一种晶圆自动贴膜机及贴膜工艺制造技术

本发明专利技术公开一种晶圆自动贴膜机，其包括搬运机构、上料料仓、供料机构、相机定位组件、暂存机构、贴膜平台、贴膜机构和裁切机构，暂存机构包括暂存平台，暂存平台用于承载晶圆，相机定位组件被配置为获取晶圆的位置信息，贴膜机构被配置为贴膜料，上述晶圆自动贴膜机采用相机定位组件取代传统的晶圆寻边器，贴膜平台集多功能于一体，能一次性将产品贴膜完成，无需分多次在不同设备上贴膜，大大提高了生产效率，降低了晶圆贴膜后的损坏率，同时减低了生产成本，不仅结构简单、设计巧妙，而且一次性可以对晶圆贴两层甚至更多层膜，同时也可以调整贴膜角度，无需分多次贴膜，另外一定尺寸范围内的晶圆都可以在同一平台上贴膜，显著提高了兼容性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体制造，尤其是涉及一种晶圆自动贴膜机及贴膜工艺。

技术介绍

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒再经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

2、众所周知，在晶圆的加工过程中，通过要在晶圆表面贴多个保护膜，以在切割晶圆时保护晶圆，目前晶圆贴膜大多依靠人工手动贴附，不仅效率低下，还容易使产品受损，严重制约了产能增长。而市面上现有的自动化贴膜机，一般都需要先使用晶圆寻边器进行粗定位，再进行贴膜，成本比较贵。另外现有的自动化贴膜机功能单一，只能固定位贴一次膜，满足不了日益复杂的贴膜工艺需求，亟需解决。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种晶圆自动贴膜机及贴膜工艺，以解决现有技术中常规的自动贴膜机功能单一，无法实现复杂工艺要求的自动贴膜。

2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：

3、第一方面，提供一种晶圆自动贴膜机，其包括机架，所述机架上设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆自动贴膜机，其特征在于，所述晶圆自动贴膜机包括机架，所述机架上设置有搬运机构、上料料仓、下料料仓、供料机构、相机定位组件、暂存机构、贴膜平台、贴膜机构和裁切机构，其中，

2.根据权利要求1所述的晶圆自动贴膜机，其特征在于，所述相机定位组件包括CCD工业相机、相机支架和拍照光源，所述相机支架能拆装地安装在所述机架上，所述CCD工业相机固定安装在所述相机支架的顶端，所述拍照光源固定设置于所述相机支架的底端，所述CCD工业相机与所述拍照光源之件预留有供所述吸附平台通过的间隙。

3.根据权利要求1所述的晶圆自动贴膜机，其特征在于，所述暂存机构包括暂存架和调整单...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆自动贴膜机，其特征在于，所述晶圆自动贴膜机包括机架，所述机架上设置有搬运机构、上料料仓、下料料仓、供料机构、相机定位组件、暂存机构、贴膜平台、贴膜机构和裁切机构，其中，

2.根据权利要求1所述的晶圆自动贴膜机，其特征在于，所述相机定位组件包括ccd工业相机、相机支架和拍照光源，所述相机支架能拆装地安装在所述机架上，所述ccd工业相机固定安装在所述相机支架的顶端，所述拍照光源固定设置于所述相机支架的底端，所述ccd工业相机与所述拍照光源之件预留有供所述吸附平台通过的间隙。

3.根据权利要求1所述的晶圆自动贴膜机，其特征在于，所述暂存机构包括暂存架和调整单元，所述暂存平台设置在所述暂存架上，所述调整单元包括第一调整组件、第二调整组件和旋转调整组件，所述第一调整组件被配置为驱动所述暂存平台沿第一方向往复移动，以在第一方向对晶圆进行调整，所述第二调整组件被配置为驱动所述暂存平台沿第二方向往复移动，以在第二方向对晶圆进行调整，所述旋转调整组件被配置为驱动所述暂存平台旋转指定角度，以调节所述晶圆的旋转角度，所述第一调整组件包括第一驱动件和第一移动件，所述第一驱动件的固定端安装在所述暂存架上，所述第一驱动件的活动端与所述第一移动件的第一端相连，所述第一移动件的第二端连接所述暂存平台，所述第一驱动件驱动所述第一移动件移动，以带动所述暂存平台沿第一方向移动，所述第二调整组件包括第二驱动件和第二移动件，所述第二驱动件的固定端安装在所述暂存架上，所述第二驱动件的活动端与所述第二移动件的第一端相连，所述第二移动件的第二端连接所述暂存平台，所述第二驱动件驱动所述第二移动件移动，以带动所述暂存平台沿第二方向移动，所述第二方向与第一方向垂直。

4.根据权利要求1所述的晶圆自动贴膜机，其特征在于，所述供料机构包括供料辊、分料辊和收料辊，所述供料辊、分料辊和收料辊均能转动地设置在所述机架上，所述供料辊上套设有若干个膜料，所述收料辊位于所述供料辊的底侧，所述收料辊被配置为收集膜料上的底膜，所述分料辊位于所述供料辊和收料辊之间，所述分料辊被配置为将膜料的底膜分离。

5.根据权利要求4所述的晶圆自动贴膜机，其特征在于，所述贴膜机构包括起膜组件和滚压组件，所述起膜组件用于将所述供料辊上的膜料经所述分料辊的分料后拉至指定位置，所述滚压组件用于在起膜后将膜料贴合在所述吸附平台上。

6.根据权利要求5所述的晶圆自动贴膜机，其特征在于，所述起膜组件包括起膜横移模组、起膜架、压膜单元、导向辊和起膜辊，所述起膜横移模组的驱动端连接所述起膜架，所述起膜架上沿第一方向的两端分别设置有上料工位和压料工位，所述起膜横移模组被配置为驱动所述起膜架沿第一方向往复移动，所述导向辊和起膜辊均沿第二方向可转动地安装在所述起膜架上，所述导向辊和起膜辊间隔设置且所述导向辊位于所述上料工位，所述导向辊用于在起膜时导向膜料的移动，所述压膜单元安装在所述起膜架上且位于所述压料工位，所述压膜单元被配置为在起膜后将膜料的一端按压在所述起膜架的压料工位上。

7.根据权利要求5所述的晶圆自动贴膜机，其特征在于，所述滚压组件包括滚压横移模组、滚压架、滚压单元和调压装置，所述滚压横移模组的驱动端连接所述滚压架，所述滚压单元安装在所述滚压架上，所述滚压横移模组驱动所述滚压架沿第一方...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾鑫，郑俭，高华，孙倩，
申请(专利权)人：无锡沃格自动化科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：