【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜设备，具体为一种新型环保真空镀膜设备。
技术介绍
1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，为了提高真空镀膜的工作效率，因此需要一种新型环保真空镀膜设备。
2、现有的技术公开号为cn218756022u的专利文献中提供一种真空镀膜设备，包括输送组件，输送组件的中部设有镀膜箱，镀膜箱的一侧顶部固定连接有镀膜机，镀膜箱的另一侧顶部固定连接有清洁组件，输送组件包括与地面接触的两组支撑柱，两组支撑柱的顶部之间均转动连接有输送轴，两个输送轴之间传动连接有输送带，其中一组支撑柱的一侧固定连接有电机箱，电机箱的内部安装有驱动电机，驱动电机的输出端通过连接轴与输送轴的一端固定连接，输送带的顶部表面固定连接多个限位板，通过设置的输送机构进行自动输送镀膜工件，其中驱动电机带动输送轴转动，两根输送轴经传送带传动连接，进而传送带进行输送，且传送带的表面设有限位板进行放置镀膜工件基材，进而更好完成镀膜工作，但是cn218756022u技术在进行操作时，存在基片表面镀膜不均匀、装置密封性较差的问题，为此急需一种新型环保真空镀膜设备。
技术实现思路
1、基于此，本技术的目的是提供一种新型环保真空镀膜设备，以解决现有的一种新型环保真空镀膜设备在使用的时候，基片表面镀膜不均匀、装置密封性较差的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型环保真空镀膜设备，包括镀膜机主体、旋转机构和密封机构，所述镀膜机主
3、所述旋转机构的上端安装有密封机构。
4、所述镀膜机主体的内壁开设有密封槽，所述镀膜机主体的内壁安装有靶材喷口,所述密封机构包括盖板、密封圈、限位块、复位杆、第一固定块、限位杆、限位板、限位轴和第二固定块，固定杆的上端活动连接有盖板，所述盖板的下端安装有密封圈，所述盖板的外壁安装有限位块，所述限位块的外壁安装有复位杆，所述盖板的上端安装有第一固定块，所述第一固定块的内壁安装有限位杆，所述限位杆的外壁安装有限位板，所述限位板的内壁安装有限位轴，所述限位轴的外壁安装有第二固定块，所述密封机构的外壁安装有固定架，所述镀膜机主体的下端安装有支撑杆。
5、优选的，所述旋转机构包括电机、固定板、主齿轮、副齿轮、固定套、固定杆和挂盘，所述镀膜机主体的下端安装有电机，所述电机的上端安装有固定板，所述固定板的内壁安装有主齿轮，所述主齿轮的外壁安装有副齿轮，所述主齿轮和副齿轮的上端均焊接有固定套，所述固定套的内壁安装有固定杆，所述固定杆的外壁焊接有挂盘。
6、优选的，所述主齿轮与副齿轮为活动连接，所述副齿轮以主齿轮的中心呈环形阵列分布设置。
7、优选的，所述固定套与固定杆卡合连接，所述固定套与固定杆的外壁均为六边形结构设置。
8、优选的，所述限位块与复位杆为活动连接，所述复位杆以盖板的中轴线呈环形阵列分布设置。
9、优选的，所述靶材喷口与镀膜机主体内壁为焊接连接，所述靶材喷口以镀膜机主体的内侧壁呈45度角设置。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
11、1、本技术通过设置的主齿轮和副齿轮，主齿轮与副齿轮为啮合连接，在使用装置时，主齿轮的设置便于装置进行传动旋转，使基片均匀镀膜，提高镀膜效率；
12、2、本技术通过设置的限位块和复位杆，限位块与复位杆紧密贴合，在使用装置时，复位杆的设置便于装置在更换新的基片时，对盖板伸缩弹出，方便装置开启，通过设置密封圈与密封槽紧密贴合，在使用装置时，密封圈的设置便于提高装置密封性；
13、3、本技术通过设置的靶材喷口与镀膜机主体内侧壁呈45度角，在使用装置时，靶材喷口喷出的靶材在镀膜机主体内部呈螺旋状对基片表面进行喷涂式贴合，提高镀膜效果。
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1.一种新型环保真空镀膜设备，包括镀膜机主体(1)、旋转机构(2)和密封机构(3)，其特征在于：所述镀膜机主体(1)的内壁安装有旋转机构(2)；
2.根据权利要求1所述的一种新型环保真空镀膜设备，其特征在于：所述旋转机构(2)包括电机(201)、固定板(202)、主齿轮(203)、副齿轮(204)、固定套(205)、固定杆(206)和挂盘(207)，所述镀膜机主体(1)的下端安装有电机(201)，所述电机(201)的上端安装有固定板(202)，所述固定板(202)的内壁安装有主齿轮(203)，所述主齿轮(203)的外壁安装有副齿轮(204)，所述主齿轮(203)和副齿轮(204)的上端均焊接有固定套(205)，所述固定套(205)的内壁安装有固定杆(206)，所述固定杆(206)的外壁焊接有挂盘(207)。
3.根据权利要求2所述的一种新型环保真空镀膜设备，其特征在于：所述主齿轮(203)与副齿轮(204)为活动连接，所述副齿轮(204)以主齿轮(203)的中心呈环形阵列分布设置。
4.根据权利要求2所述的一种新型环保真空镀膜设备，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的一种新型环保真空镀膜设备，其特征在于：所述限位块(303)与复位杆(304)为活动连接，所述复位杆(304)以盖板(301)的中轴线呈环形阵列分布设置。
6.根据权利要求1所述的一种新型环保真空镀膜设备，其特征在于：所述靶材喷口(5)与镀膜机主体(1)内壁为焊接连接，所述靶材喷口(5)以镀膜机主体(1)的内侧壁呈45度角设置。
...【技术特征摘要】
1.一种新型环保真空镀膜设备，包括镀膜机主体(1)、旋转机构(2)和密封机构(3)，其特征在于：所述镀膜机主体(1)的内壁安装有旋转机构(2)；
2.根据权利要求1所述的一种新型环保真空镀膜设备，其特征在于：所述旋转机构(2)包括电机(201)、固定板(202)、主齿轮(203)、副齿轮(204)、固定套(205)、固定杆(206)和挂盘(207)，所述镀膜机主体(1)的下端安装有电机(201)，所述电机(201)的上端安装有固定板(202)，所述固定板(202)的内壁安装有主齿轮(203)，所述主齿轮(203)的外壁安装有副齿轮(204)，所述主齿轮(203)和副齿轮(204)的上端均焊接有固定套(205)，所述固定套(205)的内壁安装有固定杆(206)，所述固定杆(206)的外壁焊接有挂盘(207)。
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【专利技术属性】
技术研发人员：杨桂锋，王飞，段崇军，姚志云，吴俊杰，
申请(专利权)人：桓宇时代江苏纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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