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贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法及系统技术方案

技术编号:40142405 阅读:19 留言:0更新日期:2024-01-23 23:49
本发明专利技术公开了一种贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法及系统,通过基于全视点相机阵列获取深度图,获得多源同构点云数据,基于ICP算法对多源同构点云数据进行融合配准,基于贴片场景主要对象的先验位置及形态信息,对融合配准后的点云数据进行迭代优化,以及基于迭代优化后的点云数据,采用迭代状态控制算法,对芯片共晶焊接中的转移工序中的位姿配准工艺进行建模,并根据贴片机物料位姿配准模型,对贴片机物料进行全流程位姿配准,解决了微米级贴片机物料抓取、转移及放置过程难以实现快速高精度实时控制的技术问题,在保障激光芯片焊接中物料转移过程稳定性的同时,通过减少不可感知点,以增加可控制过程,提升了物料转移速度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要涉及芯片生产,特指一种贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法及系统


技术介绍

1、半导体芯片是一种电子信息行业中被广泛使用的元器件。半导体芯片生产产线主要为全自动大规模产线,芯片生产过程的无人化、高速化可有效降低芯片生产成本。但半导体芯片加工工艺流程精度要求高,工艺精度将极大影响产品质量。在芯片共晶贴片焊接工艺中,需在共晶温度范围内,将芯片精准放置于载体中共晶焊料上,并通过摩擦去除焊料表面不稳定氧化层,随后在共晶温度下,芯片和焊料之间的固相形成液相,实现芯片焊接。在这一过程中,芯片与焊料的相对位置精度要求达到微米级,当偏差过大时,半导体芯片的发热量、热导率、电阻率将出现显著变化,致使芯片可靠运行时间减少,芯片过热速度加快,将导致电子设备使用寿命及稳定性显著降低。

2、芯片共晶焊接主要并发执行两种操作,即共晶焊及物料转移,其中共晶焊主要包含加热、降温两个步骤,而物料转移需对芯片和基板两种物料进行长距离连续场景移动,主要包含抓取、转移、放置三个步骤,且各步骤转接处均需移动至非视点盲区,停顿并进行姿态校准,以减少位姿误差带来的工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根据权利要求1所述的贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法,其特征在于,基于贴片场景主要对象的先验位置及形态信息,对单一点云数据进行迭代优化包括:

3.根据权利要求2所述的贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法,其特征在于,载板约束、溜槽约束、吸嘴下表面约束及均值平滑项的计算公式为:

4.根据权利要求3所述的贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法,其特征在于,所述贴片机物料位姿配准模型的具体公式为:

5.根据权利要求1-4任一所述的贴片机物料位姿...

【技术特征摘要】

1.一种贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法,其特征在于,所述方法包括:

2.根据权利要求1所述的贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法,其特征在于,基于贴片场景主要对象的先验位置及形态信息,对单一点云数据进行迭代优化包括:

3.根据权利要求2所述的贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法,其特征在于,载板约束、溜槽约束、吸嘴下表面约束及均值平滑项的计算公式为:

4.根据权利要求3所述的贴片机物料位姿配准的全视点联动吸嘴微控方法,其特征在于,所述贴片机物料位姿配准模型的具体公式为...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈致蓬刘攀沈玲王珲荣陈争时
申请(专利权)人:中南大学
类型:发明
国别省市:

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