【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光测试，尤其涉及一种激光脉宽测试装置。
技术介绍
1、激光脉宽指激光脉冲的持续时间，通常以秒或纳秒为单位衡量，是激光加工的重要参数之一。对于皮秒和飞秒等超快激光器，常常需要测试其激光脉宽，但是由于超快激光器的峰值功率非常高，以医用高脉冲皮秒激光器为例，其单脉冲能量达到1j，峰值功率达到3gw，而探测脉宽的光电检测器所能承受的脉冲峰值功率非常低，一般只有几十毫瓦，功率需要衰减千亿倍级。
2、相关技术中，在激光器与光电探测器中间加多个衰减片，通过各个衰减片进行对激光器的输出激光能量进行层层衰减，再通过探测器进行脉宽测试。一般而言，为了达到衰减目的，需要加5到6片衰减片。然而，超快激光的峰值功率较高，靠近激光器的衰减片由于吸收了大部分激光能量，因而容易被打爆，导致衰减片受损而影响脉宽测试。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种激光脉宽测试装置，旨在避免衰减片被激光打爆，确保衰减片进行正常衰减，以保证脉宽测试结果。
2、为了实现上述目的，本专利技术提出的一种激光脉宽测试装置，所述激光脉宽测试装置包括底座、分束组件、衰减片以及光电探测器，所述分束组件设于所述底座，并位于所述激光器的出光侧，所述分束组件用于对激光进行透射和反射，以对激光进行分束；所述衰减片设于所述分束组件的激光反射路径，以对反射后的激光进行衰减；所述光电探测器设于所述衰减片的透光侧，以对激光进行探测。
3、可选地，激光脉宽测试装置还包括吸光组件，所述吸光组件设于分束
4、可选地，所述分束组件包括第一分束镜和第二分束镜，所述第一分束镜设于所述底座，并位于所述激光器的出光侧，所述第一分束镜用于对激光进行透射和反射；所述第二分束镜设于所述第一分束镜的激光反射路径上，所述第二分束镜用于对激光进行透射和反射；所述衰减片设于所述第二分束镜的反射路径上，以对激光进行衰减。
5、可选地，所述激光脉宽测试装置还包括第一吸光件和第二吸光件，所述第一吸光件设于所述第一分束镜的背向一侧，以对透射于所述第一分束镜的激光进行吸收；所述第二吸光件设于所述第二分束镜的背向一侧，以对透射于所述第二分束镜的激光进行吸收。
6、可选地，所述第一吸光件具有第一激光接收面和第二激光接收面，所述第一激光接收面和第二激光接收面呈夹角连接，并与第一分束镜围合形成第一吸光腔；所述第二吸光件具有第三激光接收面和第四激光接收面，所述第三激光接收面和第四激光接收面呈夹角连接，并与所述第二分束镜围合形成第二吸光腔。
7、可选地，所述第一激光接收面和所述第二激光接收面的夹角范围为29.5度～30.5度。和/或，所述第三激光接收面和所述第四激光接收面的夹角范围为29.5度～30.5度。
8、可选地，所述第一激光接收面和所述第二激光接收面与所述底座的本体一体化成型设置。和/或，所述第三激光接收面和所述第四激光接收面与所述底座的本体一体化成型设置。
9、可选地，所述第一分束镜背离入光侧的一面设有增透膜。和/或，所述第二分束镜背离入光侧的一面设有增透膜。
10、可选地，所述衰减片的入光面和出光面分别设有增透膜。和/或，所述衰减片的数量为多个，多个所述衰减片沿所述分束组件的出光方向间隔设置。
11、可选地，所述激光脉宽测试装置还包括光阑，所述光阑设于所述分束组件和所述衰减片之间，所述光阑设有透光孔，所述透光孔用于供所述分束组件反射出的激光穿过并到达所述衰减片。
12、可选地，所述分束组件可旋转设置，以调节所述分束组件反射出的激光与透光孔轴心的夹角。
13、可选地，激光脉宽测试装置还包括有扩束镜，所述扩束镜嵌设安装于透光孔。
14、本专利技术的技术方案中，分束组件对超快激光器输出的激光进行分束，其中，大部分激光通过分束组件进行透射，小部分激光通过分束组件进行反射后再通过衰减片进行衰减，经衰减片进行衰减后的激光可直接被光电探测器进行探测。
15、相比于超快激光的峰值功率较高，靠近激光器的衰减片由于吸收了大部分激光能量，因而容易被打爆。本专利技术的技术方案中，在靠近激光器的一侧先设置有分束组件和吸光组件用于对超快激光进行反射衰减和透射，经反射衰减后的激光再传导到衰减片进行衰减，因此可以降低传播到衰减片上的激光能量，避免靠近激光器的衰减片被打爆的现象，确保衰减片进行正常衰减，有利于保证脉宽测试结果。
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1.一种激光脉宽测试装置，用于对激光器进行脉宽测试，其特征在于，所述激光脉宽测试装置包括：
2.如权利要求1所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述分束组件包括：
3.如权利要求2所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述激光脉宽测试装置还包括第一吸光件和第二吸光件，所述第一吸光件设于所述第一分束镜的背向一侧，以对透射于所述第一分束镜的激光进行吸收；所述第二吸光件设于所述第二分束镜的背向一侧，以对透射于所述第二分束镜的激光进行吸收。
4.如权利要求3所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述第一吸光件具有第一激光接收面和第二激光接收面，所述第一激光接收面和第二激光接收面呈夹角连接，并与第一分束镜围合形成第一吸光腔；
5.如权利要求4所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述第一激光接收面和所述第二激光接收面的夹角范围为29.5度～30.5度；
6.如权利要求4所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述第一激光接收面和所述第二激光接收面与所述底座的本体一体化成型设置；
7.如权利要求2至6任一所述的激光脉宽测试装置，其
8.如权利要求1至6任一所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述衰减片的入光面和出光面分别设有增透膜；
9.如权利要求1至6任一所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述激光脉宽测试装置还包括光阑，所述光阑设于所述分束组件和所述衰减片之间，所述光阑设有透光孔，所述透光孔用于供所述分束组件反射出的激光穿过并到达所述衰减片。
10.如权利要求9所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述分束组件可旋转设置，以调节所述分束组件反射出的激光与透光孔轴心的夹角。
...【技术特征摘要】
1.一种激光脉宽测试装置，用于对激光器进行脉宽测试，其特征在于，所述激光脉宽测试装置包括：
2.如权利要求1所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述分束组件包括：
3.如权利要求2所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述激光脉宽测试装置还包括第一吸光件和第二吸光件，所述第一吸光件设于所述第一分束镜的背向一侧，以对透射于所述第一分束镜的激光进行吸收；所述第二吸光件设于所述第二分束镜的背向一侧，以对透射于所述第二分束镜的激光进行吸收。
4.如权利要求3所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述第一吸光件具有第一激光接收面和第二激光接收面，所述第一激光接收面和第二激光接收面呈夹角连接，并与第一分束镜围合形成第一吸光腔；
5.如权利要求4所述的激光脉宽测试装置，其特征在于，所述第一激光接收面和所述第二激光接收面的夹角范围...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：深圳半岛医疗集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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