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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子陶瓷及其制造,尤其涉及一种镧硼钙玻璃/氧化铝陶瓷复合ltcc微波介质材料及性能调节方法。
技术介绍
1、低温共烧陶瓷(ltcc)在高集成、高可靠性电子封装领域中发挥着越来越重要的作用。ltcc是一种将具有高电导率低熔点的导体金属(金银铜)作为电极材料与多层叠加的ltcc生瓷材料在小于900℃的条件下共同烧结为电子功能模块的新型封装技术。生瓷材料烧结成为基板材料,拥有良好的介电性能和力学性能,可以为内部的三维电路提供有效的支撑保护。
2、目前基板材料主要有三类:微晶玻璃体系、玻璃/陶瓷复合体系、陶瓷体系。玻璃/陶瓷复合体系ltcc生瓷由特定粒径的玻璃粉与陶瓷粉按一定比例混合。其中,玻璃为低熔点玻璃,在烧结过程中玻璃熔化,浸润陶瓷颗粒,陶瓷颗粒在内应力作用下重排,材料整体发生致密化收缩,降温后得到各向同性的基板材料。镧硼钙玻璃为一类应用潜力较大的ltcc基板材料体系,烧结过程中可以析出cab2o4、labo3等介电性能优异的晶相。若在镧硼钙玻璃中引入p2o5,可以析出介电性能优异的lapo4晶相。同al2o3共同烧结时可以溶解部分al2o3,并在界面处析出力学性能与介电性能良好的caal2b2o7晶相。得益于使用金银铜作为导体材料,导线线宽可以减小至50μm,因此可以在同等空间中布置更多导线与无源器件,提高ltcc器件的集成度与性能。
3、但是ltcc微波介质材料仍存在以下问题:1)在烧结制备过程中由于生瓷基板材料与电路材料收缩不同步、使导体材料与基板材料间易出现附着缺陷,导致电路变形或者断
4、有鉴于此,有必要提供一种改进的镧硼钙玻璃/氧化铝陶瓷复合ltcc微波介质材料及性能调节方法,以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种镧硼钙玻璃/氧化铝陶瓷复合ltcc微波介质材料及性能调节方法,采用两种不同组成和粒径的镧硼钙玻璃粉末,通过调节两者用量比,即可对ltcc微波介质材料的性能调节,改善ltcc生瓷材料的烧结性能,增强与导体材料的适配性,优化其力学与介电性能。
2、为实现上述目的,第一方面,本专利技术提供一种ltcc微波介质材料,按质量百分比包括:镧硼钙玻璃a粉末30%~50%、镧硼钙玻璃b粉末0%~20%(不包含边界值0%)和氧化铝粉末48~52%;
3、其中,所述镧硼钙玻璃a粉末的粒径为1~3μm,镧硼钙玻璃b粉末的粒径为0.5~2μm;
4、所述镧硼钙玻璃a粉末的成分包括:la2o3、b2o3、cao、p2o5、sio2、碱金属氧化物和zro2;所述镧硼钙玻璃b粉末的成分包括:la2o3、b2o3和cao。
5、镧硼钙玻璃体系为一类低熔点、易析晶的玻璃体系,在烧结中会软化浸润al2o3颗粒完成致密化烧结,析出多种介电与力学性能良好的晶相。al2o3均匀分散在玻璃基体中,起弥散强化作用,并且其本身拥有良好的高频介电性能。镧硼钙玻璃a粉末中除la2o3、b2o3、cao外,还加入了p2o5,sio2,zro2与碱金属氧化物。镧硼钙玻璃b粉末中仅含有la2o3、b2o3、cao三种氧化物。通过两种玻璃粉组成的差异,对烧结过程的晶相结构进行调控。
6、本专利技术通过调整上述镧硼钙玻璃a和b粉末的相对含量来调节ltcc微波介质材料的性能,以提高ltcc微波介质材料与导体材料的共烧适配度。尤其是能够在保证拉拔强度在2.20kg以上的情况下,还能调节收缩率及热膨胀系数等性质,因此综合性能优异。解决了ltcc器件共烧时,基板材料与浆料的烧结特性不匹配导致的烧结后基板材料翘曲、分层和金属布线附着力下降的问题,提高了ltcc材料的成品质量和成品率,可广泛应用于高频介电封装领域。
7、进一步的,所述镧硼钙玻璃a粉末的成分按质量百分比包括:la2o3 30%~40%、b2o3 35%~50%、cao 15%~25%、p2o5 0~10%、sio20~10%、碱金属氧化物1%~5%和zro2 1~3%。
8、进一步的,所述镧硼钙玻璃b粉末的成分按质量百分比包括:la2o3 37%~47%、b2o3 30%~40%和cao 13%~23%。
9、进一步的,所述镧硼钙玻璃a粉末的成分按质量百分比由la2o330%~38%、b2o335%~46%、cao 15%~20%、p2o5 4~10%、sio2 2~6%、碱金属氧化物1%~5%和zro21~3%组成。
10、进一步的,所述镧硼钙玻璃b粉末的成分按质量百分比由la2o341%~47%、b2o333%~38%和cao 15%~21%组成。
11、在一些具体实施方式中,镧硼钙玻璃a粉末的中值粒径为1μm、1.2μm、1.5μm、1.8μm、2μm、2.2μm、2.4μm、2.6μm、3μm等;镧硼钙玻璃b粉末的中值粒径为0.5μm、0.6μm、0.8μm、1μm、1.2μm、1.5μm、1.8μm、2μm等。镧硼钙玻璃a粉末的中值粒径大于镧硼钙玻璃b粉末的中值粒径。
12、粒径过大会导致烧结过程的析晶趋势减弱,同时颗粒间的空隙增大,堆积密度降低,从而影响烧结质量。粒径过小则析晶趋势过强,而且会增加制造成本。
13、相较于镧硼钙玻璃a粉末,镧硼钙玻璃b粉末中网络外体氧化物la2o3的相对含量高,玻璃形成体氧化物b2o3的相对含量低,玻璃析晶倾向更强,烧结升温过程中可在更低的烧结温度下快速析晶。并且镧硼钙玻璃b粉末的粒径小于镧硼钙玻璃a粉末,其表面能更大,表面缺陷更多,烧结中更易软化并发生强析晶,快速析出大量晶相。700℃烧结后,镧硼钙玻璃a粉末仍为非晶态玻璃相,而镧硼钙玻璃b粉末已有明显晶相析出。
14、使用少量镧硼钙玻璃b取代ltcc生瓷中的镧硼钙玻璃a粉末。如图3,烧结升温过程中,在750℃以前镧硼钙玻璃a粉末开始软化浸润al2o3,基板材料发生致密化收缩,此时镧硼钙玻璃b发生强析晶,一定程度上阻碍材料的收缩。750℃~850℃镧硼钙玻璃a大量析晶,玻璃相停止收缩并有少量程度的膨胀。经过调整后的ltcc生瓷与导体材料的烧结规律更加匹配,镧硼钙玻璃b提前强析晶,使生瓷在750℃以前的收缩阶段不易变形,并能析出更多高频介电性能优良的labo3晶相。同时材料烧结后基板材料相组成发生变化,热膨胀系数同样发生变化,更适应应用环境。
15、进一步的,所述镧硼钙玻璃a粉末的制备方法包括:以la2o3、h3bo3、caco3、ca3(po4)2、sio2、na2co3、li2co3、zro2为原料,按比例称取各原料装入三位混料机均匀混合。各原料需要提前烘干,并且称取原料时要考虑原料纯度与熔制中部分氧化物的挥发量。充分混合后将原本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种LTCC微波介质材料,其特征在于,按质量百分比包括:镧硼钙玻璃A粉末30%~50%、镧硼钙玻璃B粉末0%~20%和氧化铝粉末48~52%;
2.根据权利要求1所述的LTCC微波介质材料,其特征在于,所述镧硼钙玻璃A粉末的成分按质量百分比包括:La2O3 30%~40%、B2O3 35%~50%、CaO 15%~25%、P2O5 0~10%、SiO2 0~10%、碱金属氧化物1%~5%和ZrO2 1~3%;所述镧硼钙玻璃A粉末的成分优选按质量百分比由La2O3 30%~38%、B2O3 35%~46%、CaO 15%~20%、P2O54~8%、SiO2 2~6%、碱金属氧化物1%~5%和ZrO2 1~3%组成;
3.根据权利要求1或2所述的LTCC微波介质材料,其特征在于,按质量百分比包括:镧硼钙玻璃A粉末34%~46%、镧硼钙玻璃B粉末4%~16%和氧化铝粉末50%;
4.根据权利要求1-3中任一项所述的LTCC微波介质材料,其特征在于,所述镧硼钙玻璃A粉末的制备方法包括:以La2O3、H3BO3、CaCO3、Ca3(PO4)2、SiO
5.根据权利要求4所述的LTCC微波介质材料,其特征在于,所述熔制淬冷包括:先在1300~1500℃下保温1.5-2.5h,然后将熔制所得玻璃液倒入双辊冷却轧机中,淬冷轧制成玻璃片;
6.一种LTCC生瓷,其特征在于,以权利要求1-5中任一项所述的LTCC微波介质材料为主要原料制备而成。
7.根据权利要求6所述的LTCC生瓷,其特征在于,所述LTCC生瓷带的制备方法包括:将镧硼钙玻璃A粉末、镧硼钙玻璃B粉末、氧化铝粉末和有机黏结剂、溶剂、增塑剂混合均匀制得流延浆料,将所述流延浆料脱泡处理后流延制得LTCC生瓷;
8.一种LTCC基板材料,其特征在于,将权利要求6或7所述的生瓷带进行裁切、脱模、热压后烧结,得到LTCC基板材料。
9.根据权利要求8所述的LTCC基板材料,其特征在于,所述LTCC基板材料的介电损耗小于1×10-3;X/Y方向的收缩率小于8.5%;热膨胀系数小于6ppm/℃;拉拔强度大于2.20kg。
10.一种LTCC微波介质材料的性能调节方式,其特征在于,根据待匹配导体材料的性能,调整LTCC生瓷中镧硼钙玻璃A粉末与镧硼钙玻璃B粉末的比例,以调控烧结中LTCC生瓷与所述导体材料的匹配性;
...【技术特征摘要】
1.一种ltcc微波介质材料,其特征在于,按质量百分比包括:镧硼钙玻璃a粉末30%~50%、镧硼钙玻璃b粉末0%~20%和氧化铝粉末48~52%;
2.根据权利要求1所述的ltcc微波介质材料,其特征在于,所述镧硼钙玻璃a粉末的成分按质量百分比包括:la2o3 30%~40%、b2o3 35%~50%、cao 15%~25%、p2o5 0~10%、sio2 0~10%、碱金属氧化物1%~5%和zro2 1~3%;所述镧硼钙玻璃a粉末的成分优选按质量百分比由la2o3 30%~38%、b2o3 35%~46%、cao 15%~20%、p2o54~8%、sio2 2~6%、碱金属氧化物1%~5%和zro2 1~3%组成;
3.根据权利要求1或2所述的ltcc微波介质材料,其特征在于,按质量百分比包括:镧硼钙玻璃a粉末34%~46%、镧硼钙玻璃b粉末4%~16%和氧化铝粉末50%;
4.根据权利要求1-3中任一项所述的ltcc微波介质材料,其特征在于,所述镧硼钙玻璃a粉末的制备方法包括:以la2o3、h3bo3、caco3、ca3(po4)2、sio2、na2co3、li2co3、zro2为原料,按比例称取并充分混合后熔制淬冷,得到镧硼钙玻璃a,将镧硼钙玻璃a破碎粉磨后...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹禹,海韵,吕子彬,徐博,朱宝京,吕金玉,郭恩霞,那华,韩滨,祖成奎,
申请(专利权)人:中国建筑材料科学研究总院有限公司,
类型:发明
国别省市:
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