一种电子束加热熔料设备制造技术

本技术属于镀膜技术领域，更具体地，涉及一种电子束加热熔料设备，包括：主炉室和抽真空装置，其中，所述抽真空装置与所述主炉室连接，所述抽真空装置包括第一真空泵和第二真空泵，所述第一真空泵与所述第二真空泵连接，所述第一真空泵和第二真空泵分别与所述主炉室连接，在所述主炉室内部设置有电子束装置和坩埚，所述电子束装置产生的电子束直接作用于所述坩埚内的熔料，所述坩埚包括内面和底座，所述内面可相对于所述底座进行拆卸，所述内面可设置为不同电子束镀膜机所需要的形状，将节约大量时间，极大的缓解产能瓶颈，大幅降低设备饱和使用出现故障导致的停产风险，增加蒸发设备生产的效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于镀膜，更具体地，涉及一种电子束加热熔料设备。

技术介绍

1、电子蒸发镀膜机是一种常见镀膜机，常见应用在电子产品上面，如光学器件、屏幕、手机壳、镜头、玻璃等等，具有熔点高，效率快，膜层均匀性好，可镀各种光学介质膜、金属膜等优点，因此应用在电子产品上面居多。

2、电子束蒸发镀膜是在光学器件生产中的重要环节，镀膜质量的优劣往往决定光学器件的主要性能及其使用功能，在镀膜工艺进行前，将颗粒状材料熔成块状膜料的纯度、致密度以及一致性又是决定镀膜工艺的一项重要环节，膜料的好坏直接影响镀膜的质量。

3、由于各家公司在镀膜环节并不仅仅使用一台或者一个品牌型号的镀膜机，而是多个厂家多个型号电子束蒸发镀膜机，其中坩埚大小尺寸型号不一，坩埚形状普遍带不同角度的斜坡和倒角，并非简单的圆柱体，由于形状难做，已经加工成型的膜料不易制作，而且许多光学膜料十分松散如ti3o5等，如果直接购买成型的块状膜料，在运输途中大概率会直接散掉，或者中间产生裂纹无法使用(中间有裂纹的膜料在镀膜过程中，因为热量不均匀容易飞溅，污染产品，由于镀膜工序不能返工，可能导致产品报废)，只能在镀膜场地临时熔料。

4、如果仅仅使用镀膜机自带的手动熔料功能，每一种材料如光学介质膜料ti3o5、单晶si等需要多次一层层的预熔(至少三次)，耽误大量时间，每次手动熔料质量不一，并没有自动熔料机熔的好，常见镀膜机每月有10％左右的时间用在手动熔料，严重影响生产进度，设备满负荷运转，故障率上升。

技术实现思路

<p>1、本技术需要解决的技术问题是：由于许多电子束蒸发镀膜机坩埚非标准图形，难以制作成品整块膜料，电子束蒸发镀膜机电子枪熔料深度有限，膜料不能一次熔完，需要多次手动层层预熔，每次添料需要等待膜料降温、电子枪降温、充氮气破真空时间及添完料设备抽真空时间，耽误大量时间，影响产能。

2、本技术是通过如下技术方案达到上述目的：

3、一方面，提供了一种电子束加热熔料设备，包括：主炉室和抽真空装置，其中，所述抽真空装置与所述主炉室连接；

4、所述抽真空装置包括第一真空泵和第二真空泵，所述第一真空泵与所述第二真空泵连接，所述第一真空泵和第二真空泵分别与所述主炉室连接；

5、在所述主炉室内部设置有电子束装置和坩埚，所述电子束装置产生的电子束直接作用于所述坩埚内的熔料；

6、所述坩埚包括内面和底座，所述内面可相对于所述底座进行拆卸，所述内面可设置为不同电子束镀膜机所需要的形状。

7、优选的，所述第一真空泵具体包括干式粗抽泵和罗茨泵，所述罗茨泵设置在所述干式粗抽泵前端；

8、在所述第一真空泵与所述主炉室之间设有第一真空管道，所述第一真空泵与所述主炉室通过所述第一真空管道连接，在所述第一真空管道的前级设有第一阀门，在所述第一真空管道的后级设有波纹管。

9、优选的，在所述第一真空管道内的第一阀门与波纹管之间设置开口，所述第二真空泵通过第二真空管道与所述开口连接；

10、在所述第二真空管道上设置有第二阀门。

11、优选的，所述第二真空泵具体为冷凝泵，所述第二真空泵还连接有氮气管道，在所述氮气管道内设有第三阀门。

12、优选的，在所述第二真空泵与所述主炉室之间设有冷井，在所述冷井与所述主炉室之间设有抽气挡板，在所述冷井与所述第二真空泵之间设置有第四阀门。

13、优选的，所述主炉室上还连接的有真空计，所述真空计具体为热电偶真空计；

14、所述主炉室上还设置的有第五阀门。

15、优选的，所述主炉室内壁设有衬板，在所述主炉室上还设有可开关的主炉室门，在所述主炉室门上设置的有用于观察熔料状态的观察窗。

16、优选的，所述电子束装置包括电子束产生装置和电子束操控装置，所述电子束产生装置和电子束操控装置相对的设置在所述坩埚的两端。

17、优选的，所述电子束产生装置包括阴极灯丝、阳极和聚焦极，所述阴极灯丝设置在所述阳极内部，所述聚焦极设置在所述阳极上端，在所述阳极上开有电子束发射孔，在所述聚焦极上也相应地设有电子束聚焦孔，所述电子束发射孔与所述电子束聚焦孔之间孔对孔设置；

18、所述电子束操控装置包括磁场发生装置，所述磁场发生装置用于产生磁场，所述电子束操控装置还包括控制所述磁场的电路系统；

19、在所述磁场发生装置的顶部还设有二次电子收集板。

20、优选的，在所述坩埚下部还安装的有循环水系统。

21、本技术的有益效果是：

22、本技术根据各个品牌型号电子束蒸发镀膜机不同坩埚的形状尺寸，制作同样形状尺寸的坩埚，作为配件装入所述电子束加热熔料设备统一熔料；所述抽真空装置包括第一真空泵和第二真空泵，第一真空泵和第二真空泵配合使用，可以加快抽真空的速率，将节约大量时间，极大的缓解产能瓶颈，增加电子束加热熔料设备生产的效率。

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【技术保护点】

1.一种电子束加热熔料设备，其特征在于，包括：主炉室和抽真空装置，其中，所述抽真空装置与所述主炉室连接；

2.根据权利要求1所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，所述第一真空泵具体包括干式粗抽泵和罗茨泵，所述罗茨泵设置在所述干式粗抽泵前端；

3.根据权利要求2所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，在所述第一真空管道内的第一阀门与波纹管之间设置开口，所述第二真空泵通过第二真空管道与所述开口连接；

4.根据权利要求1所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，所述第二真空泵具体为冷凝泵，所述第二真空泵还连接有氮气管道，在所述氮气管道内设有第三阀门。

5.根据权利要求4所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，在所述第二真空泵与所述主炉室之间设有冷井，在所述冷井与所述主炉室之间设有抽气挡板，在所述冷井与所述第二真空泵之间设置有第四阀门。

6.根据权利要求1所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，所述主炉室上还连接的有真空计，所述真空计具体为热电偶真空计；

7.根据权利要求6所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，所述主炉室内壁设有衬板，在所述主炉室上还设有可开关的主炉室门，在所述主炉室门上设置的有用于观察熔料状态的观察窗。

8.根据权利要求1所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，所述电子束装置包括电子束产生装置和电子束操控装置，所述电子束产生装置和电子束操控装置相对的设置在所述坩埚的两端。

9.根据权利要求8所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，所述电子束产生装置包括阴极灯丝、阳极和聚焦极，所述阴极灯丝设置在所述阳极内部，所述聚焦极设置在所述阳极上端，在所述阳极上开有电子束发射孔，在所述聚焦极上也相应地设有电子束聚焦孔，所述电子束发射孔与所述电子束聚焦孔之间孔对孔设置；

10.根据权利要求1-9任一项所述的电子束加热熔料设备，其特征在于：在所述坩埚下部还安装的有循环水系统。

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【技术特征摘要】

1.一种电子束加热熔料设备，其特征在于，包括：主炉室和抽真空装置，其中，所述抽真空装置与所述主炉室连接；

2.根据权利要求1所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，所述第一真空泵具体包括干式粗抽泵和罗茨泵，所述罗茨泵设置在所述干式粗抽泵前端；

3.根据权利要求2所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，在所述第一真空管道内的第一阀门与波纹管之间设置开口，所述第二真空泵通过第二真空管道与所述开口连接；

4.根据权利要求1所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，所述第二真空泵具体为冷凝泵，所述第二真空泵还连接有氮气管道，在所述氮气管道内设有第三阀门。

5.根据权利要求4所述的电子束加热熔料设备，其特征在于，在所述第二真空泵与所述主炉室之间设有冷井，在所述冷井与所述主炉室之间设有抽气挡板，在所述冷井与所述第二真空泵之间设置有第四阀门。

6.根据权利要求1所述的电子束加热熔料设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞菲，张晴晴，袁野，杨帆，吴铁峰，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：