【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于钙钛矿太阳能电池制造，尤其涉及一种钙钛矿太阳能电池的激光刻蚀划线方法。
技术介绍
1、钙钛矿太阳能电池在透明玻璃基材上的各层薄膜的制备通常包括ito导电层、etl电子传输层、钙钛矿层、htl空穴传输层、金属电极层。需在各工序间穿插划线工序，以形成电池的串联结构。
2、钙钛矿太阳能电池存在3条划线，即p1，p2，p3。这3条线所包围的区域是不能用来发电的，因此被称为死区。如果想提升电池效率，这3条线所包围的区域小越好。
3、为此，有必要提供一种可以缩小钙钛矿太阳能电池死区范围的划线槽方法。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种钙钛矿太阳能电池的激光刻蚀划线方法，其可以产生更细的线槽，更小的损伤，更小的热影响；从而可以获得更小的死区，提升电池效率。
2、本专利技术是这样实现的，一种钙钛矿太阳能电池的激光刻蚀划线方法，包括以下步骤：
3、在透明玻璃基材上制作ito层之后，测量激光器的聚焦镜头到工件表面的距离，精准控制焦点位于工
【技术保护点】
1.一种钙钛矿太阳能电池的激光刻蚀划线方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的激光划线槽方法，其特征在于，P1工序的激光器选择纳秒红外激光器，P2/P3工序的激光器选择皮秒绿光激光器。
3.如权利要求1所述的激光划线槽方法，其特征在于，Mark点标记在ITO层的四个角落位置，Mark点所在的位置是预留的，后续不进行涂层，不会被覆盖。
4.如权利要求1所述的激光划线槽方法，其特征在于，采用高精度测距仪测量激光器的聚焦镜头到工件表面的距离；使用高精度CCD捕捉Mark点位置。
【技术特征摘要】
1.一种钙钛矿太阳能电池的激光刻蚀划线方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的激光划线槽方法，其特征在于，p1工序的激光器选择纳秒红外激光器，p2/p3工序的激光器选择皮秒绿光激光器。
3.如权利要求1所述的激光划线槽方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏会林，陈恒海，贺一亮，陈雄，
申请(专利权)人：深圳市丰源升科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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