【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及工件加工装置、磨石以及工件加工方法。
技术介绍
1、以往，为了进行半导体晶片等圆板状的工件(被加工物)的外周部的倒角加工，在工件的外周部压抵磨石而进行磨削。为了使工件的倒角部的形状以及尺寸的精度提高，存在如下方法：在磨石的外周部形成与工件的完成形状对应的形状以及尺寸的槽(成形槽)，在该槽内插入工件的外周部而使工件旋转，并利用槽的内周面磨削工件的外周部。然而，在该方法中，每当应制造的工件的形状、尺寸改变时，需要更换磨石，不适于多品种的少量生产。另外，当反复进行倒角加工时磨石的外周部的槽的内周面磨损或破损而使槽的形状以及尺寸变化，因此工件的倒角加工的精度降低。因此，在长期间内进行了工件的倒角加工后，需要将磨石更换或重新整形。
2、为了根据需要进行磨石的更换或整形，在专利文献1、2(日本特开2005-153085号公报、日本特开2007-165712号公报)所记载的方法中，预先制作具有与工件的完成形状对应的成形槽的主磨石，使磨石材料的外周部抵接于主磨石的槽的内周面而进行磨削，从而制作作为型材的修整磨石(修整件)。并且，在磨石材料抵接修整磨石的外周部而形成与主磨石相同的成形槽，从而能够对用于在实际的工件的倒角加工中使用的磨石的形状进行调整(整形)。修整磨石由比倒角用的磨石(例如树脂结合剂磨石)硬的材料(例如gc磨石)构成，主磨石由比修整磨石硬的材料(例如金属结合剂磨石)构成。这样使用修整磨石对磨石进行整形的工序被称为修整。
3、在专利文献1、2中，除了使用相对于圆板状的工件平行地配置的圆板状的磨石的
4、当如专利文献1～4所记载的那样使用相对于工件的外周的切线方向斜倾配置的磨石进行工件的倒角加工时，以在磨石的外周部设置的槽的内周面与工件的外周部接触的接触部分的长度较长的状态进行磨削，并且在使工件以低速旋转的同时进行磨削，从而能够减小工件的倒角部的表面粗糙度。因此，在后进行的精加工的研磨工序容易实施。
5、在专利文献5(日本特开平11-207585号公报)中公开了，使用在外周部设置有厚度方向的尺寸比工件的厚度大的槽的磨石，并使磨石的槽的内周面抵接于工件的外周部而进行倒角加工的方法。另外，在专利文献5中也公开了，使用比工件厚且在外周部没有设置槽而是外周部的截面形状为凸状的磨石，并使磨石的构成外周部的凸状部分的一部分的倾斜面抵接于工件的外周部而进行倒角加工的方法。
6、在专利文献6(日本特开2000-317789号公报)所记载的方法中，以相对于圆板状的工件正交的方式配置圆板状的磨石。工件能够以位于其俯视形状的中心的旋转轴为中心旋转。磨石能够以与工件的旋转轴正交的旋转轴为中心旋转，并且在与其旋转轴垂直的方向(与圆板状的工件平行的方向)以及在与旋转轴平行的方向(与圆板状的工件正交的方向)上均能够移动。在使工件旋转的状态下，使磨石在旋转的同时接近工件，并在使旋转的磨石的外周部抵接于在与磨石的旋转方向正交的方向上旋转的工件的外周部的同时使磨石移动，从而进行工件的倒角加工。这样的加工工序被称为等高线加工。
7、在专利文献7(日本特开2008-034776号公报)所记载的方法中，使用以相对于圆板状的工件正交的方式配置的杯型磨石与专利文献6相同地在使工件旋转的状态下使杯型磨石在旋转的同时接近工件。在使旋转的杯型磨石的杯形状的前端面抵接于在与杯型磨石的旋转方向正交的方向上旋转的工件的外周部的同时使杯型磨石移动，从而进行工件的倒角加工。
8、在专利文献8(日本特开2014-37014号公报)中公开了，使用两个圆板状的磨石与专利文献6相同地进行倒角加工的方法以及使用两个杯型磨石与专利文献7相同地进行倒角加工的方法。
9、在专利文献9(日本特开2017-154240号公报)所记载的方法中，使用具有内周侧的磨石要素(杯形状)及外周侧的用于比由内周侧的磨石要素进行的磨削精密的磨削的磨石要素(杯形状)的大型且二重构造的杯型的第一磨石、以及杯式的第二磨石，进行工件的外周部的加工。
10、现有技术文献
11、专利文献
12、专利文献1：日本特开2005-153085号公报
13、专利文献2：日本特开2007-165712号公报
14、专利文献3：日本特开平5-152259号公报
15、专利文献4：日本特开2007-044817号公报
16、专利文献5：日本特开平11-207585号公报
17、专利文献6：日本特开2000-317789号公报
18、专利文献7：日本特开2008-034776号公报
19、专利文献8：日本特开2014-37014号公报
20、专利文献9：日本特开2017-154240号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、如专利文献1～4所记载的那样在相对于工件的外周的切线方向斜倾配置的磨石的外周部精度良好地形成用于将工件倒角的槽并不容易。为了在工件形成期望的形状的倒角部，槽的内周面必须与工件的外周部以恰当角度以及恰当接触长度接触。在相对于工件的外周的切线方向倾斜配置的磨石中，难以形成具有像这样与工件的外周部以恰当角度以及恰当接触长度准确地接触的内周面的槽。尤其是，在利用使工件旋转的驱动部、使用于磨削工件的磨石旋转的驱动部使修整磨石旋转而进行修整的情况下，难以精度良好地形成能够以相对于工件的外周的切线方向倾斜的状态进行良好的倒角加工的槽，谋求能够更容易地进行修整的方法。另外，当应制造的工件的倒角部的形状、尺寸改变时，用于制作修整磨石的主磨石的槽的形状也需要变更，作业繁杂。
3、在使用相对于工件的外周的切线方向斜倾配置的磨石进行工件的加工的情况下，无法容易地变更槽的内周面的形状、尺寸，因此难以为了接近期望的加工形状而进行微细的修正。因此，在作为工件而制作具有定向平面部的晶片的情况下，无法使用相对于工件的外周的切线方向斜倾配置的磨石的主要用于形成工件的外周的圆弧状的部分的槽也精度良好地形成定向平面部。因此，需要在圆弧状的部分的形成用的槽以外形成定向平面部形成用的槽，磨石的制造变得繁杂，并且由于分开使用两个槽而加工时间变本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种工件加工装置，其用于将圆板状的工件形成为期望的截面形状，
2.根据权利要求1所述的工件加工装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的工件加工装置，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的工件加工装置，其中，
5.一种工件加工装置，其用于将圆板状的工件形成为期望的截面形状，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的工件加工装置，其中，
7.根据权利要求1至6中任一项所述的工件加工装置，其中，
8.一种磨石，其包含于工件加工装置，所述工件加工装置具有支承圆板状的工件的工件支承机构、相对于所述工件平行地配置的圆板状的所述磨石以及支承所述磨石的磨石支承机构，所述工件支承机构使所述工件旋转，所述磨石支承机构使所述磨石旋转，成为由所述工件支承机构进行的所述工件的旋转的中心的旋转轴与成为由所述磨石支承机构进行的所述磨石的旋转的中心的旋转轴相互平行，所述磨石在外周部具有凸状磨削部分，所述凸状磨削部分的通过所述磨石的所述旋转轴的截面中的截面形状为朝向外周侧的凸状，且为至少在厚度方向的两端部分别具有圆弧状部分
9.一种磨石，其包含于权利要求1至3中任一项所述的工件加工装置，
10.一种磨石，其包含于权利要求1至7中任一项所述的工件加工装置，
11.一种磨石，其包含于权利要求1至7中任一项所述的工件加工装置，
12.一种磨石，其包含于权利要求1至7中任一项所述的工件加工装置，
13.一种工件加工方法，其用于使用磨石将圆板状的工件形成为期望的截面形状，所述磨石在外周部具有凸状磨削部分并能够旋转且为圆板状，所述凸状磨削部分的通过所述磨石的旋转轴的截面中的截面形状为朝向外周侧的凸状，且为至少在厚度方向的两端部分别具有圆弧状部分的形状，
14.一种工件加工方法，其用于使用磨石将圆板状的工件形成为期望的截面形状，所述磨石在外周部具有凸状磨削部分并能够旋转且为圆板状，所述凸状磨削部分的通过所述磨石的旋转轴的截面中的截面形状为朝向外周侧的凸状，且为至少在厚度方向的两端部分别具有圆弧状部分的形状，
15.根据权利要求13或14所述的工件加工方法，其中，
16.根据权利要求13或14所述的工件加工方法，其中，
17.根据权利要求13或14所述的工件加工方法，其中，
18.根据权利要求16或17所述的工件加工方法，其中，
19.根据权利要求13至17中任一项所述的工件加工方法，其中，
20.一种工件加工方法，其用于使用磨石将圆板状的工件形成为期望的截面形状，所述磨石在外周部具有凸状磨削部分并能够旋转且为圆板状，所述凸状磨削部分的通过所述磨石的旋转轴的截面中的截面形状为朝向外周侧的凸状，且为至少在厚度方向的两端部分别具有圆弧状部分的形状，
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种工件加工装置，其用于将圆板状的工件形成为期望的截面形状，
2.根据权利要求1所述的工件加工装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的工件加工装置，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的工件加工装置，其中，
5.一种工件加工装置，其用于将圆板状的工件形成为期望的截面形状，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的工件加工装置，其中，
7.根据权利要求1至6中任一项所述的工件加工装置，其中，
8.一种磨石，其包含于工件加工装置，所述工件加工装置具有支承圆板状的工件的工件支承机构、相对于所述工件平行地配置的圆板状的所述磨石以及支承所述磨石的磨石支承机构，所述工件支承机构使所述工件旋转，所述磨石支承机构使所述磨石旋转，成为由所述工件支承机构进行的所述工件的旋转的中心的旋转轴与成为由所述磨石支承机构进行的所述磨石的旋转的中心的旋转轴相互平行，所述磨石在外周部具有凸状磨削部分，所述凸状磨削部分的通过所述磨石的所述旋转轴的截面中的截面形状为朝向外周侧的凸状，且为至少在厚度方向的两端部分别具有圆弧状部分的形状，所述磨石与所述工件能够通过所述磨石支承机构或所述工件支承机构而以相互接近或者分离的方式相对移动，所述磨石支承机构或所述工件支承机构按照以使所述凸状磨削部分与所述工件接触的接触部分沿着所述工件的期望的截面形状移动的方式基于所述磨石的所述圆弧状部分的曲率半径算出的移动条件，使所述磨石相对于所述工件相对移动，且所述工件加工装置用于将所述工件形成为所述期望的截面形状，
9.一种磨石，其包含于权利要求1至3中任一...
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