反应装置、生长装置及生长设备制造方法及图纸

技术编号：40356247 阅读：9 留言：0更新日期：2024-02-09 14:41

本申请实施例提供一种反应装置、生长装置及生长设备，通过设置环形反应器，环形反应器的内部具有至少一个环形腔室，且环形反应器上设有进气口和出气口，进气口和出气口均与至少一个环形腔室连通，能够促使通过进气口进入至少一个环形腔室的反应气体能够与至少一个环形腔室内的金属源充分接触，从而能够有效提高反应气体与金属源的反应转换效率，在一定程度上提高晶体的生长速率。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

pct国内申请，权...

【专利技术属性】
技术研发人员：申健，郭伟明，陈丙振，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人