【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于玻璃表面镀膜，具体的，涉及一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法。
技术介绍
1、半导体是电子产品的核心元件，而光刻胶是半导体集成电路制造的核心材料，在大规模生产含微结构的计算机芯片过程中具有不可代替的作用。高端光刻胶对光照和温度十分敏感，易老化，且极其微小的杂质也会使其性能发生变化，因此包装和储存的要求十分苛刻。其原材料-光敏剂、树脂以及溶剂都很容易被污染损害，细微的污染都可能改变半导体的性质，因此对包装材料金属离子以及其他杂质的析出要求极高。目前，现有的光刻胶储存材料通常为棕色玻璃瓶和nowpack塑胶瓶(美商英特格公司产品)，其中nowpack塑胶瓶是高密度聚乙烯，其内胆含有欧盟环境指令pfos/pfoa明令禁止的成分。而玻璃具有优异的光学、机械、热稳定性、化学稳定性等性能，是光刻胶储存包装的优良材料。
2、光刻胶组分易与碱金属发生反应，因此，其储存条件对玻璃储存瓶金属离子析出要求很高。因此可以通过对玻璃瓶表面处理，使玻璃瓶满足光刻胶储存条件。表面处理可以对其内外表面镀上功能膜，达到应用环境所需要的性能。常用的镀膜工艺有化学沉积法、真空蒸发镀膜、以及目前比较先进的磁控溅射镀膜，但是化学沉积法沉积速率低且参加沉积的反应源和反应后的余气易燃、易爆或有毒，磁控溅射制备工艺比较复杂且成本较高；真空蒸发镀膜附着力较小。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，提供一种除化学沉积法、磁控溅射制备工艺、真空蒸发镀膜之外的新的玻璃瓶
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，包括如下步骤：
4、步骤1、清洗干燥后，采用氢氟酸溶液对玻璃瓶进行浸渍，然后进行超声清洗；
5、步骤2、将玻璃瓶浸入碱性二氧化硅溶胶，取出后烘干，然后放入马弗炉进行固化，之后空冷；
6、步骤3、重复进行步骤2两次或两次以上。
7、进一步的，步骤1中对玻璃瓶清洗干燥的方法为：将玻璃瓶放入超纯水进行20～60min的超声，放入80～100℃烘箱内烘干。
8、进一步的，所述氢氟酸溶液的浓度为1～10％。
9、进一步的，所述氢氟酸溶液的浓度为5％。
10、进一步的，步骤1中采用氢氟酸溶液对玻璃瓶进行浸渍的时间为5～80min。
11、进一步的，步骤1中超声清洗的方法为：依次利用超纯水、乙醇、稀盐酸、超纯水分别进行20～60min的超声清洗。
12、进一步的，步骤2中将玻璃瓶浸入碱性二氧化硅溶胶后静置5～30min，然后瓶口朝下放入60～120℃烘箱内烘干，最后移入350～500℃的马弗炉进行5～30min的固化，空冷后获得内外表面均镀有二氧化硅薄膜的玻璃瓶。
13、本专利技术的有益效果：
14、本方法简单，通过对玻璃瓶表面进行预处理并在此基础上制备多层膜层，提高膜层的结合力，且膜层致密性和平整度高，易于进行玻璃瓶产业化生产，尤其是用于光刻胶的存储瓶。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，步骤1中对玻璃瓶清洗干燥的方法为：将玻璃瓶放入超纯水进行20～60min的超声，放入80～100℃烘箱内烘干。
3.根据权利要求1所述的一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，所述氢氟酸溶液的浓度为1～10％。
4.根据权利要求3所述的一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，所述氢氟酸溶液的浓度为5％。
5.根据权利要求3所述的一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，步骤1中采用氢氟酸溶液对玻璃瓶进行浸渍的时间为5～80min。
6.根据权利要求1所述的一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，步骤1中超声清洗的方法为：依次利用超纯水、乙醇、稀盐酸、超纯水分别进行20～60min的超声清洗。
7.根据权利要求1所述的一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，步骤2中将玻璃瓶浸入碱性二氧化硅溶胶后静置5～30min，然后瓶口朝下放入60～
...【技术特征摘要】
1.一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，步骤1中对玻璃瓶清洗干燥的方法为：将玻璃瓶放入超纯水进行20～60min的超声，放入80～100℃烘箱内烘干。
3.根据权利要求1所述的一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，所述氢氟酸溶液的浓度为1～10％。
4.根据权利要求3所述的一种玻璃瓶表面多层防护膜的制备方法，其特征在于，所述氢氟酸溶液的浓度为5％。
5.根据权利要求3所述的一种玻璃瓶表面多层防护膜的...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭寿，王鹏，王萍萍，曹欣，石丽芬，高强，秦旭升，赵凤阳，杨勇，柯震坤，李常青，张晓雨，滕飞，单传丽，
申请(专利权)人：中建材玻璃新材料研究院集团有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。