【技术实现步骤摘要】
以下描述涉及一种具有活动搁架模块的储物器系统及其控制方法，并且更具体地，涉及一种具有能够容纳多个载具的活动搁架模块的储物器系统及其控制方法。
技术介绍
1、在半导体装置或显示装置的制造工艺中，诸如晶片、半导体基底、印刷电路板或光罩的待处理的物体可以在容纳在载具中的同时存放在储物器中。
2、储物器可以提供有多个搁架以容纳载具。搁架可以在水平和竖直方向上布置。取决于物体，可以使用诸如前开式晶圆传送盒(foup)、前开式晶圆运输盒(fosb)、片盒和光罩盒的各种类型的载具。
3、储物器可以提供有被配置为装载和卸载载具的装载口以及被配置为在搁架之间转运载具的转运机器人。
4、储物器包括搁架、装载口以及转运机器人，并且因而需要充足的空间。因此，对具有储物器的空间的利用可能会减小。
技术实现思路
1、本专利技术旨在解决包括上述问题的各种问题。本专利技术的目的是要提供一种具有活动搁架模块的储物器系统及其控制方法，所述具有活动搁架模块的储物器系统及其控制方法可以允许在其上安装能够接收来自外部的载具的活动搁架模块的搁架安装在天花板或墙壁上，通过增加空间利用来减小设施的占地空间，由于具有活动搁架模块的多层搁架结构而提高了载具装载能力，并且通过增加相对于固定框架可以伸出和缩回的可折叠可移动框架来提高半导体生产率和工艺效率，从而减小转运时间。然而，该目的仅仅是说明性的，并且本专利技术的范围不局限于此。
2、在一个总体方面中，一种具有活动搁架模块的储物器系统可
3、另外，根据本专利技术，所述活动搁架模块可以包括：安放板，所述安放板形成为与所述载具相对应的形状使得所述载具能够被安放在所述安放板上；基体，所述基体安装在所述储物器主体上；以及驱动装置，所述驱动装置安装在所述安放板与所述基体之间，并且被配置为使所述安放板在所述至少一个容纳空间中在倾斜方向或竖直方向上升高，并且使所述安放板向前和向后移动到所述储物器主体之外。
4、另外，根据本专利技术，所述驱动装置可以包括：凸轮构件，所述凸轮构件安装在所述基体的一侧或两侧上并且具有从向上路径向向前/向后路径延伸的凸轮槽部分；凸轮突起，所述凸轮突起沿着所述凸轮构件的所述凸轮槽部分被引导；移动托架，所述移动托架具有形成在所述移动托架的一侧上的所述凸轮突起，并且被配置为与所述凸轮突起一起沿着所述向上路径上升，并且所述移动托架被配置为沿着所述向前/向后路径向前和向后移动；以及电动致动器，所述电动致动器被配置为接收来自所述控制器的控制信号并且使所述移动托架升高并向前和向后移动。
5、此外，根据本专利技术，所述电动致动器可以具有安装在两端中的每一端处的连杆轴以利用一个电动致动器使所述移动托架升高并向前和向后移动，所述电动致动器具有通过马达伸出和缩回的活塞，并且所述电动致动器在整体上被倾斜地安装。
6、另外，根据本专利技术，所述凸轮构件的所述凸轮槽部分可以包括前凸轮槽部分和后凸轮槽部分，所述前凸轮槽部分和所述后凸轮槽部分平行地形成以便彼此竖直地间隔开使得所述移动托架能够保持水平状态，并且所述凸轮突起可以包括由所述前凸轮槽部分引导的前凸轮突起以及由所述后凸轮槽部分引导的后凸轮突起。
7、另外，根据本专利技术，所述移动托架可以包括：升降平台，所述升降平台被配置为与所述凸轮突起一起沿着所述向上路径在倾斜方向或竖直方向上上升；以及第一前后移动平台，所述第一前后移动平台被配置为在第一阶段沿着安装在所述升降平台上的第一轨在水平方向上向前和向后移动。
8、此外，根据本专利技术，所述移动托架还可以包括：第二前后移动平台，被配置为在第二阶段当随着所述第一前后移动平台借助所述电动致动器向前移动而由第一动力传输装置传输动力时所述第二前后移动平台沿着安装在所述第一前后移动平台上的第二轨在所述水平方向上向前和向后移动；以及第三前后移动平台，固定到所述安放板，并且被配置为在第三阶段当随着所述第二前后移动平台向前移动而由第二动力传输装置传输动力时所述第三前后移动平台沿着安装在所述第二前后移动平台上的第三轨在所述水平方向上向前和向后移动。
9、此外，根据本专利技术，所述第一动力传输装置可以包括：第1-1滑轮，所述第1-1滑轮可旋转地安装在所述第一前后移动平台上；第1-2滑轮，所述第1-2滑轮在向前或反向方向上与所述第1-1滑轮间隔开，并且可旋转地安装在所述第一前后移动平台上；以及第1-3带(belt)，所述第1-3带缠绕在所述第1-1滑轮和所述第1-2滑轮周围并旋转，并且具有固定到所述升降平台的一侧以及固定到所述第二前后移动平台的另一侧使得当所述一侧相对向前移动时所述另一侧相对向后移动、或者当所述一侧相对向后移动时所述另一侧相对向前移动。
10、此外，根据本专利技术，所述第二动力传输装置可以包括：第2-1滑轮，所述第2-1滑轮可旋转地安装在所述第二前后移动平台上；第2-2滑轮，所述第2-2滑轮在向前或反向方向上与所述第2-1滑轮间隔开，并且可旋转地安装在所述第二前后移动平台上；以及第2-3带，所述第2-3带缠绕在所述第2-1滑轮和所述第2-2滑轮周围并旋转，并且具有固定到所述第一前后移动平台的一侧以及固定到所述第三前后移动平台的另一侧使得当所述一侧相对向前移动时所述另一侧相对向后移动、或者当所述一侧相对向后移动时所述另一侧相对向前移动。
11、另外，根据本专利技术，所述安放板可以具有：至少一个安放对准销，所述至少一个安放对准销形成在所述安放板的上表面上以与所述载具的对准槽相对应；以及至少一个安放检测传感器，所述至少一个安放检测传感器安装成检测安放的所述载具。
12、此外，根据本专利技术，所述活动搁架模块可以还包括固定板，所述固定板安装在所述储物器主体上并且被配置为与所述安放板一起支撑容纳在所述至少一个容纳空间中的所述载具。
13、另外，根据本专利技术，所述固定板可以具有：安放板容纳槽部分，所述安放板容纳槽部分形成在所述固定板的上表面上以容纳所述安放板；至少一个辅助对准销，所述至少一个辅助对准销形成为与所述载具的对准槽相对应；以及至少一个存放检测传感器，所述至少一个存放检测传感器安装成检测安放的所述载具。
14、另外，根据本专利技术，所述固定板可以具有：至少一个吹扫口，所述至少一个吹扫口在所述固定板的上表面上与所述载具的吹扫孔对接以向所述载具供应吹扫气体；以及排放口，所述排放口被配置为从所述载具排放吹扫气体。
15、另外，根据本专利技术，所述储物器主体可以包括：固定框架，所述固定框架固定到建筑物的天花板或建筑物的一部分；以及至少一个可移动框架，所述至少本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种具有活动搁架模块的储物器系统，包括：
2.根据权利要求1所述的储物器系统，其中，所述活动搁架模块包括：
3.根据权利要求2所述的储物器系统，其中，所述驱动装置包括：
4.根据权利要求3所述的储物器系统，其中，所述电动致动器具有安装在两端中的每一端处的连杆轴以用一个电动致动器使所述移动托架升高并向前和向后移动，所述电动致动器具有通过马达伸出和缩回的活塞，并且所述电动致动器在整体上被倾斜地安装。
5.根据权利要求3所述的储物器系统，其中，所述凸轮构件的所述凸轮槽部分包括前凸轮槽部分和后凸轮槽部分，所述前凸轮槽部分和所述后凸轮槽部分平行地形成以便彼此竖直地间隔开使得所述移动托架能够保持水平状态，并且所述凸轮突起包括由所述前凸轮槽部分引导的前凸轮突起以及由所述后凸轮槽部分引导的后凸轮突起。
6.根据权利要求3所述的储物器系统，其中，所述移动托架包括：
7.根据权利要求6所述的储物器系统，其中，所述移动托架还包括：
8.根据权利要求7所述的储物器系统，其中，所述第一动力传输装置包括：
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10.根据权利要求2所述的储物器系统，其中，所述安放板具有：至少一个安放对准销，所述至少一个安放对准销形成在所述安放板的上表面上以与所述载具的对准槽相对应；以及至少一个安放检测传感器，所述至少一个安放检测传感器安装成检测安放的所述载具。
11.根据权利要求2所述的储物器系统，其中，所述活动搁架模块还包括固定板，所述固定板安装在所述储物器主体上并且被配置为与所述安放板一起支撑容纳在所述至少一个容纳空间中的所述载具。
12.根据权利要求11所述的储物器系统，其中，所述固定板具有：安放板容纳槽部分，所述安放板容纳槽部分形成在所述固定板的上表面上以容纳所述安放板；至少一个辅助对准销，所述至少一个辅助对准销形成为与所述载具的对准槽相对应；以及至少一个存放检测传感器，所述至少一个存放检测传感器安装成检测安放的所述载具。
13.根据权利要求11所述的储物器系统，其中，所述固定板具有：至少一个吹扫口，所述至少一个吹扫口在所述固定板的上表面上与所述载具的吹扫孔对接以向所述载具供应吹扫气体；以及排放口，所述排放口被配置为从所述载具排放吹扫气体。
14.根据权利要求1所述的储物器系统，其中，所述储物器主体包括固定框架，所述固定框架固定到建筑物的天花板或建筑物的一部分；以及
15.根据权利要求14所述的储物器系统，其中，所述储物器主体还包括框架驱动装置，所述框架驱动装置安装在所述固定框架上并使所述可移动框架伸出或缩回。
16.根据权利要求15所述的储物器系统，其中，所述框架驱动装置包括：
17.一种具有活动搁架模块的储物器系统的控制方法，包括：
18.根据权利要求17所述的控制方法，其中，在操作(a)中，使用在整体上被倾斜安装的一个电动致动器使所述活动搁架模块的所述至少一部分在倾斜方向或竖直方向上升高，并且向所述电动致动器施加伸出控制信号以使所述活动搁架模块的所述至少一部分向前移动到所述储物器主体的外部，并且
19.根据权利要求17所述的控制方法，在操作(c)之后还包括：
20.一种具有活动搁架模块的储物器系统，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种具有活动搁架模块的储物器系统，包括：
2.根据权利要求1所述的储物器系统，其中，所述活动搁架模块包括：
3.根据权利要求2所述的储物器系统，其中，所述驱动装置包括：
4.根据权利要求3所述的储物器系统，其中，所述电动致动器具有安装在两端中的每一端处的连杆轴以用一个电动致动器使所述移动托架升高并向前和向后移动，所述电动致动器具有通过马达伸出和缩回的活塞，并且所述电动致动器在整体上被倾斜地安装。
5.根据权利要求3所述的储物器系统，其中，所述凸轮构件的所述凸轮槽部分包括前凸轮槽部分和后凸轮槽部分，所述前凸轮槽部分和所述后凸轮槽部分平行地形成以便彼此竖直地间隔开使得所述移动托架能够保持水平状态，并且所述凸轮突起包括由所述前凸轮槽部分引导的前凸轮突起以及由所述后凸轮槽部分引导的后凸轮突起。
6.根据权利要求3所述的储物器系统，其中，所述移动托架包括：
7.根据权利要求6所述的储物器系统，其中，所述移动托架还包括：
8.根据权利要求7所述的储物器系统，其中，所述第一动力传输装置包括：
9.根据权利要求7所述的储物器系统，其中，所述第二动力传输装置包括：
10.根据权利要求2所述的储物器系统，其中，所述安放板具有：至少一个安放对准销，所述至少一个安放对准销形成在所述安放板的上表面上以与所述载具的对准槽相对应；以及至少一个安放检测传感器，所述至少一个安放检测传感器安装成检测安放的所述载具。
11.根据权利要求2所述的储物器系统，其中，所述活动搁架模块还包括固定板，所述固定板安装在所述储物器主体上并且被配置为与所述安放板一起支...
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