【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机械加工装夹，具体地，涉及一种零件真空吸附和氩气保护一体装置，尤其地，涉及一种基于飞秒激光加工软薄类零件真空吸附和氩气保护一体装置，特别地，涉及飞秒激光加工软薄类零件装夹固定和加工区域保护。
技术介绍
1、随着精密加工技术的发展，加工尺寸精度达到0.1～1μm，表面粗糙度达到0.025～0.1μm，除了具备先进的加工设备和完善的加工工艺外，能够提供完备的工装及完善的生产条件，可以保证整个加工系统的先进性。
2、在飞秒激光加工软薄类零件功能微结构过程中，零件的装夹系统设计是非常重要的环节,其结构设计将直接影响到加工零件的尺寸精度与形位精度，零件的装夹系统既要考虑减小对软薄类工件夹持变形，也要考虑装夹加工的效率和便捷性，还要避免激光加工区域受外界环境因素对加工质量的影响。
技术实现思路
1、针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种零件真空吸附和氩气保护一体装置。
2、根据本专利技术提供的一种零件真空吸附和氩气保护一体装置，包括真空吸附部分与氩气保护部分，所述真空吸附部分包括真空吸附装夹件、保压罐、操作阀门以及所述真空泵；所述氩气保护部分包括氩气保护件与惰性气体罐；
3、所述真空吸附装夹件与氩气保护件密封连接；真空吸附装夹件与氩气保护件形成装夹腔，待加工零件安装至所述装夹腔内；
4、所述惰性气体罐与所述氩气保护件相连；所述真空泵通过所述保压罐与真空吸附装夹件相连；所述保压罐上安装有操作阀门。
5、优选的，真
6、优选的，还包括接管嘴，接管嘴的数量为1个或多个，所述惰性气体罐通过接管嘴与氩气保护件连接，保压罐通过接管嘴与真空吸附装夹件连接。
7、优选的，所述操作阀门为电磁阀。
8、优选的，还包括控制器、压力传感器以及传感器控制电源；
9、压力传感器安装在所述保压罐顶端，所述传感器控制电源与压力传感器电连接；
10、所述压力传感器、操作阀门以及真空泵均与所述控制器电连接。
11、优选的，真空吸附部分还包括过滤器；
12、所述过滤器设置在所述保压罐与真空泵之间。
13、优选的，所述真空吸附装夹件内设置有一级真空腔与二级真空腔，一级真空腔与二级真空腔之间通过过渡孔连通，二级真空腔与所述接管嘴相连。
14、优选的，真空吸附装夹件还包括工件装夹台，所述工件装夹台位于所述一级真空腔的上方，工件装夹台上设置有一个或多个的多孔蜂窝真空吸附结构；多孔蜂窝真空吸附结构为具有蜂窝通孔的凸起圆台结构；所述装夹腔与所述一级真空腔通过所述蜂窝通孔相连通。
15、优选的，所述凸起圆台结构表面涂有teflon涂层。
16、优选的，氩气保护部分还包括光路可通过性玻璃板，所述光路可通过性玻璃板安装在所述氩气保护件顶部，外界光线能够通过光路可通过性玻璃板照射入装夹腔中。
17、与现有技术相比，本专利技术具有如下的有益效果：
18、1、本专利技术通过在真空吸附装夹件上设置多孔蜂窝真空吸附结构，并在多孔蜂窝真空吸附结构上涂覆特氟龙涂层的手段，保证了软薄类零件装夹时的工作效率与便捷性，并且能够减少零件的夹持变形，防止工件表面碰划伤。
19、2、本专利技术通过真空吸附部分的设置，采用了光路可通过性玻璃板，既可以实现飞秒激光无遮挡加工，又可以在工件加工区域周围形成充分的保护气体，进行防氧化保护。
20、3、本专利技术通过压力传感器与控制器的设置，能够控制实现预设压力自动停机、压力降低自动升压并保压功能。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，包括真空吸附部分与氩气保护部分，所述真空吸附部分包括真空吸附装夹件(1)、保压罐(8)、操作阀门(9)以及真空泵(14)；所述氩气保护部分包括氩气保护件(2)与惰性气体罐(12)；
2.根据权利要求1所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，真空吸附部分还包括消音器(15)，所述消音器(15)安装在所述真空泵(14)上。
3.根据权利要求1所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，还包括接管嘴(7)，接管嘴(7)的数量为1个或多个，所述惰性气体罐(12)通过接管嘴(7)与氩气保护件(2)连接，保压罐(8)通过接管嘴(7)与真空吸附装夹件(1)连接。
4.根据权利要求1所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，所述操作阀门(9)为电磁阀。
5.根据权利要求4所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，还包括控制器、压力传感器(10)以及传感器控制电源(11)；
6.根据权利要求1所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，真空吸附部分还
7.根据权利要求3所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，所述真空吸附装夹件(1)内设置有一级真空腔(61)与二级真空腔(62)，一级真空腔(61)与二级真空腔(62)之间通过过渡孔连通，二级真空腔(62)与所述接管嘴(7)相连。
8.根据权利要求7所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，真空吸附装夹件(1)还包括工件装夹台(17)，所述工件装夹台(17)位于所述一级真空腔(61)的上方，工件装夹台(17)上设置有一个或多个的多孔蜂窝真空吸附结构(4)；多孔蜂窝真空吸附结构(4)为具有蜂窝通孔的凸起圆台结构；所述装夹腔(16)与所述一级真空腔(61)通过所述蜂窝通孔相连通。
9.根据权利要求8所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，所述凸起圆台结构表面涂有Teflon涂层。
10.根据权利要求1所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，氩气保护部分还包括光路可通过性玻璃板(3)，所述光路可通过性玻璃板(3)安装在所述氩气保护件(2)顶部，外界光线能够通过光路可通过性玻璃板(3)照射入装夹腔(16)中。
...【技术特征摘要】
1.一种零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，包括真空吸附部分与氩气保护部分，所述真空吸附部分包括真空吸附装夹件(1)、保压罐(8)、操作阀门(9)以及真空泵(14)；所述氩气保护部分包括氩气保护件(2)与惰性气体罐(12)；
2.根据权利要求1所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，真空吸附部分还包括消音器(15)，所述消音器(15)安装在所述真空泵(14)上。
3.根据权利要求1所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，还包括接管嘴(7)，接管嘴(7)的数量为1个或多个，所述惰性气体罐(12)通过接管嘴(7)与氩气保护件(2)连接，保压罐(8)通过接管嘴(7)与真空吸附装夹件(1)连接。
4.根据权利要求1所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，所述操作阀门(9)为电磁阀。
5.根据权利要求4所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，还包括控制器、压力传感器(10)以及传感器控制电源(11)；
6.根据权利要求1所述的零件真空吸附和氩气保护一体装置，其特征在于，真空吸附部分还包括过滤器(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶金鑫，孟金龙，徐世俊，张文胜，李洁琼，陈蔚冰，胡伟强，夏勤，杨伟军，
申请(专利权)人：上海航天设备制造总厂有限公司，
类型：发明
国别省市：
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