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用于制造显示设备的装置和方法制造方法及图纸

技术编号:40178723 阅读:5 留言:0更新日期:2024-01-26 23:45
公开了用于制造显示设备的装置和制造显示设备的方法,所述装置包括掩模组件和沉积源,沉积源包括将沉积材料供应到掩模组件的沉积部。沉积部包括:沉积框架,包括内部空间;坩埚,设置在沉积框架的内部空间中以能够从沉积框架撤离,并且容纳沉积材料;喷嘴,连接到坩埚并且喷射容纳在坩埚中的沉积材料;第一加热部分,设置在沉积框架的内部空间中并且加热容纳在坩埚中的沉积材料;以及第二加热部分,能够在加热喷嘴的第一位置和提供撤离空间使得坩埚能够从沉积框架撤离的第二位置之间移动。

【技术实现步骤摘要】

一个或更多个实施方式涉及用于制造显示设备的装置和方法


技术介绍

1、近来,电子设备被广泛使用。使用诸如移动电子设备和固定电子设备的各种电子设备。这些电子设备包括能够向用户提供诸如图像或视频的可视信息以支持各种功能的显示设备。

2、显示设备可视地显示数据,并且可以通过沉积各种层(诸如,有机层、金属层等)形成。可以沉积沉积材料以形成显示设备的多个层。例如,沉积材料可以从沉积源喷射并且可以通过掩模组件沉积在衬底上。在掩模片和屏蔽棒之间发生相互影响的情况下,沉积质量可能降低,因为沉积材料可能不沉积在衬底上的所需位置处。

3、应理解,此
技术介绍
部分部分地旨在为理解所述技术提供有用的背景。然而,此
技术介绍
部分也可以包括在本文中所公开的主题的相应有效申请日之前不是相关领域的技术人员已知或理解的部分的思想、概念或认识。


技术实现思路

1、一个或更多个实施方式包括用于制造显示设备的装置和方法,由此可以移动用于加热喷嘴的加热部分,使得可以容易地将用于容纳沉积材料的坩埚排出到沉积部的外部。

2、然而,这方面仅仅是示例,并且本公开的范围不限于此。

3、另外的方面将部分地在随后的描述中阐述,并且部分地将从描述中显而易见,或者可以通过对本公开的所呈现的实施方式的实践来获知。

4、根据一个或更多个实施方式,用于制造显示设备的装置可以包括掩模组件和沉积源,沉积源包括将沉积材料供应到掩模组件的沉积部。沉积部可以包括:沉积框架,包括内部空间;坩埚,设置在沉积框架的内部空间中以能够从沉积框架撤离,并且容纳沉积材料;喷嘴,连接到坩埚并且喷射容纳在坩埚中的沉积材料;第一加热部分,设置在沉积框架的内部空间中并且加热容纳在坩埚中的沉积材料;以及第二加热部分,能够在加热喷嘴的第一位置和提供撤离空间使得坩埚能够从沉积框架撤离的第二位置之间移动。

5、第二加热部分可以连接到第一加热部分以能够相对于第一加热部分在第一位置和第二位置之间旋转。

6、第二加热部分可以连接到第一加热部分以能够相对于第一加热部分在第一位置和第二位置之间滑动。

7、沉积部还可以包括反射器,反射器连接到沉积框架并且设置在第一加热部分和掩模组件之间以防止在沉积框架的内部空间中产生的热量传递到掩模组件。

8、反射器可以能够从沉积框架拆卸。

9、第二加热部分可以连接到反射器。

10、沉积部还可以包括角度限制部分,角度限制部分连接到沉积框架并且阻挡从喷嘴喷射的沉积材料的一部分以限制供应到掩模组件的沉积材料的供应角度。

11、角度限制部分可以能够从沉积框架拆卸。

12、第二加热部分可以限制供应到掩模组件的沉积材料的供应角度。

13、第二加热部分可以连接到第一加热部分,以通过从第一加热部分传递的热量来加热喷嘴。

14、第二加热部分可以包括产生热量的加热构件。

15、根据一个或更多个实施方式,制造显示设备的方法可以包括:布置掩模组件和包括沉积部的沉积源;以及通过使用沉积源将沉积材料供应到掩模组件。沉积部可以包括:沉积框架,包括内部空间;坩埚,设置在沉积框架的内部空间中以能够从沉积框架撤离,并且容纳沉积材料;喷嘴,连接到坩埚并且喷射容纳在坩埚中的沉积材料;第一加热部分,设置在沉积框架的内部空间中并且加热容纳在坩埚中的沉积材料;以及第二加热部分,能够在加热喷嘴的第一位置和提供撤离空间使得坩埚能够从沉积框架撤离的第二位置之间移动。

16、沉积部可以包括第一沉积部和第二沉积部。

17、第一沉积部可以供应第一沉积材料,并且第二沉积部可以供应与第一沉积材料不同的第二沉积材料。

18、第一沉积材料可以包括主组分,并且第二沉积材料可以包括掺杂剂组分。

19、第二加热部分可以连接到第一加热部分以能够相对于第一加热部分在第一位置和第二位置之间旋转。

20、第二加热部分可以连接到第一加热部分以能够相对于第一加热部分在第一位置和第二位置之间滑动。

21、沉积部还可以包括反射器,反射器连接到沉积框架并且设置在第一加热部分和掩模组件之间以防止在沉积框架的内部空间中产生的热量传递到掩模组件。

22、沉积部还可以包括角度限制部分,角度限制部分连接到沉积框架并且阻挡从喷嘴喷射的沉积材料的一部分以限制供应到掩模组件的沉积材料的供应角度。

23、第二加热部分可以连接到第一加热部分,以通过从第一加热部分传递的热量来加热喷嘴。

24、除了以上描述的那些之外的其它方面、特征和优点可以从本公开的详细描述、所附的附图和权利要求书显而易见。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.用于制造显示设备的装置,所述装置包括:

2.根据权利要求1所述的装置,其中,所述第二加热部分连接到所述第一加热部分,以能够相对于所述第一加热部分在所述第一位置和所述第二位置之间旋转。

3.根据权利要求1所述的装置,其中,所述第二加热部分连接到所述第一加热部分,以能够相对于所述第一加热部分在所述第一位置和所述第二位置之间滑动。

4.根据权利要求1所述的装置,其中,所述沉积部还包括:

5.根据权利要求4所述的装置,其中,所述反射器能够从所述沉积框架拆卸。

6.根据权利要求4所述的装置,其中,所述第二加热部分连接到所述反射器。

7.根据权利要求1所述的装置,其中,所述沉积部还包括:

8.根据权利要求7所述的装置,其中,所述角度限制部分能够从所述沉积框架拆卸。

9.根据权利要求7所述的装置,其中,所述第二加热部分限制供应到所述掩模组件的所述沉积材料的所述供应角度。

10.根据权利要求1所述的装置,其中,所述第二加热部分连接到所述第一加热部分,以通过从所述第一加热部分传递的热量来加热所述喷嘴。

11.根据权利要求1所述的装置,其中,所述第二加热部分包括产生热量的加热构件。

12.制造显示设备的方法,所述方法包括:

13.根据权利要求12所述的方法,其中,所述沉积部包括第一沉积部和第二沉积部。

14.根据权利要求13所述的方法,其中,

15.根据权利要求14所述的方法,其中,

16.根据权利要求12所述的方法,其中,所述第二加热部分连接到所述第一加热部分,以能够相对于所述第一加热部分在所述第一位置和所述第二位置之间旋转。

17.根据权利要求12所述的方法,其中,所述第二加热部分连接到所述第一加热部分,以能够相对于所述第一加热部分在所述第一位置和所述第二位置之间滑动。

18.根据权利要求12所述的方法,其中,所述沉积部还包括反射器,所述反射器连接到所述沉积框架并且设置在所述第一加热部分和所述掩模组件之间,以防止在所述沉积框架的所述内部空间中产生的热量传递到所述掩模组件。

19.根据权利要求12所述的方法,其中,所述沉积部还包括角度限制部分,所述角度限制部分连接到所述沉积框架并且阻挡从所述喷嘴喷射的所述沉积材料的一部分,以限制供应到所述掩模组件的所述沉积材料的供应角度。

20.根据权利要求12所述的方法,其中,所述第二加热部分连接到所述第一加热部分,以通过从所述第一加热部分传递的热量来加热所述喷嘴。

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【技术特征摘要】

1.用于制造显示设备的装置,所述装置包括:

2.根据权利要求1所述的装置,其中,所述第二加热部分连接到所述第一加热部分,以能够相对于所述第一加热部分在所述第一位置和所述第二位置之间旋转。

3.根据权利要求1所述的装置,其中,所述第二加热部分连接到所述第一加热部分,以能够相对于所述第一加热部分在所述第一位置和所述第二位置之间滑动。

4.根据权利要求1所述的装置,其中,所述沉积部还包括:

5.根据权利要求4所述的装置,其中,所述反射器能够从所述沉积框架拆卸。

6.根据权利要求4所述的装置,其中,所述第二加热部分连接到所述反射器。

7.根据权利要求1所述的装置,其中,所述沉积部还包括:

8.根据权利要求7所述的装置,其中,所述角度限制部分能够从所述沉积框架拆卸。

9.根据权利要求7所述的装置,其中,所述第二加热部分限制供应到所述掩模组件的所述沉积材料的所述供应角度。

10.根据权利要求1所述的装置,其中,所述第二加热部分连接到所述第一加热部分,以通过从所述第一加热部分传递的热量来加热所述喷嘴。

11.根据权利要求1所述的装置,其中,所述第二加热部分包括产生热量的加热构件。

12.制造显...

【专利技术属性】
技术研发人员:金东昱朴广澔姜有珍朴永勋白承周申东闰张玹右郑钟弦
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:

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