【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体检测领域，具体涉及一种基于腔衰荡光谱的多种气体检测装置。
技术介绍
1、激光吸收光谱技术由于其高选择性、小尺寸和快速响应等特点而被广泛应用于气体检测的各个领域。为了提高痕量气体传感的检测能力，开发了使用高精细度光学腔的腔增强光谱技术，大大增加了吸收光程。特别是，腔衰荡光谱技术通过测量光在腔中衰减的时间来计算目标气体的浓度，因此不受激光强度波动的影响，可以实现更高的检测灵敏度。
2、腔衰荡光谱技术要在一个衰荡腔中实现多种气体的测量，通常采用将单个激光器的波长调谐到每种待测气体的吸收谱线处分别进行测量，然而其中用的宽波长调谐范围的激光器成本高、体积大，系统不易集成。
技术实现思路
1、针对以上问题，本专利技术提出了一种新型的基于腔衰荡光谱的多种气体检测装置。
2、基于上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种基于腔衰荡光谱的多种气体检测装置，包括第一激光器、第二激光器、第三激光器、光切换开关、光隔离器、声光调制器、第一模式匹配系统、第二模式匹配系统、衰荡腔、光电探测器、阈值比较系统、数据采集系统；
4、三个激光器的输出组合进入光切换开关并由其进行切换后，通过相应波长的光隔离器和声光调制器，之后通过准直透镜进入谐振腔。从谐振腔透过的激光由光电探测器接收，生探测信号一路输入给阈值比较系统，生成脉冲信号输入给声光调制器，另一路输入到数据采集系统。本专利技术实现了多种气体浓度在一个衰荡腔的测量，提高了系统的集成性。
...【技术保护点】
1.一种基于腔衰荡光谱的多种气体检测装置，其特征在于，包括第一激光器、第二激光器、第三激光器、光切换开关、光隔离器、声光调制器、第一模式匹配系统、第二模式匹配系统、衰荡腔、光电探测器、阈值比较系统、数据采集系统；
2.据权利要求1所述的基于腔衰荡光谱的多种气体检测装置，其特征在于，所述三个激光器的波长对应待测气体的目标吸收谱线。
3.根据权利要求1所述的基于腔衰荡光谱的多种气体检测装置，其特征在于，所述光隔离器和声光调制器需要高带宽覆盖三种波长。
4.据权利要求1所述的基于腔衰荡光谱的多种气体检测装置，其特征在于，衰荡腔中反射镜的反射率要大于99.99％，同时具有一定的波长带宽。
5.据权利要求1所述的基于腔衰荡光谱的多组分痕量气体检测装置，其特征在于，数据采集卡的采样率通常在MHz量级。
【技术特征摘要】
1.一种基于腔衰荡光谱的多种气体检测装置，其特征在于，包括第一激光器、第二激光器、第三激光器、光切换开关、光隔离器、声光调制器、第一模式匹配系统、第二模式匹配系统、衰荡腔、光电探测器、阈值比较系统、数据采集系统；
2.据权利要求1所述的基于腔衰荡光谱的多种气体检测装置，其特征在于，所述三个激光器的波长对应待测气体的目标吸收谱线。
3.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：张强，连文涛，王林，
申请(专利权)人：合肥晟勐光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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