【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密加工，尤其涉及一种采用对置多导轨结构的减薄机。
技术介绍
1、目前，由于适用于各种尺寸工件的磨削，工件自转式端面磨削逐渐成为设计减薄机采用的主流方式。端面磨削一般分粗磨和精磨进行，粗磨时主要实现材料的快速去除，降低厚度，精磨时主要实现材料的微量去除，同时去除粗磨时的损伤层，达到较高的平面度和表面粗糙度。一般来说晶片对平面度和粗糙度的要求非常高，以碳化硅晶片为例，要求达到1um的平面度和10nm的表面粗糙度，这对加工设备和加工工艺的要求，特别是对机床的刚性要求非常高。
2、现有的工件自转式端面磨削的布置形式是，直线导轨竖直安装在一侧，主轴通过主轴座悬臂安装在直线导轨上，由于主轴自重和加工时较大的轴向摩擦力，使得主轴在加工时可能产生一定程度上的倾斜，影响加工工件的平面度和表面粗糙度。
3、因此，需要提供一种采用对置多导轨结构的减薄机，以能使主轴不产生倾斜或者产生尽量少的倾斜，解决上述技术问题。
技术实现思路
1、为此，本专利技术提供了一种采用对置多导轨结构的减薄机，以解决或至少缓解上面存在的问题。
2、根据本专利技术的一个方面，提供了一种采用对置多导轨结构的减薄机，适于端面磨削工件，其中，所述减薄机包括：床身；砂轮主轴部分，固定在所述床身上，所述砂轮主轴部分包括：第一床身立柱和第二床身立柱，固定在所述床身上；底座，固定在所述第一床身立柱上，所述底座中间对称布置有四个导轨；溜板，通过所述四个导轨支撑于所述底座上，适于与所述底座配合做直
3、可选地，在根据本专利技术的减薄机中，所述砂轮主轴部分还包括：主轴座，安装在所述溜板上，所述主轴固定在所述主轴座上。
4、可选地，在根据本专利技术的减薄机中，所述工件转台部分包括：水平导轨座，安装在所述床身上；工件转台，安装在所述水平导轨座上，适于在电机的驱动下沿着所述水平导轨座做横向直线运动；真空吸盘，固定在所述工件转台上，适于带动工件随着工件转台转动。
5、可选地，在根据本专利技术的减薄机中，所述工件转台部分包括：水平导轨座，安装在所述床身上；工件转台，安装在所述水平导轨座上，适于在电机的驱动下沿着所述水平导轨座做横向直线运动；真空吸盘，固定在所述工件转台上，适于带动工件随着工件转台转动。
6、可选地，在根据本专利技术的减薄机中，所述导轨为静压导轨，每个所述导轨分布包括两个静压滑块；所述四个导轨分为两组导轨对称布置在所述主轴的两侧。
7、可选地，在根据本专利技术的减薄机中，所述减薄机还包括：直线电机，安装在所述第二床身立柱上且位于所述两组导轨的对称面，所述直线电机作用力的轴线位于磨削点的附近，适于驱动所述主轴。
8、可选地，在根据本专利技术的减薄机中，所述减薄机还包括：光栅尺，安装在所述溜板上；光栅读数头，安装在所述底座上，适于配合所述光栅尺反馈所述溜板的运动位置；光栅保护罩，安装在所述溜板上，且设在所述光栅尺和光栅读数头的外侧。
9、可选地，在根据本专利技术的减薄机中，所述减薄机还包括：配重气缸，包括缸体和活塞杆，所述缸体与溜板固定连接，所述活塞杆与所述第一床身立柱固定连接，适于对所述主轴的移动部分进行配重。
10、可选地，在根据本专利技术的减薄机中，所述减薄机还包括：视觉检测部分，固定在所述第二床身立柱上，适于监测所述减薄机的工作情况。
11、可选地，在根据本专利技术的减薄机中，所述减薄机还包括：工件测厚部分，固定在所述第二床身立柱上，适于检测工件的厚度。
12、可选地，在根据本专利技术的减薄机中，所述砂轮的形状为杯型。
13、根据本专利技术的技术方案，提供了一种采用对置多导轨结构的减薄机，适于端面磨削工件，包括：床身、砂轮主轴部分和工件转台部分；砂轮主轴部分，固定在所述床身上，包括：第一床身立柱和第二床身立柱固定在床身上；底座固定在第一床身立柱上，底座中间对称布置有四个导轨；溜板固定在导轨上，适于与底座配合做直线运动；主轴安装在溜板上；砂轮固定在主轴的底部磨削工件；工件转台部分安装在床身上，能够带动工件旋转。这样，根据本专利技术的技术方案，主轴采用对称布置的四个导轨进行支承，使得主轴的两侧都有支撑，舍弃了传统的悬臂结构，可以较好地克服单侧导轨导致的主轴在自重下的倾斜，最大限度地减小了主轴因为自重或加工时的轴向磨削力产生的倾斜，提高了主轴的刚性，使得主轴具有较好的稳定性和可靠性，能够保证加工工件的平面度和表面粗糙度。
14、采用位于对称面的直线电机驱动主轴，使得直线电机作用力的轴线在磨削点附近，有效地减少了阿贝误差和主轴偏载带来的影响。采用直线导轨配合导轨钳制器作为抱闸使用，在机床断电、意外停机等非正常工作状态下，可以确保关键部件及时刹车停下，避免了撞车事故的发生。
15、上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本专利技术的具体实施方式。
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1.一种采用对置多导轨结构的减薄机，适于端面磨削工件，其中，所述减薄机包括：
2.如权利要求1所述的减薄机，其中，所述砂轮主轴部分还包括：
3.如权利要求1或2所述的减薄机，其中，所述工件转台部分包括：
4.如权利要求1-3中任一项所述的减薄机，其中，所述床身包括：
5.如权利要求1-4中任一项所述的减薄机，其中，
6.如权利要求5所述的减薄机，其中，所述减薄机还包括：
7.如权利要求1-6中任一项所述的减薄机，其中，所述减薄机还包括：
8.如权利要求1-7中任一项所述的减薄机，其中，所述减薄机还包括：
9.如权利要求1-8中任一项所述的减薄机，其中，所述减薄机还包括：
10.如权利要求1-9中任一项所述的减薄机，其中，所述减薄机还包括：
【技术特征摘要】
1.一种采用对置多导轨结构的减薄机，适于端面磨削工件，其中，所述减薄机包括：
2.如权利要求1所述的减薄机，其中，所述砂轮主轴部分还包括：
3.如权利要求1或2所述的减薄机，其中，所述工件转台部分包括：
4.如权利要求1-3中任一项所述的减薄机，其中，所述床身包括：
5.如权利要求1-4中任一项所述的减薄机，其中，
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【专利技术属性】
技术研发人员：尹韶辉，江豪，舒成松，王哲，
申请(专利权)人：江苏优普纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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