【技术实现步骤摘要】
本技术涉及微波等离子，尤其涉及一种自动化微波等离子体装置。
技术介绍
1、在微电子封装的生产过程中，由于各种交叉污染、自然氧化等，器件和材料表面会形成各种沾污，包括有机物、环氧树脂、光刻胶、焊料、金属盐等。这些沾污会明显地影响封装生产过程中的相关工艺质量。使用微波等离子体清洗可以很容易清除掉生产过程中形成的这些分子水平的污染，保证工件表面原子与即将附着材料的原子之间紧密接触，从而有效地提高引线键合强度，改善芯片粘接质量，减少封装漏气率，提高元器件的性能、成品率和可靠性。
2、现有技术中公开号为cn218108705u的专利文献提供一种半导体封装新型等离子清洗机，该装置通过在底座箱的内壁底部固定安装有步进电机，步进电机的输出端穿过底座箱延伸至等离子清洗机本体的内部固定连接有转盘，底座箱的内壁顶部固定安装有时间控制器，转盘的顶部设置有用于对清洗物进行夹持固定的夹持机构；通过时间控制器用于设置清洗翻转的时间，从而对转盘上放置的清洗物进行自动翻转，有效保障每个面清理时间的均匀性，然而该装置的采用转盘对转盘上放置的清洗物进行自动翻转，清洗物靠近转盘端面无法被清洗，需要对清洗物进行反转后重新夹持并再次对清洗物进行清洗才可，清洗效率低，鉴于此，我们提出一种自动化微波等离子体装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种自动化微波等离子体装置，以解决当前自动化微波等离子体装置清洗效率低的技术问题。
2、为了实现本技术的目的，本技术所采用
3、优选地，所述x轴向转动组件包括u型块a及驱动电机a，所述u型块a底端固设有转杆a，所述转杆a底端穿出所述安装板并与所述驱动电机a输出端固定连接，所述转杆a底端与所述安装板通过轴承转动连接。
4、优选地，所述y轴向转动组件包括十字安装架及驱动电机b，所述十字安装架两端外侧均固设有转杆b，两个所述转杆b分别与所述u型块a两壁通过轴承转动连接，所述驱动电机b固设于所述u型块a侧壁外端，所述驱动电机b输出端与相对所述驱动电机b位置的所述转杆b端部固定连接，所述十字安装架交叉处外端开设有插接槽。
5、优选地，所述夹持机构包括连接块、四个调距杆及伸缩杆a组件，四个所述调距杆头端呈正方形结构转动连接于所述连接块底端，所述调距杆呈钝角结构，四个所述调距杆尾端均转动连接有夹块，四个所述夹块与所述十字安装架四壁通过四个伸缩杆b固定连接。
6、优选地，所述伸缩杆a组件包括伸缩母杆、伸缩子杆及旋钮，所述伸缩母杆头部相对四个所述调距杆位置固与所述连接块底端固定连接，所述伸缩母杆尾部相对所述插接槽位置与所述十字安装架内端通过轴承转动连接，所述伸缩子杆截面呈多边形结构，所述伸缩子杆连接端穿出所述插接槽并与所述旋钮尾端活动连接,所述旋钮与所述插接槽插接配合。
7、优选地，所述旋钮尾部由若干呈圆环等间距结构布置的限位块组成，所述限位块头端截面呈三角型结构，且所述若干所述限位块的棱边处均开设有倒角，所述插接槽与所述旋钮尾部形状适配。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
9、1.本技术通过设置x轴向转动组件及y轴向转动组件，并在x轴向转动组件上设置夹持机构，使得夹持机构夹紧清洗物后，整体随着x轴向转动组件及y轴向转动组件转动进行x、y轴的旋转，使得微波等离子体装置本体1可以对清洗物进行全方位的清洗，解决了自动化微波等离子体装置清洗效率低的技术问题。
10、2.本技术通过设置伸缩杆a组件，只需轻微旋转旋钮，伸缩子杆转动带动伸缩母杆转动，进而使得连接块转动带动四个调距杆头端转动，四个调距杆尾端带动伸缩杆b拉伸，使得四个夹块形成的夹腔缩小，对清洗物夹紧，节省时间、操作简单。
11、3.本技术通过将限位块头端截面设置呈三角型结构，且若干限位块的棱边处均设置倒角，使得旋钮尾部插入插接槽时更加简单，且限位块不易损坏。
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1.一种自动化微波等离子体装置，其特征在于，包括微波等离子体装置本体(1)及固设有于所述微波等离子体装置本体(1)清洗腔的安装板(5)，所述微波等离子体装置本体(1)清洗腔内设有旋转机构(2)；
2.如权利要求1所述的自动化微波等离子体装置，其特征在于，所述X轴向转动组件(3)包括U型块A(301)及驱动电机A(303)，所述U型块A(301)底端固设有转杆A(302)，所述转杆A(302)底端穿出所述安装板(5)并与所述驱动电机A(303)输出端固定连接，所述转杆A(302)底端与所述安装板(5)通过轴承转动连接。
3.如权利要求2所述的自动化微波等离子体装置，其特征在于，所述Y轴向转动组件(4)包括十字安装架(401)及驱动电机B(403)，所述十字安装架(401)两端外侧均固设有转杆B(402)，两个所述转杆B(402)分别与所述U型块A(301)两壁通过轴承转动连接，所述驱动电机B(403)固设于所述U型块A(301)侧壁外端，所述驱动电机B(403)输出端与相对所述驱动电机B(403)位置的所述转杆B(402)端部固定连接，所述十字安装架(401
4.如权利要求3所述的自动化微波等离子体装置，其特征在于，所述夹持机构(6)包括连接块(601)、四个调距杆(602)及伸缩杆A组件(604)，四个所述调距杆(602)头端呈正方形结构转动连接于所述连接块(601)底端，所述调距杆(602)呈钝角结构，四个所述调距杆(602)尾端均转动连接有夹块(603)，四个所述夹块(603)与所述十字安装架(401)四壁通过四个伸缩杆B(605)固定连接。
5.如权利要求4所述的自动化微波等离子体装置，其特征在于，所述伸缩杆A组件(604)包括伸缩母杆(6041)、伸缩子杆(6042)及旋钮(6043)，所述伸缩母杆(6041)头部相对四个所述调距杆(602)位置固与所述连接块(601)底端固定连接，所述伸缩母杆(6041)尾部相对所述插接槽(404)位置与所述十字安装架(401)内端通过轴承转动连接，所述伸缩子杆(6042)截面呈多边形结构，所述伸缩子杆(6042)连接端穿出所述插接槽(404)并与所述旋钮(6043)尾端活动连接,所述旋钮(6043)与所述插接槽(404)插接配合。
6.如权利要求5所述的自动化微波等离子体装置，其特征在于，所述旋钮(6043)尾部由若干呈圆环等间距结构布置的限位块组成，所述限位块头端截面呈三角型结构，且所述若干所述限位块的棱边处均开设有倒角，所述插接槽(404)与所述旋钮(6043)尾部形状适配。
...【技术特征摘要】
1.一种自动化微波等离子体装置，其特征在于，包括微波等离子体装置本体(1)及固设有于所述微波等离子体装置本体(1)清洗腔的安装板(5)，所述微波等离子体装置本体(1)清洗腔内设有旋转机构(2)；
2.如权利要求1所述的自动化微波等离子体装置，其特征在于，所述x轴向转动组件(3)包括u型块a(301)及驱动电机a(303)，所述u型块a(301)底端固设有转杆a(302)，所述转杆a(302)底端穿出所述安装板(5)并与所述驱动电机a(303)输出端固定连接，所述转杆a(302)底端与所述安装板(5)通过轴承转动连接。
3.如权利要求2所述的自动化微波等离子体装置，其特征在于，所述y轴向转动组件(4)包括十字安装架(401)及驱动电机b(403)，所述十字安装架(401)两端外侧均固设有转杆b(402)，两个所述转杆b(402)分别与所述u型块a(301)两壁通过轴承转动连接，所述驱动电机b(403)固设于所述u型块a(301)侧壁外端，所述驱动电机b(403)输出端与相对所述驱动电机b(403)位置的所述转杆b(402)端部固定连接，所述十字安装架(401)交叉处外端开设有插接槽(404)。
4.如权利要求3所述的自动化微波等离子体装置，其特征在于，所述夹持机构(6)包括连接块...
【专利技术属性】
技术研发人员：林默原，
申请(专利权)人：苏州迈微能等离子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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