【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜,尤其涉及一种真空镀膜机蒸发阀。
技术介绍
1、材料聚对二甲苯具有良好的防护性和绝缘性以及生物相容性,其在真空环境中能够完全包裹产品,在产品表面形成一个完整的防护。
2、目前的工艺是采用化学气相沉积法,使得聚对二甲苯形成薄膜,首先将粉末状的聚对二甲苯置于蒸发室中并加热到120℃,使粉末状的聚对二甲苯气化。随后将气化后的聚对二甲苯通过蒸发阀送至裂解室。
3、然而,目前市场上的蒸发阀容易产生积料,未气化的积料会将阀体的进料口堵住,导致气化后的聚对二甲苯无法完全送至裂解室,而且维护成本高,不可重复进行使用。
技术实现思路
1、本技术的目的在于针对现有技术的不足提供一种真空镀膜机蒸发阀,本技术能够有效封闭阀体的进料口,将阀体内残留的粉状聚对二甲苯通过进料口退回至蒸发室内进一步受热升华,保证阀体的进料口不会被堵住,气化后的聚对二甲苯能够完全送至裂解室,阀体内组件可拆卸跟换,降低维护成本。
2、本技术是通过以下技术方案来实现的,一种真空镀膜机蒸发阀,包括阀体,所述阀体的右端设置有进料口,所述阀体的下端设置有出料口,所述阀体的左端设置有阀体密封盖,所述阀体的外部设置有气缸,所述气缸的缸体与阀体密封盖固定连接,所述阀体密封盖设置有第一轴套部,所述第一轴套部设置有于阀体内,所述气缸的活塞杆穿过所述阀体密封盖、第一轴套部伸入阀体内并连接有挡板,所述挡板包括挡板部和与挡板部连接的第二轴套部;所述活塞杆的外壁套设有波纹管,所述波纹管包括波纹管部,所述波
3、作为优选,所述第二轴套部内设置有第一卡槽和活动卡环,所述活动卡环包括外环和内环,所述活动卡环的外环卡入第一卡槽内,所述活塞杆的一端设置有滑槽,当活塞杆一端伸入第二轴套部内并穿过所述活动卡环的内环,所述滑槽与活动卡环滑动连接。
4、作为优选,所述第一轴套部的外圆周设置有第一凸出部,所述第一连接件设置有第二卡槽,所述第一连接件套设于所述第一轴套部的外圆周,所述第一凸出部卡入第二卡槽内。
5、作为优选,所述第一凸出部的为金字塔形。
6、作为优选,所述第二连接件与第二轴套部的连接方式与第一连接件与第一轴套部的连接方式相同。
7、作为优选,所述阀体左端设置有两个固定部,所述固定部设置有第一连接孔,所述阀体密封盖两端设置有第二连接孔,当阀体密封盖封闭阀体左端时,第一连接孔与第二连接孔连通。
8、作为优选,所述挡板部设置有第三卡槽,所述第三卡槽内设置有密封圈。
9、本技术的有益效果:进料口连接蒸发室,出料口连接裂解室,气缸驱动活塞杆回缩,挡板将进料口打开,蒸发室温度升至120℃使粉末状聚二甲苯升华成气态,由于在进料口打开前,阀体内之前为真空状态,在进料口打开后,在气压的作用下,气态的聚二甲苯向下经过出料口流出,进入裂解室内;气缸驱动活塞杆伸出,挡板复位将进料口重新闭合,在挡板运动过程中,会将阀体内残余的气体退回至蒸发室内,该气体内残留的粉末状聚二甲苯进一步加热升华成气态,能够有效避免阀体的进料口不会被堵住,气化后的聚对二甲苯能够完全送至裂解室,阀体内组件可拆卸跟换,降低维护成本。
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1.一种真空镀膜机蒸发阀,包括阀体,其特征在于:所述阀体的右端设置有进料口,所述阀体的下端设置有出料口,所述阀体的左端设置有阀体密封盖,所述阀体的外部设置有气缸,所述气缸的缸体与阀体密封盖固定连接,所述阀体密封盖设置有第一轴套部,所述第一轴套部设置有于阀体内,所述气缸的活塞杆穿过所述阀体密封盖、第一轴套部伸入阀体内并连接有挡板,所述挡板包括挡板部和与挡板部连接的第二轴套部;所述活塞杆的外壁套设有波纹管,所述波纹管包括波纹管部,所述波纹管部的左端设置有用于与第一轴套部连接的第一连接件,所述波纹管部的右端设置有用于与第二轴套部连接的第二连接件。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机蒸发阀,其特征在于:所述第二轴套部内设置有第一卡槽和活动卡环,所述活动卡环包括外环和内环,所述活动卡环的外环卡入第一卡槽内,所述活塞杆的一端设置有滑槽,当活塞杆一端伸入第二轴套部内并穿过所述活动卡环的内环,所述滑槽与活动卡环滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机蒸发阀,其特征在于:所述第一轴套部的外圆周设置有第一凸出部,所述第一连接件设置有第二卡槽,所述第一连接件套设于
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机蒸发阀,其特征在于:所述第一凸出部的为金字塔形。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机蒸发阀,其特征在于:所述第二连接件与第二轴套部的连接方式与第一连接件与第一轴套部的连接方式相同。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机蒸发阀,其特征在于:所述阀体左端设置有两个固定部,所述固定部设置有第一连接孔,所述阀体密封盖两端设置有第二连接孔,当阀体密封盖封闭阀体左端时,第一连接孔与第二连接孔连通。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机蒸发阀,其特征在于:所述挡板部设置有第三卡槽,所述第三卡槽内设置有密封圈。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机蒸发阀,包括阀体,其特征在于:所述阀体的右端设置有进料口,所述阀体的下端设置有出料口,所述阀体的左端设置有阀体密封盖,所述阀体的外部设置有气缸,所述气缸的缸体与阀体密封盖固定连接,所述阀体密封盖设置有第一轴套部,所述第一轴套部设置有于阀体内,所述气缸的活塞杆穿过所述阀体密封盖、第一轴套部伸入阀体内并连接有挡板,所述挡板包括挡板部和与挡板部连接的第二轴套部;所述活塞杆的外壁套设有波纹管,所述波纹管包括波纹管部,所述波纹管部的左端设置有用于与第一轴套部连接的第一连接件,所述波纹管部的右端设置有用于与第二轴套部连接的第二连接件。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机蒸发阀,其特征在于:所述第二轴套部内设置有第一卡槽和活动卡环,所述活动卡环包括外环和内环,所述活动卡环的外环卡入第一卡槽内,所述活塞杆的一端设置有滑槽,当活塞杆一端伸入第二轴套部内并穿过所述活动卡环的内环,所述滑槽与活动卡环...
【专利技术属性】
技术研发人员:李玉良,
申请(专利权)人:广东莱塔尔电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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