检测装置及探测器检测系统制造方法及图纸

本申请提供一种检测装置及探测器检测系统，涉及电路技术领域，该检测装置用于检测探测器，包括：控制模块、激光管芯以及检测模块；所述激光管芯连接于电源、用于设置在探测器一侧；所述控制模块连接于所述激光管芯、用于控制所述激光管芯与电源导通或断开；所述探测器用于在所述激光管芯与电源导通时，接收所述激光管芯发射的激光信号，并将所述激光信号转换为电信号；所述检测模块设置为接收所述探测器发出的所述电信号，以根据所述电信号确定所述探测器是否出现异常。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电路，尤其涉及一种检测装置及探测器检测系统。

技术介绍

1、随着半导体技术的发展，电子束缺陷检测和线宽测量技术应用的也越来越广泛。通常，为了保证硅片的良率，可以使用电子束图像缺陷检测设备对硅片表面进行扫描，以获取硅片表面形貌的图像信息，由于电子束检测系统涉及到高真空，电磁场复合工作环境复杂，在图像获取过程中可能会出现异常。

2、相关技术中，若扫描电镜图像发生异常时，为了确定异常原因，需要对探测器进行检测。而在对探测器进行检测时，依赖于进口检测设备，由于该进口检测设备成本较高，可配置的数量也不多，从而可能无法及时对探测器进行检测，进而影响半导体制造的流程。由此，如何降低对探测器进行探测的成本，显得至关重要。

技术实现思路

1、本申请提供一种检测装置及探测器检测系统。

2、根据本申请的第一方面，提供一种检测装置用于检测探测器，包括：控制模块、激光管芯以及检测模块；所述激光管芯连接于电源、用于设置在探测器一侧；所述控制模块连接于所述激光管芯、用于控制所述激光管芯与电源导通或断开；所述探测器用于在所述激光管芯与电源导通时，接收所述激光管芯发射的激光信号，并将所述激光信号转换为电信号；所述检测模块设置为接收所述探测器发出的所述电信号，以根据所述电信号确定所述探测器是否出现异常。

3、在一些实施方式中，所述控制模块包括信号发生器和开关单元，所述开关单元的第一连接端与所述信号发生器连接，以接收所述信号发生器发出的控制信号，所述开关单元的第二连接端与所述激光管芯连接；所述开关单元设置为在所述控制信号的作用下导通或断开。

4、在一些实施方式中，所述检测装置还包括整形模块；所述整形模块设置在所述探测器与所述激光管芯之间，用于对所述激光管芯发出的激光信号进行处理，以使所述探测器接收所述整形模块处理后的激光信号、并将所述处理后的激光信号转换为电信号。

5、在一些实施方式中，所述整形模块包括聚光镜、均光镜以及衰减镜中的至少一种；所述聚光镜用于对所述激光管芯发出的激光信号进行聚光处理；所述均光镜用于对所述激光管芯发出的激光信号进行均光处理；所述衰减镜用于对所述激光管芯发出的激光信号进行衰减处理。

6、在一些实施方式中，所述检测模块包括示波器和处理器；所述示波器用于将所述探测器发出的电信号进行处理，以得到信号波形图；所述处理器用于基于所述信号波形图，确定所述探测器是否出现异常。

7、在一些实施方式中，所述开关单元设置有开关管；所述开关管的第一连接端与所述信号发生器连接，以接收所述信号发生器发出的控制信号，所述开关管的第二连接端与所述激光管芯连接，所述开关管的第三连接端用于接地。

8、在一些实施方式中，所述控制模块还包括第一电阻；所述第一电阻的一端与所述信号发生器连接，所述第一电阻的另一端与所述开关管的第三连接端连接。

9、在一些实施方式中，所述控制模块还包括第二电阻；所述第二电阻的一端与所述信号发生器连接，所述第二电阻的另一端分别与所述第一电阻的一端、及所述开关管的第一连接端连接。

10、在一些实施方式中，还包括滤波模块；所述滤波模块的一端与所述电源连接，所述滤波模块的另一端与所述激光管芯连接。

11、根据本申请的第二方面，提供一种探测器检测系统，包括如上述任一方面所述的检测装置及探测器。

12、综上所述，本申请提供的检测装置及探测器检测系统，至少具有以下有益效果：由于控制模块可以控制激光管芯与电源间的导通状态，从而探测器可以在激光管芯与电源导通时，接收该激光管芯发射的激光信号，并将该激光信号转换为电信号，之后探测模块可以基于接收的探测器发出的电信号，确定探测器是否出现异常。由此，通过激光管芯、控制模块及检测模块，可以较为便捷地实现对探测器状态的检测，电路结构简单，成本也不高，从而降低了对探测器检测的成本。

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【技术保护点】

1.一种检测装置，用于检测探测器，其特征在于，包括：控制模块、激光管芯以及检测模块；

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括整形模块；

4.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测模块包括示波器和处理器；

6.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述开关单元设置有开关管；

7.如权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述控制模块还包括第一电阻；

8.如权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述控制模块还包括第二电阻；

9.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括滤波模块；

10.一种探测器检测系统，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一所述的检测装置及探测器。

【技术特征摘要】

1.一种检测装置，用于检测探测器，其特征在于，包括：控制模块、激光管芯以及检测模块；

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括整形模块；

4.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测模块包括示波器和处理器；

6.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王彦龙，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：新型
国别省市：