摄像器件制造技术

技术编号：40182860 阅读：4 留言：0更新日期：2024-01-26 23:48

本发明专利技术涉及摄像器件。摄像器件包括：第一光电转换区域，设置在半导体基板中；第二光电转换区域，设置在所述半导体基板中，并与所述第一光电转换区域相邻；第一滤色器，设置在所述第一光电转换区域的上方；第二滤色器，设置在所述第二光电转换区域的上方；以及第三滤色器，在截面图中，所述第三滤色器设置在所述第二光电转换区域与所述第二滤色器之间，其中，在所述截面图中，所述第三滤色器的第一侧处的所述第三滤色器的第一宽度大于所述第三滤色器的第二侧处的所述第三滤色器的第二宽度，所述第三滤色器的第一侧靠近所述第二滤色器，并且所述第三滤色器的第二侧靠近所述半导体基板。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及摄像器件和摄像器件的制造方法。特别地，本专利技术涉及包括使红外光衰减的滤光器的摄像器件和摄像器件的制造方法。

技术介绍

1、通常，摄像器件使用片上透镜收集入射光，并且根据入射光执行光电转换。使用包括滤色器和红外光衰减滤光器的摄像器件，该滤色器是使收集的入射光之中的红外光和特定波长的可见光透过的滤光器，该红外光衰减滤光器是使收集的入射光之中的红外光衰减并且使收集的入射光之中的可见光透过的滤光器。

2、例如，专利文献1中公开了这样的技术。

3、引用列表

4、专利文献

5、专利文献1：日本专利申请特开第2016-177273号

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题

2、作为上述现有技术，公开了具有如下构造的固态摄像器件：其中，红外光衰减滤光器、可见光滤色器和片上透镜依次堆叠，并且使用片上透镜透射可见光和红外光。由在光谱设计中具有高自由度的有机染料制成的着色材料通常用于红外光衰减滤光器。该固态摄像器件具有如下问题：在堆叠过程中产生红外光衰减滤光器的表面粗糙度。当对红外光衰减滤光器进行处理时，红外光衰减滤光器的着色材料溶解在化学溶液中，并且在红外光衰减滤光器中产生漏洞。当在红外光衰减滤光器上堆叠滤色器时，存在滤色器的材料进入漏洞并且产生点缺陷的问题，这导致图像质量降低。

3、本专利技术是鉴于上述问题而实现的，并且本专利技术的目的是防止在红外光衰减滤光器中产生缺陷和防止图像质量降低。

4、解决技术问题的技术方案

5、本专利技术是为了解决上述问题而实现的，并且本专利技术的第一方面是一种摄像器件，其包括：光电转换器，所述光电转换器根据入射光执行光电转换；片上透镜，所述片上透镜将所述入射光收集到所述光电转换器中；滤色器，所述收集的入射光之中的红外光和特定波长的可见光透过所述滤色器；红外光衰减滤光器，所述红外光衰减滤光器使所述收集的入射光之中的特定波长的红外光衰减，并且使所述收集的入射光之中的可见光透过；和保护膜，所述保护膜被布置成与所述红外光衰减滤光器相邻并且保护所述红外光衰减滤光器。

6、此外，在第一方面中，所述保护膜可以被布置成与所述滤色器相邻，并且所述红外光衰减滤光器可以使透过所述滤色器的所述特定波长的所述红外光衰减。

7、此外，在第一方面中，当形成所述滤色器时，所述保护膜可以保护所述红外光衰减滤光器。

8、此外，在第一方面中，所述保护膜可以具有与所述滤色器基本相同的折射率。

9、此外，在第一方面中，所述保护膜可以被布置成与所述片上透镜相邻，所述滤色器可以被布置成与所述红外光衰减滤光器相邻，并且所述入射光之中的透过所述红外光衰减滤光器的所述特定波长的所述可见光可以透过所述滤色器。

10、此外，在第一方面中，当形成所述片上透镜时，所述保护膜可以保护所述红外光衰减滤光器。

11、此外，在第一方面中，可以包括像素和红外光像素，所述像素包括所述光电转换器、所述片上透镜、所述滤色器、所述红外光衰减滤光器和所述保护膜，所述红外光像素包括红外光透射滤光器、所述光电转换器和所述片上透镜，所述收集的入射光之中的所述红外光透过所述红外光透射滤光器，并且另一保护膜可以被进一步布置在所述红外光衰减滤光器的与所述红外光像素相邻的面上。

12、此外，在第一方面中，所述保护膜可以由有机材料制成。

13、此外，在第一方面中，所述保护膜可以由无机材料制成。

14、此外，在第一方面中，所述保护膜可以通过堆叠有机材料和无机材料形成。

15、此外，本专利技术的第二个方面是一种摄像器件的制造方法，所述方法包括：形成光电转换器的步骤，所述光电转换器根据入射光执行光电转换；形成片上透镜的步骤，所述片上透镜将所述入射光收集到所述光电转换器中；形成滤色器的步骤，所述收集的入射光之中的红外光和特定波长的可见光透过所述滤色器；形成红外光衰减滤光器的步骤，所述红外光衰减滤光器使所述收集的入射光之中的特定波长的红外光衰减，并且使所述收集的入射光之中的可见光透过；和形成保护膜的步骤，所述保护膜被布置成与所述红外光衰减滤光器相邻并且保护所述红外光衰减滤光器。

16、由于这些方面，在本专利技术的摄像器件中，保护膜被布置在红外光衰减滤光器的表面上。预期红外光衰减滤光器由保护膜保护。

17、本专利技术的有益效果

18、本专利技术提供了防止在红外光衰减滤光器中产生缺陷和防止图像质量降低的优异效果。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种摄像器件，其包括：

2.根据权利要求1所述的摄像器件，其中，

3.根据权利要求2所述的摄像器件，其中，

4.根据权利要求2所述的摄像器件，其中，

5.根据权利要求1所述的摄像器件，其中，

6.根据权利要求1所述的摄像器件，其中，

7.根据权利要求6所述的摄像器件，其中，

8.根据权利要求1所述的摄像器件，其中，

9.根据权利要求1所述的摄像器件，其中，

10.根据权利要求1所述的摄像器件，其还包括：

11.根据权利要求10所述的摄像器件，其中，

12.根据权利要求10所述的摄像器件，其中，

【技术特征摘要】

1.一种摄像器件，其包括：

2.根据权利要求1所述的摄像器件，其中，

3.根据权利要求2所述的摄像器件，其中，

4.根据权利要求2所述的摄像器件，其中，

5.根据权利要求1所述的摄像器件，其中，

6.根据权利要求1所述的摄像器件，其中，

7.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：守屋雄介，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：

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