【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及涂层喷涂，具体是一种氮化硅涂层的成型设备及其喷涂方法。
技术介绍
1、芯片中氮化硅层的作用是增强芯片的电性能,提高芯片的可靠性和稳定性。氮化硅层是一种高质量的绝缘材料，可以用于制造高效率的电子器件，如功率放大器、射频电路、led等。氮化硅层具有优异的物理和化学特性，包括高介电常数、低损耗、高热稳定性、优异的耐腐蚀性和机械强度等。在芯片制造过程史,氮化硅层可以作为有效。
2、在进行氧化硅涂层的喷涂时，通常采用喷枪来对氧化硅浆料进行吸取，同时对浆料的混合不能停止，且氧化硅浆料由氮化硅粉与去离子水搅拌而成，氮化硅粉与去离子水的搅拌效果将直接影响着最终的喷涂效果。
3、现有的设备，通常是将氮化硅粉与去离子水一次性加入搅拌罐中，再采用搅拌叶来进行混合，这种搅拌方式，氮化硅粉与去离子水融合的充分性难以保证，可能存在部分氮化硅粉发生漂浮的现象，进而导致搅拌不够充分，使得最终涂层的成型效果不佳。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种氮化硅涂层的成型设备及其喷涂方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种氮化硅涂层的成型设备，包括底座以及安装于所述底座上的圆筒、绞龙、箱体，所述绞龙用于向所述圆筒中输入氮化硅粉，还包括：
4、搅拌结构，设于所述圆筒中，用于对加入所述圆筒中的氮化硅粉与去离子水进行混合，所述搅拌结构包括转动安装在所述圆筒中的立轴以及设于所述立轴外周的多
5、竖板，固定安装在所述底座上，所述竖板的一侧安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过变速传动机构与所述立轴连接，且所述变速传动机构还通过启停切换机构连接有安装在所述底座底部的横移驱动机构，所述横移机构与所述变速传动机构之间还设有第一间断配合机构；
6、供液机构，安装于所述圆筒的外壁上，用于向所述圆筒中输入去离子水，所述供液机构与所述横移驱动机构配合，所述横移驱动机构与所述绞龙的驱动轴之间设有第二间断配合机构。
7、作为本专利技术进一步的方案：所述变速传动机构包括安装在所述底座上且与所述驱动电机输出端连接的往返活动组件、连接所述往复活动组件与所述立轴的双面配合结构以及安装在所述底座上的速度调节组件，且所述速度调节组件连接所述第一间断配合机构与所述往返活动组件。
8、作为本专利技术再进一步的方案：所述双面配合结构包括活动设于所述底座上并与所述往返活动组件连接的框体以及转动安装在所述圆筒的外壁上且位于所述框体内的棘轮，所述棘轮的转动轴通过第一锥齿轮组与转动安装在所述圆筒上的第一传动轴连接，所述第一传动轴与所述立轴之间连接有第一传动带；
9、其中，所述框体内相对的两侧均沿长度方向等距设有多个倾斜槽，且每个所述倾斜槽内均铰接有一个与所述棘轮配合的棘爪，且所述棘爪连接有设于所述倾斜槽内的扭簧。
10、作为本专利技术再进一步的方案：所述底座上还固定安装有两根横杆，且两根所述横杆上滑动设有往复板，所述往返活动组件组件包括转动安装在所述竖板背离所述驱动电机一侧的转轴、固定安装在所述转轴远离所述驱动电机一端的转动板以及滑动嵌合在所述转动板上的滑块；
11、其中，所述转轴与所述驱动电机的输出端连接，且所述转轴上还滑动套合有套管，所述套管与所述速度调节组件连接，还通过连杆与所述滑块连接，所述连杆的两端分别与所述滑块和所述套管铰接；
12、所述框体通过立板与所述往复板固定连接，且所述立板上设有通槽，所述滑块上固定有一个贯穿所述通槽并与所述立板滑动连接的柱体。
13、作为本专利技术再进一步的方案：所述速度调节组件包括转动安装在所述底座底部的第二丝杆、套设于所述第二丝杆上并与所述第二丝杆螺纹连接的第二螺纹套筒以及固定在所述第二螺纹套筒上的联板，所述联板与所述套管转动连接，所述第二丝杆连接所述第一间断配合机构。
14、作为本专利技术再进一步的方案：所述横移驱动机构包括转动安装在所述底座底部的第一丝杆以及套设于所述第一丝杆上的第一螺纹套筒，所述第一丝杆与所述启停切换机构连接；
15、所述启停切换机构包括转动安装在所述竖板侧部的第二传动轴、滑动套设在所述竖板上的滑动板以及转动安装在所述滑动板侧部的传动管，所述底座上还设有气缸，所述气缸的活动端与所述滑动板背离所述传动管的一侧固定；
16、其中，所述第二传动轴与所述传动管二者通过限位结构滑动套合，且所述第二传动轴通过第二传动带与第二锥齿轮组连接所述第一丝杆，所述传动管远离所述底座的一端还固定有二号锥齿轮，所述二号锥齿轮与固定安装在所述转轴上的一号锥齿轮配合。
17、作为本专利技术再进一步的方案：所述供液机构包括固定于所述圆筒外壁上的固定筒、密封滑动设于所述固定筒中的圆盘以及安装在所述固定筒一端的第一单向阀、第二单向阀，所述第一单向阀与去离子水的储存罐连接，所述第二单向阀连接有导管，所述导管伸入所述圆筒中；
18、其中，所述固定筒内还固定有横板，所述圆盘与滑动设于所述横板上的连接柱固定，所述连接柱的外周套设有柱形弹簧，所述柱形弹簧的两端分别连接所述圆盘与所述横板；
19、所述连接柱远离所述圆盘的一端通过装配板固定连接有从动板，所述从动板上沿长度方向等距形成有多个突起部，且所述突起部的两侧设有倾斜面，所述第一螺纹套筒还连接有滚轮，所述滚轮与所述从动板抵接。
20、作为本专利技术再进一步的方案：所述第一间断配合机构包括转动安装在所述底座底部的第一齿轮以及固定于所述第一螺纹套筒上的第一长条板，所述第一齿轮的转动轴通过第三传动带以及第三锥齿轮组与所述第二丝杆连接，且所述第一长条板上设有多组与所述第一齿轮配合的齿牙组；
21、所述第二间断配合机构包括转动安装在所述底座底部的第二齿轮以及固定于所述第一螺纹套筒上的第二长条板，所述第二长条板上也设有多组与所述第二齿轮配合的齿牙组，且所述第二齿轮的转动轴通过第四传动带与所述绞龙的驱动轴连接。
22、一种氮化硅涂层的的喷涂方法，采用的成型设备，包括以下步骤：
23、步骤一，启动驱动电机，驱动电机通过变速传动机构驱使立轴带动搅拌叶片在圆筒中转动，执行对原料的混合动作；
24、步骤二，变速传动机构通过启停切换机构带动横移驱动机构运动，横移驱动机构与供液机构间断性地配合，供液机构向圆筒中添加去离子水；
25、步骤三，横移驱动机构促使第一间断配合机构与第二间断配合机构间断性地触发，第一间断配合机构触发时，促使立轴的转速增加，第二间断配合机构触发时，促使绞龙工作，向圆筒中添加氮化硅粉；
26、步骤四，驱动电机保持工作，启停切换机构解除变速传动机构与横移驱动机构之间的联动状态，利用箱体中的喷枪进行涂层的喷涂。
27、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术设计新颖，通过各个机构及部件之间的相互配合，由所述横移驱动机构促使所述供液机构间断触发以及所述绞龙间本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种氮化硅涂层的成型设备，包括底座（1）以及安装于所述底座（1）上的圆筒（2）、绞龙（41）、箱体（42），所述绞龙（41）用于向所述圆筒（2）中输入氮化硅粉；
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述变速传动机构包括安装在所述底座（1）上且与所述驱动电机（5）输出端连接的往返活动组件、连接所述往复活动组件与所述立轴（3）的双面配合结构以及安装在所述底座（1）上的速度调节组件，且所述速度调节组件连接所述第一间断配合机构与所述往返活动组件。
3.根据权利要求2所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述双面配合结构包括活动设于所述底座（1）上并与所述往返活动组件连接的框体（9）以及转动安装在所述圆筒（2）的外壁上且位于所述框体（9）内的棘轮（10），所述棘轮（10）的转动轴通过第一锥齿轮组（11）与转动安装在所述圆筒（2）上的第一传动轴（12）连接，所述第一传动轴（12）与所述立轴（3）之间连接有第一传动带（13）；
4.根据权利要求3所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述底座（1）上还固定安装有两根横
5.根据权利要求4所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述速度调节组件包括转动安装在所述底座（1）底部的第二丝杆（30）、套设于所述第二丝杆（30）上并与所述第二丝杆（30）螺纹连接的第二螺纹套筒（33）以及固定在所述第二螺纹套筒（33）上的联板（19），所述联板（19）与所述套管（18）转动连接，所述第二丝杆（30）连接所述第一间断配合机构。
6.根据权利要求5所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述横移驱动机构包括转动安装在所述底座（1）底部的第一丝杆（29）以及套设于所述第一丝杆（29）上的第一螺纹套筒（20），所述第一丝杆（29）与所述启停切换机构连接；
7.根据权利要求6所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述供液机构包括固定于所述圆筒（2）外壁上的固定筒（34）、密封滑动设于所述固定筒（34）中的圆盘（35）以及安装在所述固定筒（34）一端的第一单向阀（3401）、第二单向阀（3402），所述第一单向阀（3401）与去离子水的储存罐连接，所述第二单向阀（3402）连接有导管，所述导管伸入所述圆筒（2）中；
8.根据权利要求7所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述第一间断配合机构包括转动安装在所述底座（1）底部的第一齿轮（39）以及固定于所述第一螺纹套筒（20）上的第一长条板（2001），所述第一齿轮（39）的转动轴通过第三传动带（31）以及第三锥齿轮组（28）与所述第二丝杆（30）连接，且所述第一长条板（2001）上设有多组与所述第一齿轮（39）配合的齿牙组；
9.一种氮化硅涂层的的喷涂方法，采用如权利要求1所述的成型设备，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种氮化硅涂层的成型设备，包括底座（1）以及安装于所述底座（1）上的圆筒（2）、绞龙（41）、箱体（42），所述绞龙（41）用于向所述圆筒（2）中输入氮化硅粉；
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述变速传动机构包括安装在所述底座（1）上且与所述驱动电机（5）输出端连接的往返活动组件、连接所述往复活动组件与所述立轴（3）的双面配合结构以及安装在所述底座（1）上的速度调节组件，且所述速度调节组件连接所述第一间断配合机构与所述往返活动组件。
3.根据权利要求2所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述双面配合结构包括活动设于所述底座（1）上并与所述往返活动组件连接的框体（9）以及转动安装在所述圆筒（2）的外壁上且位于所述框体（9）内的棘轮（10），所述棘轮（10）的转动轴通过第一锥齿轮组（11）与转动安装在所述圆筒（2）上的第一传动轴（12）连接，所述第一传动轴（12）与所述立轴（3）之间连接有第一传动带（13）；
4.根据权利要求3所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述底座（1）上还固定安装有两根横杆（6），且两根所述横杆（6）上滑动设有往复板（7），所述往返活动组件组件包括转动安装在所述竖板（4）背离所述驱动电机（5）一侧的转轴（14）、固定安装在所述转轴（14）远离所述驱动电机（5）一端的转动板（15）以及滑动嵌合在所述转动板（15）上的滑块（16）；
5.根据权利要求4所述的一种氮化硅涂层的成型设备，其特征在于，所述速度调节组件包括转动安装在所述底...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾小锋，肖亮，邓小沣，钱利洪，彭波，
申请(专利权)人：衡阳凯新特种材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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