【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材加工，具体为一种靶材加工的加压设备及其方法。
技术介绍
1、将高纯度钽靶材以及铜或铝合金的背板经过加工、焊接成型，制成半导体工业所使用的把材组件后，然后安装在射机台上，在磁场、电场作用下有效进行溅射控制，加工半导体芯片，而目前，半导体芯片用靶材因机台不同，靶材的形状也不尽相同，所以需要进行加压整形；
2、但是现有的靶材加压整形设备，不能在加压整形的间隙中，自动的将靶材移动到冲压的位置，从而需要工人手动进行放置，增加了工人的操作步骤，降低了加工的效率，所以我们对这些情况，为避免上述技术问题，确有必要提供一种靶材加工的加压设备及其方法以克服现有技术中的所述缺陷。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种靶材加工的加压设备及其方法，可以有效解决上述
技术介绍
中提出的不能在加压整形的间隙中，自动的将靶材移动到冲压的位置，从而需要工人手动进行放置，增加了工人的操作步骤，降低了加工的效率的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种靶材加工的加压设备，包括底板，所述底板顶端中部位置处通过螺栓连接有支撑座，所述支撑座内部设置有加压整形与往返上料机构，所述加压整形与往返上料机构包括定位滑杆；
3、所述支撑座内壁等距活动连接有定位滑杆，所述定位滑杆两端均通过螺栓连接有移动支架，且两个移动支架顶端卡接有上料架，两个所述移动支架相邻一端对应支撑座底部位置处卡接有框架，所述框架内壁滑动连接有滑板；
4、所述滑板内部等距开设有齿槽，
5、所述活动板顶端传动连接有内齿套筒，且传动杆外侧对应内齿套筒内部位置处等距卡接有齿凸，所述内齿套筒顶端和传动轮底端位置处均通过螺栓连接有平面齿轮；
6、所述支撑座顶端设置有盖板，所述盖板顶端对应传动杆顶部位置处通过安装板安装有旋转电机，所述盖板顶端中部位置处转动连接有转筒，且转筒外侧和旋转电机外侧与传动轮和竖杆外侧均套接有传动带，所述转筒内壁通过螺纹连接有加压杆，所述加压杆底端通过螺栓连接有升降板，所述升降板底端中部位置处通过螺纹连接有整形压柱。
7、根据上述技术方案，所述支撑座顶端等距对称卡接有立柱，所述立柱顶端通过螺栓连接有盖板；
8、所述连接滑板一端卡接有限位板，所述限位板顶端转动连接有滚轴，所述支撑座底端对应框架一侧位置处通过螺栓连接有循环滑轨；
9、所述支撑座底端对应框架一侧位置处转动连接有传动轮，且所述支撑座内壁对应传动轮顶部位置处转动连接有传动杆，且传动杆外侧对应支撑座顶部位置处通过螺纹连接有限位压板，所述传动杆外侧底部位置处动套接有活动板，所述框架一端对应活动板底部位置处对称卡接有截断顶块，所述活动板顶端各边角位置处均卡接有限位杆，且限位杆外侧支撑座顶部位置处均套接有复位弹簧。
10、根据上述技术方案，两个所述移动支架底端均对称转动连接有支撑轮，所述支撑座顶端对应上料架两侧位置处均卡接有挡板，所述上料架两端与挡板内壁滑动连接，所述限位板一端贯穿框架一端，所述滚轴外侧与循环滑轨外侧相贴合，所述驱动齿轮与齿槽啮合。
11、根据上述技术方案，所述传动杆通过齿凸与内齿套筒啮合，所述限位杆顶端卡接有垫片，所述旋转电机通过外部电源进行供电，且旋转电机的输出轴与传动杆的顶端卡接，所述立柱一端贯穿升降板一端，且立柱外侧与升降板内壁活动连接，所述支撑座顶端卡接有防偏杆，且防偏杆顶端贯穿限位压板与盖板底端固定连接，所述截断顶块一端和活动板一端均开设有斜面。
12、根据上述技术方案，所述上料架底端设置有自动脱模机构，所述自动脱模机构包括整形筒；
13、所述上料架顶端对称卡接有整形筒，所述整形筒底端活动连接有支撑杆，所述支撑杆顶端对应整形筒内部位置处通过螺栓连接有脱模板，所述支撑杆底端对应整形筒底部位置处通过螺栓连接有牵引板；
14、所述整形筒底端对称转动连接有调高杆，所述调高杆顶端对应整形筒内部位置处转动连接有限位托板；
15、所述上料架底端中部位置处卡接有隔板，所述上料架内壁对应隔板两侧位置处均活动连接有滑框，且滑框内壁对称转动连接有转动板，两个所述滑框相反一端均通过螺栓连接有延长架，且底板顶端通过螺栓对称连接有侧板；
16、所述上料架底端对应两个滑框内部位置处均通过螺栓连接有固定板，两个所述固定板之间均等距卡接有横杆，且固定板和滑框之间对应横杆外侧位置处均套接有支撑弹簧。
17、根据上述技术方案，所述整形筒的安装位置与整形压柱的安装位置相对应，且整形筒的内径大于整形压柱的外径，所述脱模板外侧与整形筒内壁相贴合。
18、根据上述技术方案，所述转动板另一端与牵引板一端转动连接，所述延长架一端贯穿上料架一端，所述侧板顶端的水平高度等于延长架顶端的水平高度，所述横杆一端贯穿滑框一端。
19、根据上述技术方案，所述底板顶端设置有推料与限位防偏机构，所述推料与限位防偏机构包括推送架；
20、所述底板顶端对应支撑座两侧位置处均通过螺栓连接有推送架，所述推送架顶端一侧位置处卡接有凸板，所述凸板内壁对称滑动连接有推杆，且两个推杆一端对应推送架顶部位置处均卡接有弧形推板，两个所述推杆另一端均卡接有连接板；
21、所述上料架顶端对应整形筒外侧位置处通过螺栓连接有限位筒，所述限位筒内壁对应整形筒顶部位置处通过螺纹等距连接有顶杆，所述顶杆一端对应限位筒内部位置处均转动连接有垫块，所述限位筒内部通过垫块夹持有定位环；
22、所述整形压柱外侧对应定位环内侧位置处活动套接有压环，所述压环顶端等距卡接有活动杆，所述活动杆顶端卡接有垫环，且垫环和升降板之间对应活动杆外侧位置处均卡接有张紧弹簧。
23、根据上述技术方案，所述弧形推板底端与推送架顶端相贴合，所述弧形推板两端对应推送架两侧位置处均卡接有防偏板，所述连接板另一端卡接有把手；
24、所述推送架顶端的水平高度高于定位环顶端的水平高度，所述定位环外侧开设有槽口，所述垫块一端嵌入槽口内部，所述活动杆顶端贯穿升降板顶端，且活动杆外侧与升降板内壁滑动连接。
25、根据上述技术方案，一种靶材加工的加压方法，根据一种靶材加工的加压设备的加压方法，包括如下步骤：
26、s1、将加热后的靶材放置到底板上的推送架上备用，然后通过连接板推着推杆和弧形推板移动，从而将靶材推送到定位环内部固定；
27、s2、启动旋转电机，通过传动带和转筒的配合，带动加压杆旋转下降，从而推着升降板和整形压柱下降，对靶材进行加压整形；
28、s3、利用传动杆、内齿套筒、齿凸、平面齿轮、传动轮和另一个传动带配合，对动力进行传递，在升降板下降时，方便旋转电机带动竖杆和驱动齿轮旋转，并利用限位板、滚轴、循环滑轨和齿槽的配合，推着框架、移动支架和上料架左右滑动上料；
29、s4、靶本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种靶材加工的加压设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶端中部位置处通过螺栓连接有支撑座(2)，所述支撑座(2)内部设置有加压整形与往返上料机构(5)，所述加压整形与往返上料机构(5)包括定位滑杆(501)；
2.根据权利要求1所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：所述支撑座(2)顶端等距对称卡接有立柱(3)，所述立柱(3)顶端通过螺栓连接有盖板(4)；
3.根据权利要求2所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：两个所述移动支架(502)底端均对称转动连接有支撑轮，所述支撑座(2)顶端对应上料架(503)两侧位置处均卡接有挡板，所述上料架(503)两端与挡板内壁滑动连接，所述限位板(506)一端贯穿框架(504)一端，所述滚轴(507)外侧与循环滑轨(508)外侧相贴合，所述驱动齿轮(511)与齿槽(509)啮合。
4.根据权利要求2所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：所述传动杆(513)通过齿凸(519)与内齿套筒(518)啮合，所述限位杆(516)顶端卡接有垫片，所述旋转电机(521)通过外部电源进行供电，且旋转
5.根据权利要求2所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：所述上料架(503)底端设置有自动脱模机构(6)，所述自动脱模机构(6)包括整形筒(601)；
6.根据权利要求5所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：所述整形筒(601)的安装位置与整形压柱(526)的安装位置相对应，且整形筒(601)的内径大于整形压柱(526)的外径，所述脱模板(603)外侧与整形筒(601)内壁相贴合。
7.根据权利要求5所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：所述转动板(609)另一端与牵引板(604)一端转动连接，所述延长架(610)一端贯穿上料架(503)一端，所述侧板(611)顶端的水平高度等于延长架(610)顶端的水平高度，所述横杆(613)一端贯穿滑框(608)一端。
8.根据权利要求5所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：所述底板(1)顶端设置有推料与限位防偏机构(7)，所述推料与限位防偏机构(7)包括推送架(701)；
9.根据权利要求8所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：所述弧形推板(704)底端与推送架(701)顶端相贴合，所述弧形推板(704)两端对应推送架(701)两侧位置处均卡接有防偏板，所述连接板(705)另一端卡接有把手；
10.一种靶材加工的加压方法，根据权利要求8所述的一种靶材加工的加压设备的加压方法，其特征在于：包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种靶材加工的加压设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶端中部位置处通过螺栓连接有支撑座(2)，所述支撑座(2)内部设置有加压整形与往返上料机构(5)，所述加压整形与往返上料机构(5)包括定位滑杆(501)；
2.根据权利要求1所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：所述支撑座(2)顶端等距对称卡接有立柱(3)，所述立柱(3)顶端通过螺栓连接有盖板(4)；
3.根据权利要求2所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：两个所述移动支架(502)底端均对称转动连接有支撑轮，所述支撑座(2)顶端对应上料架(503)两侧位置处均卡接有挡板，所述上料架(503)两端与挡板内壁滑动连接，所述限位板(506)一端贯穿框架(504)一端，所述滚轴(507)外侧与循环滑轨(508)外侧相贴合，所述驱动齿轮(511)与齿槽(509)啮合。
4.根据权利要求2所述的一种靶材加工的加压设备，其特征在于：所述传动杆(513)通过齿凸(519)与内齿套筒(518)啮合，所述限位杆(516)顶端卡接有垫片，所述旋转电机(521)通过外部电源进行供电，且旋转电机(521)的输出轴与传动杆(513)的顶端卡接，所述立柱(3)一端贯穿升降板(525)一端，且立柱(3)外侧与升降板(525)内壁活动连接，所述支撑座(2)顶端卡接有防偏杆，且防偏杆顶端贯穿限位压板(527)与盖板(4)底端固定连接，所述截断顶块(528)一端和活动板(514...
【专利技术属性】
技术研发人员：穆健刚，赵伟，陈来军，
申请(专利权)人：河北瑞弛新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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