气体收集组件和搅拌组件相互配合根据氯化氢气体的不同溶解情况进行相应的处理，且通过循环上料组件，保证蚀刻组件的正常工作，使酸性蚀刻液能够实现循环利用的目的，大幅度提高氯化氢气体的利用率，避免因局部饱和导致氯化氢气体逸出使酸性蚀刻液的浓度过低，影响蚀刻效果。
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1.一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：包括蚀刻组件(1)、气体收集组件(2)、搅拌组件(3)、循环上料组件(4)和尾气处理组件(5)，所述搅拌组件(3)设置于蚀刻组件(1)的内部，所述蚀刻组件(1)设置于尾气处理组件(5)和气体收集组件(2)之间，且循环上料组件(4)设置于气体收集组件(2)的下方；
2.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述第一送气管(204)的表面固定设置有第一抽气泵(205)，所述第二送气管(206)的表面固定设置有第二抽气泵(207)，所述气体收集罐(201)的内部设置有控制泵，所述抽气管(202)远离收集罩(203)的一端与控制泵的输入端相连接。
3.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述安装接头(208)设置于第一送气管(204)与搅拌筒(301)之间，所述安装接头(208)的内部开设有通气道，且安装接头(208)与搅拌筒(301)相连通，所述搅拌筒(301)与安装接头(208)相连接的位置开设有转动槽。
4.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用
5.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述蚀刻组件(1)包括蚀刻室(101)和回收室(102)，所述回收室(102)的内部固定设置有蚀刻液储存箱(103)，所述蚀刻液储存箱(103)的上方设置有进液管(104)，所述蚀刻室(101)的内部固定设置有蚀刻喷淋管，所述进液管(104)的一端与蚀刻喷淋管相连通，所述蚀刻液储存箱(103)的内部设置有玻璃电极，所述收集罩(203)设置于回收室(102)的内部。
6.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述尾气处理组件(5)包括废气塔(501)，所述废气塔(501)的一侧固定设置有进风管(502)，所述进风管(502)的一端固定设置有尾气收集管(503)，所述尾气收集管(503)设置于蚀刻室(101)的内部，所述废气塔(501)的顶端固定设置有尾气排放管(504)，所述废气塔(501)的下方固定设置有储液罐(505)，所述储液罐(505)的一侧固定设置有排液管(506)。
7.根据权利要求6所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述废气塔(501)的内部固定设置有填料层(507)，所述填料层(507)的上方固定设置有喷管(508)，所述喷管(508)的表面固定设置有喷嘴(509)，所述喷管(508)的一端固定设置有分流管(510)，所述分流管(510)的下端固定设置有水泵(511)，所述水泵(511)远离分流管(510)的一端固定设置有输水管(512)，所述输水管(512)远离水泵(511)的一端固定设置有药水箱(513)。
8.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述循环上料组件(4)包括箱体支架(401)，箱体支架(401)的内部固定设置有第一反应箱(402)和第二反应箱(403)，且第一反应箱(402)设置于第二反应箱(403)的上方，第一反应箱(402)的一侧固定设置有第一输送管(405)，第二反应箱(403)的一侧固定设置有第二输送管(404)，所述第二送气管(206)的一端设置于第一反应箱(402)的内部。
9.根据权利要求8所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述第一输送管(405)和第二输送管(404)均固定设置于蚀刻液储存箱(103)的内部，所述第一输送管(405)与蚀刻液储存箱(103)相连接的位置开设有第一进液槽(105)，所述第二输送管(404)与蚀刻液储存箱(103)相连接的位置开设有第二进液槽(106)。
10.一种蚀刻线尾气回收再利用工艺，该工艺是利用如权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置来实现的，其特征在于：具体使用方法步骤如下：
...【技术特征摘要】
1.一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：包括蚀刻组件(1)、气体收集组件(2)、搅拌组件(3)、循环上料组件(4)和尾气处理组件(5)，所述搅拌组件(3)设置于蚀刻组件(1)的内部，所述蚀刻组件(1)设置于尾气处理组件(5)和气体收集组件(2)之间，且循环上料组件(4)设置于气体收集组件(2)的下方；
2.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述第一送气管(204)的表面固定设置有第一抽气泵(205)，所述第二送气管(206)的表面固定设置有第二抽气泵(207)，所述气体收集罐(201)的内部设置有控制泵，所述抽气管(202)远离收集罩(203)的一端与控制泵的输入端相连接。
3.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述安装接头(208)设置于第一送气管(204)与搅拌筒(301)之间，所述安装接头(208)的内部开设有通气道，且安装接头(208)与搅拌筒(301)相连通，所述搅拌筒(301)与安装接头(208)相连接的位置开设有转动槽。
4.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述搅拌叶(303)的表面开设有多个过滤孔(304)，所述搅拌叶(303)和高压喷头(305)的数量均设置有多个，且搅拌叶(303)和高压喷头(305)呈交叉设置于搅拌筒(301)的表面。
5.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述蚀刻组件(1)包括蚀刻室(101)和回收室(102)，所述回收室(102)的内部固定设置有蚀刻液储存箱(103)，所述蚀刻液储存箱(103)的上方设置有进液管(104)，所述蚀刻室(101)的内部固定设置有蚀刻喷淋管，所述进液管(104)的一端与蚀刻喷淋管相连通，所述蚀刻液储存箱(103)的内部设置有玻璃电极，所述收集罩(203)设置于回收室(102)的内部。
6.根据权利要求1所述的一种蚀刻线尾气回收再利用装置，其特征在于：所述尾气处理组件(5)包括废气塔(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：张建军，何国雄，陈清华，曹尚书，周京萍，
申请(专利权)人：深圳市京中康科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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