【技术实现步骤摘要】
本申请涉及显示领域，具体涉及一种显示面板及其制作方法、显示装置。
技术介绍
1、显示面板可以包括多种不同作用的薄膜晶体管，在制备不同类型薄膜晶体管的有源层时，需要通过栅极绝缘层对不同的有源层进行分隔，根据叠放顺序，若不同类型薄膜晶体管的栅极层为同一简单开口光罩制成时，在先形成的有源层与对应栅极层之间的栅极绝缘层的厚度更厚，难以自由调节不同类型薄膜晶体管的栅极绝缘层的厚度。
2、因此，亟需一种显示面板及其制作方法、显示装置以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种显示面板及其制作方法、显示装置，可以灵活调节不同类型薄膜晶体管的栅极绝缘层的厚度。
2、本申请提供一种显示面板，包括衬底、及位于所述衬底上的多个第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管；
3、所述第一薄膜晶体管包括第一有源层、及位于所述第一有源层远离所述衬底一侧的第一栅极层；
4、所述第二薄膜晶体管包括第二有源层、及位于所述第二有源层远离所述衬底一侧的第二栅极层；
5、其中，所述第一有源层位于所述第二有源层靠近所述衬底一侧，所述第一栅极层与所述第一有源层之间设置有第一栅极绝缘层，所述第一薄膜晶体管还包括与所述第一栅极层对应的刻蚀阻挡层，所述刻蚀阻挡层与设置于所述第一栅极绝缘层靠近所述第一栅极层一侧的表面上。
6、在一些实施例中，所述刻蚀阻挡层与所述第二有源层同层设置。
7、在一些实施例中，所述第二薄膜晶体管还包括与所述第二有源层电连接的第二
8、在一些实施例中，所述刻蚀阻挡层设置于所述第一栅极层靠近所述第一栅极绝缘层一侧的表面上；其中，在同一所述第一薄膜晶体管中，所述第一栅极层靠近所述刻蚀阻挡层一侧的表面的外轮廓，与所述刻蚀阻挡层靠近所述第一栅极层一侧的表面的外轮廓重合，所述第一栅极层的端面与所述刻蚀阻挡层的对应端面的坡度相同。
9、在一些实施例中，所述第一薄膜晶体管还包括与所述第一有源层电连接的第一源漏极层；所述第二薄膜晶体管还包括与所述第二有源层电连接的第二源漏极层；其中，所述第一栅极层、所述第二栅极层、所述第一源漏极层及所述第二源漏极层的材料均相同。
10、在一些实施例中，所述第一有源层包括与所述第一源漏极层电连接的第一有源导体段，所述第二有源层包括与所述第二源漏极层电连接的第二有源导体段；其中，所述第一薄膜晶体管还设置有第一孔，所述第一孔贯穿所述第一有源导体段，所述第二薄膜晶体管还设置有第二孔，所述第二孔贯穿所述第二有源导体段。
11、在一些实施例中，所述显示面板还包括位于所述衬底靠近所述第一薄膜晶体管一侧的缓冲层；所述第二栅极层与所述第二有源层之间设置有第二栅极绝缘层，所述第二有源层位于所述第一栅极绝缘层靠近所述第二栅极绝缘层一侧的表面上；其中，所述第一孔深入至所述缓冲层，所述第二孔深入至所述第一栅极绝缘层。
12、在一些实施例中，所述显示面板还设置有第三孔，所述第三孔位于所述第一薄膜晶体管与所述第二薄膜晶体管之间；其中，所述第三孔贯穿所述第二栅极绝缘层且深入至所述第一栅极绝缘层。
13、本申请还提供了一种显示面板的制作方法，包括：
14、提供一衬底；
15、在所述衬底上形成第一有源层；
16、在所述第一有源材料层上形成第一栅极绝缘层；
17、在所述第一栅极绝缘层上形成第二有源材料层；
18、利用图案化处理，将所述第二有源材料层图案化，以形成第二有源层、以及与所述第一有源层对应的刻蚀阻挡层；
19、在所述第二有源层及所述刻蚀阻挡层上形成第二栅极绝缘层；
20、利用图案化处理，将所述第二栅极绝缘层图案化，以形成使所述第一有源层裸露的第一过孔、使所述第二有源层裸露的第二过孔、及使所述刻蚀阻挡层裸露；
21、在所述第一过孔内形成与所述第一有源层电连接的第一源漏极层，在所述第二过孔内形成与所述第二有源层电连接的第二源漏极层，在所述刻蚀阻挡层上形成第一栅极层。
22、本申请还提供了一种显示装置，包括如任一上述的显示面板。
23、本申请有益效果：本申请通过在第一有源层上的第一栅极绝缘层上形成刻蚀阻挡层，在图案化第二栅极绝缘层时，利用刻蚀阻挡层保护下方的第一栅极绝缘层，通过调节第一栅极绝缘层的形成厚度，即可调节在先形成的第一有源层与第一栅极层之间的绝缘层的厚度，即使不同类型薄膜晶体管的栅极层为同一简单开口光罩制成，仍可以灵活调节在先形成的第一有源层与第一栅极层之间的第一栅极绝缘层的厚度，灵活调节膜层的厚度，有利于改善显示面板的性能。
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1.一种显示面板，其特征在于，包括衬底、及位于所述衬底上的多个第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管；
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述刻蚀阻挡层与所述第二有源层同层设置。
3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第二薄膜晶体管还包括与所述第二有源层电连接的第二源漏极层，所述第二有源层包括与所述第二源漏极层电连接的第二有源导体段；
4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述刻蚀阻挡层设置于所述第一栅极层靠近所述第一栅极绝缘层一侧的表面上；
5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一薄膜晶体管还包括与所述第一有源层电连接的第一源漏极层；
6.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述第一有源层包括与所述第一源漏极层电连接的第一有源导体段，所述第二有源层包括与所述第二源漏极层电连接的第二有源导体段；
7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括位于所述衬底靠近所述第一薄膜晶体管一侧的缓冲层；
8.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，
9.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：
10.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1至8中任一项所述的显示面板。
...【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，包括衬底、及位于所述衬底上的多个第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管；
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述刻蚀阻挡层与所述第二有源层同层设置。
3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第二薄膜晶体管还包括与所述第二有源层电连接的第二源漏极层，所述第二有源层包括与所述第二源漏极层电连接的第二有源导体段；
4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述刻蚀阻挡层设置于所述第一栅极层靠近所述第一栅极绝缘层一侧的表面上；
5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一薄膜晶体管还包括与所述第一有源层电连接的第...
【专利技术属性】
技术研发人员：卓毅，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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