【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及触控显示器，特别是涉及一种阵列基板及其制造方法、触控显示面板。
技术介绍
1、液晶显示面板具有画质好、体积小、重量轻、低驱动电压、低功耗、无辐射和制造成本相对较低的优点，在平板显示领域占主导地位。随着显示技术的飞速发展，触控显示面板已经广泛地被人们所接受及使用，如智能手机、平板电脑等均使用了触控显示面板。触控显示面板采用嵌入式触控技术将触控面板和液晶显示面板结合为一体，并将触控面板功能嵌入到液晶显示面板内，使得液晶显示面板同时具备显示和感知触控输入的功能。
2、根据触控感测层在显示面板中的设置方式不同，触控显示面板分为外挂式(addonmode)、内嵌式(in-cell)和外嵌式(on-cell)等结构。内嵌式触摸屏将触控功能整合于显示屏内，因而能够有效的减少整个显示器的厚度并简化生产工艺，使得产品更加轻薄，生产成本更低，从而广受欢迎。
3、目前，对于内嵌式(in-cell)触摸屏，通常是将触摸屏结构直接设置在阵列基板上，主要是在阵列基板中将用于传输显示信号的一些结构部件复用为触控电极，比较常见的就是将公共电极复用为触控电极，然后控制公共电极传递公共信号和触控信号。其中，公共电极需要在显示区内通过接触孔与触控信号线导电连接，而触控信号线又需要在非显示区通过接触孔和桥接电极与外围走线导电连接，从而将信号引至绑定区。由于触控信号线与外围走线位于不同层，因此显示区和非显示区的开孔深度不同；再加上普通绝缘层(pv)的蚀刻速率为栅极绝缘层(gi)蚀刻速率的2倍(pv约为gi约为)，且开孔大小或位置的精
技术实现思路
1、为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本专利技术的目的在于提供一种阵列基板及其制造方法、触控显示面板，以解决现有技术中触控信号线和扫描线容易出现短路的问题。
2、本专利技术的目的通过下述技术方案实现：
3、本专利技术提供一种阵列基板，包括衬底以及沿远离所述衬底方向依次设置的扫描线、触控信号线以及多个触控电极，所述扫描线和所述触控信号线之间设有第一绝缘层和蚀刻阻挡层，所述蚀刻阻挡层位于所述第一绝缘层与所述触控信号线之间，所述触控信号线与所述触控电极之间设有第二绝缘层，在所述扫描线和所述触控信号线之间的交叉区域设有贯穿所述第二绝缘层的第一接触孔，所述触控电极通过所述第一接触孔与所述触控信号线导电连接，所述蚀刻阻挡层与所述第一接触孔相对应，所述蚀刻阻挡层在所述衬底上的投影区域完全覆盖住所述第一接触孔在所述衬底上的投影区域。
4、进一步地，所述阵列基板还包括像素电极，所述像素电极与所述触控信号线相互配合，所述蚀刻阻挡层与所述像素电极位于同一层并相互绝缘；
5、和/或，所述阵列基板还包括数据线，所述触控信号线与所述数据线位于同一层并相互绝缘。
6、进一步地，所述阵列基板还包括位于非显示区内的外围走线和桥接电极，所述桥接电极的一端与所述触控信号线电性连接，所述桥接电极的另一端与所述外围走线电性连接，所述桥接电极与所述触控电极位于同一层。
7、进一步地，所述外围走线与所述扫描线位于一层并相互绝缘；或，所述外围走线位于所述扫描线的下方并通过绝缘层相互间隔开。
8、本申请还提供一种阵列基板的制造方法，用于制造如上所述的阵列基板，该制造方法包括：
9、提供衬底；在所述衬底的上方形成图案化的扫描线和栅极，所述栅极与所述扫描线导电连接；
10、在所述扫描线和所述栅极的上方依次形成第一绝缘层、蚀刻阻挡层以及触控信号线，所述蚀刻阻挡层位于所述扫描线和所述触控信号线之间的交叉区域；
11、在所述触控信号线的上方形成覆盖所述触控信号线的第二绝缘层，对所述第二绝缘层进行蚀刻并形成与所述蚀刻阻挡层对应的第一接触孔，至少所述触控信号线从所述第一接触孔中露出，所述蚀刻阻挡层在所述衬底上的投影区域完全覆盖住所述第一接触孔在所述衬底上的投影区域；
12、在所述第二绝缘层的上方形成多个触控电极，所述触控电极通过所述第一接触孔与所述触控信号线导电连接。
13、进一步地，所述阵列基板还包括位于非显示区内的外围走线和桥接电极，所述外围走线和所述桥接电极的制造方法包括：
14、在所述衬底的上方形成第一金属层，对所述第一金属层进行蚀刻并形成所述扫描线、所述栅极以及外围走线，所述第一绝缘层覆盖住所述扫描线、所述栅极以及所述外围走线；
15、在对所述第二绝缘层进行蚀刻时，同时对位于所述非显示区内的所述第一绝缘层进行蚀刻，并在所述触控信号线的末端位置形成第二接触孔以及在所述外围走线位置形成第三接触孔；
16、在所述第二绝缘层的上方形成第二透明导电层，对所述第二透明导电层进行刻蚀并形成图案化的所述触控电极和所述桥接电极，所述桥接电极的一端通过所述第二接触孔与所述触控信号线电性连接，所述桥接电极的另一端通过所述第三接触孔与所述外围走线电性连接。
17、进一步地，所述阵列基板还包括位于非显示区内的外围走线和桥接电极，所述外围走线和所述桥接电极的制造方法包括：
18、在所述衬底的上方形成第一金属层，对所述第一金属层进行蚀刻并形成所述外围走线；
19、在所述衬底的上方形成覆盖所述外围走线的绝缘层；
20、在所述绝缘层的上方形成第二金属层，对所述第二金属层进行蚀刻并形成所述扫描线和所述栅极，所述第一绝缘层覆盖住所述扫描线和所述栅极；
21、在对所述第二绝缘层进行蚀刻时，同时对位于所述非显示区内的所述第一绝缘层和所述绝缘层进行蚀刻，并在所述触控信号线的末端位置形成第二接触孔以及在所述外围走线位置形成第三接触孔；
22、在所述第二绝缘层的上方形成第二透明导电层，对所述第二透明导电层进行刻蚀并形成图案化的所述触控电极和所述桥接电极，所述桥接电极的一端通过所述第二接触孔与所述触控信号线电性连接，所述桥接电极的另一端通过所述第三接触孔与所述外围走线电性连接。
23、进一步地，所述阵列基板还包括像素电极、数据线、源极、漏极以及有源层，所述像素电极、所述数据线、所述源极、所述漏极以及所述有源层的制造方法包括：
24、在第一绝缘层的上方形成所述有源层；
25、在第一绝缘层的上方形成覆盖所述有源层的第一透明导电层，对所述第一透明导电层进行刻蚀并形成图案化的所述蚀刻阻挡层和像素电极，所述蚀刻阻挡层与所述像素电极相互绝缘；
26、在所述第一透明导电层的上方形成第三金属层，对所述第三金属层进行刻蚀并形成图案化的所述数据线、所述源极、所述漏极以及所述触控信号线，所述数据线与所述源极导电连接，所述漏极与所述像素电极导电连接，所述源极与所述漏极之间通过所述有源层连接。
27、本申请还提供一种触控显示面板，包括阵列基板、彩膜基板和位于所本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括衬底(20)以及沿远离所述衬底(20)方向依次设置的扫描线(221)、触控信号线(254)以及多个触控电极(261)，所述扫描线(221)和所述触控信号线(254)之间设有第一绝缘层(202)和蚀刻阻挡层(242)，所述蚀刻阻挡层(242)位于所述第一绝缘层(202)与所述触控信号线(254)之间，所述触控信号线(254)与所述触控电极(261)之间设有第二绝缘层(203)，在所述扫描线(221)和所述触控信号线(254)之间的交叉区域设有贯穿所述第二绝缘层(203)的第一接触孔(H1)，所述触控电极(261)通过所述第一接触孔(H1)与所述触控信号线(254)导电连接，所述蚀刻阻挡层(242)与所述第一接触孔(H1)相对应，所述蚀刻阻挡层(242)在所述衬底(20)上的投影区域完全覆盖住所述第一接触孔(H1)在所述衬底(20)上的投影区域。
2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括像素电极(241)，所述像素电极(241)与所述触控信号线(254)相互配合，所述蚀刻阻挡层(242)与所述像素电极(241)位于
3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括数据线(251)，所述触控信号线(254)与所述数据线(251)位于同一层并相互绝缘。
4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括位于非显示区内的外围走线(211)和桥接电极(262)，所述桥接电极(262)的一端与所述触控信号线(254)电性连接，所述桥接电极(262)的另一端与所述外围走线(211)电性连接，所述桥接电极(262)与所述触控电极(261)位于同一层。
5.根据权利要求4所述的阵列基板，其特征在于，所述外围走线(211)与所述扫描线(221)位于一层并相互绝缘；或，所述外围走线(211)位于所述扫描线(221)的下方并通过绝缘间隔层(201)相互间隔开。
6.一种阵列基板的制造方法，其特征在于，用于制造如权利要求1-5任一项所述的阵列基板，该制造方法包括：
7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述阵列基板还包括位于非显示区内的外围走线(211)和桥接电极(262)，所述外围走线(211)和所述桥接电极(262)的制造方法包括：
8.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述阵列基板还包括位于非显示区内的外围走线(211)和桥接电极(262)，所述外围走线(211)和所述桥接电极(262)的制造方法包括：
9.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述阵列基板还包括像素电极(241)、数据线(251)、源极(252)、漏极(253)以及有源层(23)，所述像素电极(241)、所述数据线(251)、所述源极(252)、所述漏极(253)以及所述有源层(23)的制造方法包括：
10.一种触控显示面板，包括阵列基板、彩膜基板(10)和位于所述阵列基板与所述彩膜基板(10)之间的液晶层(30)，其特征在于，所述阵列基板为如权利要求1-5任意一项所述的阵列基板。
...【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括衬底(20)以及沿远离所述衬底(20)方向依次设置的扫描线(221)、触控信号线(254)以及多个触控电极(261)，所述扫描线(221)和所述触控信号线(254)之间设有第一绝缘层(202)和蚀刻阻挡层(242)，所述蚀刻阻挡层(242)位于所述第一绝缘层(202)与所述触控信号线(254)之间，所述触控信号线(254)与所述触控电极(261)之间设有第二绝缘层(203)，在所述扫描线(221)和所述触控信号线(254)之间的交叉区域设有贯穿所述第二绝缘层(203)的第一接触孔(h1)，所述触控电极(261)通过所述第一接触孔(h1)与所述触控信号线(254)导电连接，所述蚀刻阻挡层(242)与所述第一接触孔(h1)相对应，所述蚀刻阻挡层(242)在所述衬底(20)上的投影区域完全覆盖住所述第一接触孔(h1)在所述衬底(20)上的投影区域。
2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括像素电极(241)，所述像素电极(241)与所述触控信号线(254)相互配合，所述蚀刻阻挡层(242)与所述像素电极(241)位于同一层并相互绝缘。
3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括数据线(251)，所述触控信号线(254)与所述数据线(251)位于同一层并相互绝缘。
4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括位于非显示区内的外围走线(211)和桥接电极(262)，所述桥接电极(262)的一端与所述触控信号线...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志奇，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。