【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种igbt芯片超声扫描检测领域，特别是涉及一种双水槽液面升降式半自动超声扫描装置及扫描方法。
技术介绍
1、在芯片的制造过程中，为了对设计出的芯片进行内部分层、裂缝等缺陷的分析检测，一般会采用超声扫描装置对芯片进行检测。
2、现有技术中，对芯片进行超声扫描检测时，要将芯片使用密封夹具密封起来，放置在水箱中，向水箱中加水，使密封夹具和芯片完全浸入水中，芯片的检测面露在水中，再进行超声扫描，扫描结束后，将密封件和芯片从水中取出，再进行干燥处理。现有的芯片超声扫描装置，在将芯片密封，放入水中时，因为在芯片的检测面上分布有很多的引脚，在其中会有空气，所以在浸水时，在引脚之间容易产生气泡，影响后续的超声波检测的准确性。因为芯片在进行超声波检测前，需要将芯片装入密封夹具，然后进行浸水等操作，会消耗一段时间，因而，现有的芯片超声波扫描装置的扫描器会存在较多的空闲时间，影响检测效率，因而需要对其进行改进。
技术实现思路
1、本专利技术的第一个专利技术目的是针对
技术介绍
中所述的现有技术中芯片超声波扫描装置在对芯片进行超声波扫描时，存在空闲时间，检测效率低，浸水时，在芯片检测面上会生成气泡，影响超声扫描效果的问题，提供一种能够解决这些问题的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其包括底座、龙门架、超声扫描器、第一传送通道组件和第二传送通道组件，龙门架固定设置在底座上，
3、在上述方案中，所述底座内设有储水罐，储水罐内设有气室和储水室，气室与储水室之间通过活塞板隔开，在气室壁上连接有通气管，通气管与气泵连接，在储水室与浸水容器之间连接有水管，所述喷淋装置的进水口与水管连接。通过这种设置，可以通过气泵向气室中输入气体或抽吸气体，来控制活塞板的活动，当活塞板向着储水室的方向移动时，能使储水室中的水通过水管流动到浸水容器中，使浸水容器中的水位上升，使水完全浸泡浸水容器中的待测芯片，以便于对超声扫描器对芯片进行检测。
4、在上述方案中，所述浸水容器的外壁上设有液位传感器。通过在浸水容器的外壁上设置液位传感器，能够对浸水容器中的水位进行检测，以便于控制加水过程和排水过程。
5、在上述方案中，所述储水室的外壁上设有液位传感器。通过在储水室的外壁上设置液位传感器，能对储水室的液位进行监控，当储水室的液位低于预定的液位时，会提示用户向储水室中加水，当储水室内的液位达到预定的液位时，停止加水，使储水室中的水量满足浸水容器的水量要求。
6、在上述方案中，所述超声扫描器移动驱动组件包括x方向驱动组件、y方向驱动组件和z方向驱动组件， x方向驱动组件包括x向滑轨、x向滑座和x向驱动装置，x向滑轨有两组，两组x向滑轨分别固定在龙门架的横梁两侧的侧梁上，x向滑座滑动设置在x向滑轨上，x向驱动装置用于驱动x向滑座沿着x向滑轨移动，横梁两端分别与两组x向滑座固定连接，y方向驱动组件包括y向滑轨、y向滑座和y向驱动装置，y向滑轨设置在横梁上，y向滑座滑动设置在y向滑轨上，y向驱动装置用于驱动y向滑座沿着y向滑轨移动， z方向驱动组件包括z向滑轨、z向滑座和z向驱动装置，z向滑轨竖直设置在y向滑座的侧壁上，z向滑座滑动设置在z向滑轨上，z向驱动装置用于驱动z向滑座沿着z向滑轨移动，所述超声扫描器固定连接在z向滑座上。通过这种设置，能够控制超声扫描器的位置，使超声扫描器能在待测芯片的上方进行移动，对待测芯片进行高精度的扫描，提高检测的准确性。
7、在上述方案中，所述的龙门架的横梁还设有拖链安装座，拖链安装座固定连接在横梁上，并设置在y方向驱动组件的上方，在拖链安装座上设有拖链。通过设置拖链，能对横梁上的装置电源线及信号线提供保护，例如超声扫描器、y向驱动装置、z向驱动装置等设备的电源线和信号线都可以通过拖链延伸至龙门架的外侧，并与底座内的线路进行连接。
8、在上述方案中，所述龙门架的横梁上还设有两组吸水吹风装置，两组吸水吹风装置分别设置在与第一传送通道组件和第二传送通道组件的滑轨相对应的位置。通过这种设置，待测芯片检测完成后，浸水容器中的水完全排出后，浸水容器沿着滑轨移动至吸水吹风装置的下方，通过吸水吹风装置即可对待测芯片进行自动的风干处理，提高芯片的风干效率。
9、在上述方案中，所述浸水容器旁设有溢水槽，溢水槽的底部通过水管与储水罐连接，溢水槽的内侧壁的高度低于浸水容器的侧板高度。通过设置溢水槽能对溢出的水进行收集，并使溢出的水回流至储水罐中，避免了水的溢出造成检测设备的污染。
10、在上述方案中，还包括芯片密封夹具，芯片密封夹具包括底板、顶板和锁紧件，顶板与底板通过合页活动连接，锁紧件设置在顶板与底板远离合页的一侧面上，在底板的上表面上设有容纳槽，在容纳槽内设有若干个芯片定位座，在芯片定位座上设有用于芯片定位的定位台阶面，待测芯片放置在芯片定位座上后，通过密封压环压紧待测芯片，密封压环与待测芯片的形状相适，在芯片定位座上设有缺口部，通过缺口部使芯片定位座内的空腔与容纳槽内的空腔连通，所述顶板的下表面上设有与各个芯片定位座对应的定位通孔，在定位通孔的侧壁上设有与芯片定位座的侧壁以及密封压环对应的台阶面。通过设置芯片密封夹具，在检测时，可以先将多组待测的芯片装入芯片密封夹具中，使芯片的检测面露出顶板上的定位通孔外，以便于通过超声扫描器对其进行检测，同时芯片的底面设置在密封夹具内，能防止芯片的底面与水接触。
11、本专利技术的第二个专利技术目的在于提供一种双水槽液面升降式半自动超声扫描方法，包括以下步骤：
12、s1、将待测芯片装入芯片密封夹具中，使待测芯片除检测面露出芯片密封夹具外，其余部分密封在芯片密封夹具内；
13、s2、将装有待测芯片的芯片密封夹具放入浸水容器中，通过喷淋装置向待测芯片的检测面上喷淋，除去待测芯片的检测面上的引脚之间的空气；
14、s3、通过储水罐向浸水容器中加水，使水位上升至待测芯片的上方，待测芯片完全浸入水中；
15、s4、浸水容器沿着导轨移动至龙门架下方，龙门架上的超声扫描器驱动组件驱动超声扫描器移动至浸水容器的上方，对待测芯片进行超声扫描，扫描过程中，超声扫描器驱动组件带动超声扫描器在芯片密封夹具内的待测芯片的上方进行移动扫描检测，完成各个待测芯片的扫描检测；
16、s5、扫描完成后，排去浸水容器中的水，浸水容器沿着导轨移动至龙门架的后侧的吸水吹风装置的下方，通过吸水吹风装置将待测芯片的检测面上的水去除，使芯片的检测面干燥，打开芯片密封夹本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于，其包括底座、龙门架、超声扫描器、第一传送通道组件和第二传送通道组件，龙门架固定设置在底座上，第一传送通道组件和第二传送通道组件设置在龙门架的下方，第一传送通道和第二传送通道都包括滑轨、滑座、驱动装置和浸水容器，滑座设置在滑轨上，驱动装置用于驱动滑座沿着滑轨滑动，浸水容器固定设置在滑座上，龙门架上设有超声扫描器移动驱动组件，超声扫描器与超声扫描器移动驱动组件固定连接，超声扫描器的扫描探头向下设置，在浸水容器旁设有喷淋装置。
2.根据权利要求1所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述底座内设有储水罐，储水罐内设有气室和储水室，气室与储水室之间通过活塞板隔开，在气室壁上连接有通气管，通气管与气泵连接，在储水室与浸水容器之间连接有水管，所述喷淋装置的进水口与水管连接。
3.根据权利要求1所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述浸水容器的外壁上设有液位传感器。
4.根据权利要求2所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述储水室的外壁上设有液位传感器
5.根据权利要求1所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述超声扫描器移动驱动组件包括X方向驱动组件、Y方向驱动组件和Z方向驱动组件， X方向驱动组件包括X向滑轨、X向滑座和X向驱动装置，X向滑轨有两组，两组X向滑轨分别固定在龙门架的横梁两侧的侧梁上，X向滑座滑动设置在X向滑轨上，X向驱动装置用于驱动X向滑座沿着X向滑轨移动，横梁两端分别与两组X向滑座固定连接，Y方向驱动组件包括Y向滑轨、Y向滑座和Y向驱动装置，Y向滑轨设置在横梁上，Y向滑座滑动设置在Y向滑轨上，Y向驱动装置用于驱动Y向滑座沿着Y向滑轨移动， Z方向驱动组件包括Z向滑轨、Z向滑座和Z向驱动装置，Z向滑轨竖直设置在Y向滑座的侧壁上，Z向滑座滑动设置在Z向滑轨上，Z向驱动装置用于驱动Z向滑座沿着Z向滑轨移动，所述超声扫描器固定连接在Z向滑座上。
6.根据权利要求5所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述的龙门架的横梁还设有拖链安装座，拖链安装座固定连接在横梁上，并位于Y设置在方向驱动组件的上方，在拖链安装座上设有拖链。
7.根据权利要求1所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述龙门架的横梁上还设有两组吸水吹风装置，两组吸水吹风装置分别设置在与第一传送通道组件和第二传送通道组件的滑轨相对应的位置。
8.根据权利要求1所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述浸水容器旁设有溢水槽，溢水槽的底部通过水管与储水罐连接，溢水槽的内侧壁的高度低于浸水容器的侧板高度。
9.根据权利要求1所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：还包括芯片密封夹具，芯片密封夹具包括底板、顶板和锁紧件，顶板与底板通过合页活动连接，锁紧件设置在顶板与底板远离合页的一侧面上，在底板的上表面上设有容纳槽，在容纳槽内设有若干个芯片定位座，在芯片定位座上设有用于芯片定位的定位台阶面，待测芯片放置在芯片定位座上后，通过密封压环压紧待测芯片，密封压环与待测芯片的形状相适，在芯片定位座上设有缺口部，通过缺口部使芯片定位座内的空腔与容纳槽内的空腔连通，所述顶板的下表面上设有与各个芯片定位座对应的定位通孔，在定位通孔的侧壁上设有与芯片定位座的侧壁以及密封压环对应的台阶面。
10.一种应用权利要求1-9中任意一项所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置的扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于，其包括底座、龙门架、超声扫描器、第一传送通道组件和第二传送通道组件，龙门架固定设置在底座上，第一传送通道组件和第二传送通道组件设置在龙门架的下方，第一传送通道和第二传送通道都包括滑轨、滑座、驱动装置和浸水容器，滑座设置在滑轨上，驱动装置用于驱动滑座沿着滑轨滑动，浸水容器固定设置在滑座上，龙门架上设有超声扫描器移动驱动组件，超声扫描器与超声扫描器移动驱动组件固定连接，超声扫描器的扫描探头向下设置，在浸水容器旁设有喷淋装置。
2.根据权利要求1所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述底座内设有储水罐，储水罐内设有气室和储水室，气室与储水室之间通过活塞板隔开，在气室壁上连接有通气管，通气管与气泵连接，在储水室与浸水容器之间连接有水管，所述喷淋装置的进水口与水管连接。
3.根据权利要求1所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述浸水容器的外壁上设有液位传感器。
4.根据权利要求2所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述储水室的外壁上设有液位传感器。
5.根据权利要求1所述的双水槽液面升降式半自动超声扫描装置，其特征在于：所述超声扫描器移动驱动组件包括x方向驱动组件、y方向驱动组件和z方向驱动组件， x方向驱动组件包括x向滑轨、x向滑座和x向驱动装置，x向滑轨有两组，两组x向滑轨分别固定在龙门架的横梁两侧的侧梁上，x向滑座滑动设置在x向滑轨上，x向驱动装置用于驱动x向滑座沿着x向滑轨移动，横梁两端分别与两组x向滑座固定连接，y方向驱动组件包括y向滑轨、y向滑座和y向驱动装置，y向滑轨设置在横梁上，y向滑座滑动设置在y向滑轨上，y向驱动装置用于驱动y向滑座沿着y向滑轨移动，...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶乐志，牛天夏，梁献光，
申请(专利权)人：苏州广林达电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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