应变计、测力传感器制造技术

技术编号：40168458 阅读：11 留言：0更新日期：2024-01-26 23:39

本应变计是一种在罗伯威尔型的应变体搭载的应变计，具有：具有挠性的基材；和在所述基材上，由包含Cr、CrN及Cr<subgt;2</subgt;N的膜形成的电阻体，所述电阻体的膜厚为6nm以上且100nm以下。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种应变计、测力传感器。

技术介绍

1、已知一种应变计，其在基材上具备电阻体，并粘贴在测定对象物上，检测测定对象物的特性。应变计例如作为检测材料的应变的传感器、或检测周围温度的传感器等传感器用途而使用(例如，参照专利文献1)。

2、【现有技术文献】

3、【专利文献】

4、【专利文献1】日本特开2001-221696号公报

技术实现思路

1、【专利技术所要解决的课题】

2、但是，应变计除了用于传感器用途以外，还可以用于计量用途，在这种情况下，需要满足比传感器用途更严格的蠕变相关标准。因此，即使是能够用于传感器用途的应变计，有时也不能用于计量用途。

3、本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够用于计量用途的应变计。

4、【解决课题的手段】

5、本应变计是一种在罗伯威尔型的应变体搭载的应变计，具有：具有挠性的基材；和在所述基材上，由包含cr、crn及cr2n的膜形成的电阻体，所述电阻体的膜厚为6nm以上且100nm以下。

6、【专利技术的效果】

7、根据公开的技术，可以提供一种可用于计量的应变计。

【技术保护点】

1.一种在罗伯威尔型的应变体搭载的应变计，其中，

2.根据权利要求1所述的应变计，其中，

3.根据权利要求2所述的应变计，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的应变计，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的应变计，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的应变计，其中，

7.一种测力传感器，具有：

8.根据权利要求7所述的测力传感器，其中，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种在罗伯威尔型的应变体搭载的应变计，其中，

2.根据权利要求1所述的应变计，其中，

3.根据权利要求2所述的应变计，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的应变计，其中，

【专利技术属性】
技术研发人员：小野彩，小笠洋介，浅川寿昭，汤口昭代，北村厚，
申请(专利权)人：美蓓亚三美株式会社，
类型：发明
国别省市：

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