【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频电路，尤其涉及一种射频功率检测装置及系统。
技术介绍
1、微带线上在生产时会有一端接地的物理隔离点，物理隔离点表现为电压是0v，然而在实际生产时微带线之间的间距可能不够准确，就会导致微带线上接地的这个点不是物理隔离点，就无法准确的检测微带线的电压，因此也无法准确的计算射频功率。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种射频功率检测装置及系统，以提高射频电源的电压检测准确度。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种射频功率检测装置，包括：
3、第一微带线，所述第一微带线与射频电源连接；
4、第二微带线，所述第二微带线与所述第一微带线平行设置且与所述第一微带线耦合，所述第二微带线上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线的物理隔离点；
5、电压检测单元，所述电压检测单元与所述第二微带线的一端连接，用于测试所述第二微带线的电压；
6、电容单元，所述电容单元分别连接所述第一微带线和所述第二微带线，或所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地，所述电容单元用于根据所述第一微带线和所述第二微带线的实际距离选择不同的电容值，以实现所述实际距离与所述第一微带线和所述第二微带线的预设距离相等。
7、其中，所述电容单元包括电容子单元和控制子单元，所述电容子单元与所述控制子单元连接，所述控制子单元用于基于所述电容子单元控制所述电容单元的输出电容值。
8、其中，所述电容子单元包括多个电容，所述多个电容并联
9、其中，所述装置还包括距离测试单元，所述距离测试单元分别连接所述电容单元和所述电压检测单元；所述距离测试单元用于测量所述预设点的电压；并在所述预设点的电压大于零的情况下向所述控制子单元发送第一距离信号，在所述预设点的电压小于零的情况下向所述控制子单元发送第二距离信号，在所述预设点的电压为零的情况下向所述电压检测单元发送第三距离信号，所述第一距离信号用于指示所述实际距离小于所述预设距离，所述第二距离信号用于指示所述实际距离大于所述预设距离，所述第三距离信号用于指示所述实际距离等于所述预设距离。
10、其中，在所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地的情况下，所述电容子单元包括可变电容，所述可变电容包括第一极片和第二极片，所述第一极片和所述第二极片相互绝缘，所述第一极片接地，所述控制子单元用于控制所述第一极片旋转，以控制所述可变电容的电容值。
11、其中，所述控制子单元包括至少一个电容调节器，所述至少一个电容调节器分别与所述可变电容连接，所述控制子单元用于基于所述至少一个电容调节器控制所述第一极片旋转。
12、其中，所述电容子单元包括可编程电容，所述可编程电容配置有电容数值控制逻辑，所述控制子单元根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成电容数值控制信号，所述可编程电容基于所述电容数值控制逻辑响应所述电容数值控制信号，以控制所述可编程电容的电容值。
13、其中，在所述电容单元分别连接所述第一微带线和所述第二微带线的情况下，所述控制子单元用于根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成第一控制策略；在所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地的情况下，所述控制子单元用于根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成第二控制策略。
14、其中，所述多个电容中至少一个电容的电容值与其他电容的电容值不同。
15、第二方面，本申请实施例提供了一种射频功率检测系统，包括根据第一方面所述的射频功率检测装置和射频电源；所述射频电源与所述射频功率检测装置连接。
16、可见，在本申请实施例中，提供了一种射频功率检测装置，包括：第一微带线，所述第一微带线与射频电源连接；第二微带线，所述第二微带线与所述第一微带线平行设置且与所述第一微带线耦合，所述第二微带线上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线的物理隔离点；电压检测单元，所述电压检测单元与所述第二微带线的一端连接，用于测试所述第二微带线的电压；电容单元，所述电容单元分别连接所述第一微带线和所述第二微带线，或所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地，所述电容单元用于根据所述第一微带线和所述第二微带线的实际距离选择不同的电容值，以实现所述实际距离与所述第一微带线和所述第二微带线的预设距离相等。通过电容单元根据所述第一微带线和所述第二微带线的预设距离调节所述第一微带线和所述第二微带线的实际距离，以实现实际距离和预设距离相同，使得物理隔离点的电压为零，从而检测第二微带线的电压，根据其电压计算射频功率，以提高射频电源的电压检测准确度。
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1.一种射频功率检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电容单元包括电容子单元和控制子单元，所述电容子单元与所述控制子单元连接，所述控制子单元用于基于所述电容子单元控制所述电容单元的输出电容值。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述电容子单元包括多个电容，所述多个电容并联，所述控制子单元包括至少一个开关，所述至少一个开关分别与所述多个电容连接，使得基于所述至少一个开关控制所述多个电容中每个电容与所述第二微带线的连接方式，所述连接方式包括正常连接或断开连接。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括距离测试单元，所述距离测试单元分别连接所述电容单元和所述电压检测单元；
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，在所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地的情况下，所述电容子单元包括可变电容，所述可变电容包括第一极片和第二极片，所述第一极片和所述第二极片相互绝缘，所述第一极片接地，所述控制子单元用于控制所述第一极片旋转，以控制所述可变电容的电容值。
6.根据权利
7.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述电容子单元包括可编程电容，所述可编程电容配置有电容数值控制逻辑，所述控制子单元根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成电容数值控制信号，所述可编程电容基于所述电容数值控制逻辑响应所述电容数值控制信号，以控制所述可编程电容的电容值。
8.根据权利要求4-7任一项所述的装置，其特征在于，在所述电容单元分别连接所述第一微带线和所述第二微带线的情况下，所述控制子单元用于根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成第一控制策略；
9.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述多个电容中至少一个电容的电容值与其他电容的电容值不同。
10.一种射频功率检测系统，其特征在于，包括根据权利要求1-9任一项所述的射频功率检测装置和射频电源；
...【技术特征摘要】
1.一种射频功率检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电容单元包括电容子单元和控制子单元，所述电容子单元与所述控制子单元连接，所述控制子单元用于基于所述电容子单元控制所述电容单元的输出电容值。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述电容子单元包括多个电容，所述多个电容并联，所述控制子单元包括至少一个开关，所述至少一个开关分别与所述多个电容连接，使得基于所述至少一个开关控制所述多个电容中每个电容与所述第二微带线的连接方式，所述连接方式包括正常连接或断开连接。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括距离测试单元，所述距离测试单元分别连接所述电容单元和所述电压检测单元；
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，在所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地的情况下，所述电容子单元包括可变电容，所述可变电容包括第一极片和第二极片，所述第一极片和所述第二极片相互绝缘，所述第一极片接地，所述控制子单元用于控制所述第一极片旋转，以控制所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树晓，陈亚梯，
申请(专利权)人：深圳市瀚强科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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