【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体领域，特别涉及一种压电结构。
技术介绍
1、随着半导体相关技术的发展，压电结构形成的声学器件也在飞速发展。压电结构形成的声学器件例如可以是微机电系统(mems)压电换能器，mems压电换能器可以应用在智能终端设备中，实现不同频段声信号接收和发射功能。
2、当前的压电结构由于受到结构设计尺寸微型化的影响，对于较低频率的声学信号不敏感，性能较难提升。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种压电结构，该压电结构能够降低振动频率，提高压电结构的低频性能。
2、为实现上述目的，本申请有如下技术方案：
3、本申请提供了一种压电结构，包括：基底和至少1个悬臂梁结构，所述悬臂梁结构包括悬空部分，所述悬空部分包括第一区域和第二区域，在平行于所述悬臂梁结构的方向上，所述悬空部分靠近第一区域的一侧和所述基底接触，所述悬空部分的其他侧和所述基底之间具有缝隙，所述悬空部分用于进行自由振动；
4、沿着所述第二区域朝向所述第一区域的方向，所述第一区域具有和所述基底接触的接触边缘；
5、所述第一区域具有缺口，在平行于所述悬臂梁结构的方向上，所述缺口从所述缝隙开始沿着所述接触边缘延伸固定距离。
6、可选地，通过调整所述固定距离调整所述悬臂梁结构的共振频率。
7、可选地，所述接触边缘包括第一部分、第二部分和第三部分，所述第一部分和所述第三部分分别位于所述第二部分的两侧，所述第二部分位于所述第一部分和所
8、可选地，所述固定距离小于或等于所述接触边缘的1/3。
9、可选地，所述缺口的高度和设置在所述第一区域的膜层的厚度相同。
10、可选地，所述缺口具有第一侧和第二侧，所述第一侧为靠近所述缝隙的一侧，所述第二侧为远离所述缝隙的一侧，所述基底具有开口，所述开口和所述第二侧接触，所述开口从所述第二侧开始在所述基底沿着远离所述第二区域的方向延伸，所述开口和所述缺口呈固定角度。
11、可选地，所述固定角度为90°。
12、可选地，所述开口的高度大于所述缺口的高度。
13、可选地，所述缺口包括第一缺口和第二缺口，所述开口包括第一开口和第二开口，所述第一开口和所述第一缺口的第二侧接触，所述第二开口和所述第二缺口的第二侧接触。
14、可选地，所述悬臂梁结构具有划缝，所述划缝用于将同一个悬臂梁结构的第二区域分隔为第一目标区域和第二目标区域，所述第一目标区域和所述第二目标区域远离所述第一区域的一侧连接。
15、可选地，所述划缝的长度小于缝隙的长度。
16、可选地，所述划缝用于将同一个悬臂梁结构的第一区域分隔为第三目标区域和第四目标区域，所述第三目标区域和所述第四目标区域不连接。
17、可选地，所述划缝用于将同一个悬臂梁结构的第一区域分隔为第三目标区域和第四目标区域，所述第三目标区域和所述第四目标区域远离所述第二区域的一侧连接。
18、本申请提供了一种压电结构，包括：基底和至少1个悬臂梁结构。悬臂梁结构包括悬空部分，悬空部分包括第一区域和第二区域，在平行于悬臂梁结构的方向上，悬空部分靠近第一区域的一侧和基底接触，悬空部分的其他侧和基底之间具有缝隙，悬空部分用于进行自由振动，即悬空部分用于接收声学振动信号。沿着第二区域朝向第一区域的方向，第一区域具有和基底接触的接触边缘，也就是接触边缘为悬臂梁结构的固定支撑边。第一区域具有缺口，在平行于悬臂梁结构的方向上，缺口从缝隙开始沿着接触边缘延伸固定距离，也就是说，缺口设置在和基底接触的第一区域，并且是悬臂梁结构两侧第一区域，缺口位于缝隙附近，这样设置的缺口能够调整悬臂梁结构在第一区域的应力集中趋势，通过调整缺口的大小从而改变悬臂梁结构的约束边界，从而降低悬臂梁结构的共振频率。较低的共振频率使得压电结构对低频信号更加灵敏，提高低频机电转换效率，进而提高压电结构的低频性能。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种压电结构，其特征在于，包括：基底和至少1个悬臂梁结构，所述悬臂梁结构包括悬空部分，所述悬空部分包括第一区域和第二区域，在平行于所述悬臂梁结构的方向上，所述悬空部分靠近第一区域的一侧和所述基底接触，所述悬空部分的其他侧和所述基底之间具有缝隙，所述悬空部分用于进行自由振动；
2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，通过调整所述固定距离调整所述悬臂梁结构的共振频率。
3.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，所述接触边缘包括第一部分、第二部分和第三部分，所述第一部分和所述第三部分分别位于所述第二部分的两侧，所述第二部分位于所述第一部分和所述第三部分远离所述第二区域的方向，所述缺口包括第一缺口和第二缺口，所述第一缺口的位置和所述第一部分的位置重合，所述第二缺口的位置和所述第三部分的位置重合，所述第一缺口延伸的固定距离等于所述第二缺口延伸的固定距离。
4.根据权利要求3所述的结构，其特征在于，所述固定距离小于或等于所述接触边缘的1/3。
5.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述缺口的高度和设置在所述第一区域的膜层的厚度相同。<...
【技术特征摘要】
1.一种压电结构，其特征在于，包括：基底和至少1个悬臂梁结构，所述悬臂梁结构包括悬空部分，所述悬空部分包括第一区域和第二区域，在平行于所述悬臂梁结构的方向上，所述悬空部分靠近第一区域的一侧和所述基底接触，所述悬空部分的其他侧和所述基底之间具有缝隙，所述悬空部分用于进行自由振动；
2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，通过调整所述固定距离调整所述悬臂梁结构的共振频率。
3.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，所述接触边缘包括第一部分、第二部分和第三部分，所述第一部分和所述第三部分分别位于所述第二部分的两侧，所述第二部分位于所述第一部分和所述第三部分远离所述第二区域的方向，所述缺口包括第一缺口和第二缺口，所述第一缺口的位置和所述第一部分的位置重合，所述第二缺口的位置和所述第三部分的位置重合，所述第一缺口延伸的固定距离等于所述第二缺口延伸的固定距离。
4.根据权利要求3所述的结构，其特征在于，所述固定距离小于或等于所述接触边缘的1/3。
5.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述缺口的高度和设置在所述第一区域的膜层的厚度相同。
6.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述缺口具有第一侧和第二侧，所述第一侧为靠近所述缝隙的一侧，所述第二侧为远离所述缝隙的一侧，所述基底具有开口，所述开口和所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王韬，
申请(专利权)人：成都纤声科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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