真空镀膜机裂解阀制造技术

本技术提供一种真空镀膜机裂解阀，包括阀本体，所述阀本体的右端连接有进料口，所述阀本体的底端连接有出料口，所述阀本体的左侧螺纹安装有阀本密封盖，所述阀本密封盖的左侧安装有气缸，所述进料口的端部安装有裂解室CF超高温密封连接法兰，所述出料口的端部安装有沉积室密封连接法兰，所述阀本体的内部设置有可拆卸密封组件；本技术通过可拆卸密封组件的使用，很好的隔绝纳米分子与波纹管的附着，然而延长维护时间，降低漏气风险。波纹管可拆卸更换维护无需更换整个裂解阀门大大降低了运行成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于真空镀膜，具体地说是一种真空镀膜机裂解阀。

技术介绍

1、对于目前的制程来说形成聚对二甲苯薄膜的方法一般为化学气相沉积法。首先将粉末状的聚对二甲苯置于蒸发室中并加热到120℃使粉末状的聚对二甲苯气化。然后将气化后的聚对二甲苯通过裂解室并加温到680℃进行裂解，再通过裂解阀导入内部沉积室中在室温下沉积聚合于产品表面。

2、目前的裂解阀装置与沉积室间的密封结构采用主机内裂解管与沉积室左侧延伸出连接管管口通过法兰密封连接，由于裂解温度较高，现有的氟胶无法承受高温造成融化变形漏气，聚对二甲苯通过裂解形成纳米分子会附着在阀本体与阀内组件无法维护清理只能废弃更换新阀，维护成本较高，阀门寿命较低。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本技术提供一种真空镀膜机裂解阀，以解决现有技术中目前的裂解阀装置与沉积室间的密封结构采用主机内裂解管与沉积室左侧延伸出连接管管口通过法兰密封连接，由于裂解温度较高，现有的氟胶无法承受高温造成融化变形漏气，聚对二甲苯通过裂解形成纳米分子会附着在阀本体与阀内组件无法维护清理只能废弃更换新阀，维护成本较高，阀门寿命较低的问题。

2、真空镀膜机裂解阀，包括阀本体，所述阀本体的右端连接有进料口，所述阀本体的底端连接有出料口，所述阀本体的左侧螺纹安装有阀本密封盖，所述阀本密封盖的左侧安装有气缸，所述进料口的端部安装有裂解室cf超高温密封连接法兰，所述出料口的端部安装有沉积室密封连接法兰，所述阀本体的内部设置有可拆卸密封组件。

3、优选的，所述可拆卸密封组件包括限位块、挡板、波纹管、第一安装块、第二安装块、固定销和扣件，所述挡板垂直设置在阀本体内部的右侧，所述波纹管横向设置在阀本体的内部，所述第一安装块连接在阀本密封盖的内壁，所述第二安装块连接在挡板的内侧壁，所述固定销固定连接在挡板的内部，所述扣件设置在第一安装块的外部，所述限位块安装在阀本密封盖的内壁。

4、优选的，所述扣件包括第一半环、第二半环和螺纹销，所述第一半环和第二半环分别呈上下分布状连接在第一安装块和第二安装块的外侧表面，所述第一半环和第二半环通过螺纹销与第一安装块和第二安装块之间构成固定连接。

5、优选的，所述第二安装块通过固定销连接在挡板的内侧壁。

6、优选的，所述波纹管通过扣件与第一安装块和第二安装块之间构成固定连接。

7、优选的，所述限位块设置有两个，两个所述限位块关于阀本密封盖的横向中轴线对称。

8、优选的，所述第一安装块和第二安装块为相同结构。

9、与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：

10、本技术通过可拆卸密封组件的使用，很好的隔绝纳米分子与波纹管的附着，然而延长维护时间，降低漏气风险；波纹管可拆卸更换维护无需更换整个裂解阀门大大降低了运行成本。

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【技术保护点】

1.真空镀膜机裂解阀，包括阀本体(4)，其特征在于：所述阀本体(4)的右端连接有进料口(6)，所述阀本体(4)的底端连接有出料口(9)，所述阀本体(4)的左侧螺纹安装有阀本密封盖(2)，所述阀本密封盖(2)的左侧安装有气缸(1)；

2.如权利要求1所述真空镀膜机裂解阀，其特征在于：所述可拆卸密封组件包括限位块(3)、挡板(5)、波纹管(8)、第一安装块(7)、第二安装块(10)、固定销(11)和扣件(14)，所述挡板(5)垂直设置在阀本体(4)内部的右侧，所述波纹管(8)横向设置在阀本体(4)的内部，所述第一安装块(7)连接在阀本密封盖(2)的内壁，所述第二安装块(10)连接在挡板(5)的内侧壁，所述固定销(11)固定连接在挡板(5)的内部，所述扣件(14)设置在第一安装块(7)的外部，所述限位块(3)安装在阀本密封盖(2)的内壁。

3.如权利要求2所述真空镀膜机裂解阀，其特征在于：所述扣件(14)包括第一半环(1401)、第二半环(1402)和螺纹销(1403)，所述第一半环(1401)和第二半环(1402)分别呈上下分布状连接在第一安装块(7)和第二安装块(10)的外侧表面，所述第一半环(1401)和第二半环(1402)通过螺纹销(1403)与第一安装块(7)和第二安装块(10)之间构成固定连接。

4.如权利要求2所述真空镀膜机裂解阀，其特征在于：所述第二安装块(10)通过固定销(11)连接在挡板(5)的内侧壁。

5.如权利要求2所述真空镀膜机裂解阀，其特征在于：所述波纹管(8)通过扣件(14)与第一安装块(7)和第二安装块(10)之间构成固定连接。

6.如权利要求2所述真空镀膜机裂解阀，其特征在于：所述限位块(3)设置有两个，两个所述限位块(3)关于阀本密封盖(2)的横向中轴线对称。

7.如权利要求2所述真空镀膜机裂解阀，其特征在于：所述第一安装块(7)和第二安装块(10)为相同结构。

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【技术特征摘要】

1.真空镀膜机裂解阀，包括阀本体(4)，其特征在于：所述阀本体(4)的右端连接有进料口(6)，所述阀本体(4)的底端连接有出料口(9)，所述阀本体(4)的左侧螺纹安装有阀本密封盖(2)，所述阀本密封盖(2)的左侧安装有气缸(1)；

2.如权利要求1所述真空镀膜机裂解阀，其特征在于：所述可拆卸密封组件包括限位块(3)、挡板(5)、波纹管(8)、第一安装块(7)、第二安装块(10)、固定销(11)和扣件(14)，所述挡板(5)垂直设置在阀本体(4)内部的右侧，所述波纹管(8)横向设置在阀本体(4)的内部，所述第一安装块(7)连接在阀本密封盖(2)的内壁，所述第二安装块(10)连接在挡板(5)的内侧壁，所述固定销(11)固定连接在挡板(5)的内部，所述扣件(14)设置在第一安装块(7)的外部，所述限位块(3)安装在阀本密封盖(2)的内壁。

3.如权利要求2所述真空镀膜机裂解阀，其特征在于：所述扣件(14)包括第一半环...

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉良，
申请(专利权)人：广东莱塔尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：