【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅制造，尤其是指一种线切机切割液循环系统。
技术介绍
1、线切机通过线网的来回运动将磨粒带入硅棒的加工区域进行磨削，从而将晶棒加工成数个薄片。线切机主要由进刀系统、主轴系统、绕线系统、液路系统、气路系统和电控系统组成，其中液路系统包括冷却水循环系统和切割液循环系统，其作用分别是为线切机的各关键零部件进行降温和为切割提供磨粒、润滑、冷却等作用。
2、在硅片的实际切割环境下，由于切割液具有黏性和切割液表面张力影响，切割完成的硅片存在成段堆叠的情况。此时，在硅棒的提料过程中，容易造成切割完成的硅片断片或硅片被局部误切。
技术实现思路
1、为了解决现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种线切机切割液循环系统，其可以避免硅片切割完成后断片和被局部误切，降低硅片的损耗。
2、为实现上述目的，本技术采用如下的技术方案：
3、一种线切机切割液循环系统，该线切机切割液循环系统包括：切割组件、储液组件、喷淋组件和管路组件；切割组件包括用于切割硅棒的线网，线网切割硅棒后形成若干硅片；储液组件用于存储切割液；喷淋组件用于喷洒切割液至硅棒和线网；管路组件的两端分别与储液组件和喷淋组件连接，管路组件用于将切割液输送至喷淋组件；喷淋组件包括第一喷淋机构和第二喷淋机构，第一喷淋机构的喷射方向基本朝向线网，第一喷淋机构用于将切割液喷射至线网上；第二喷淋机构至少部分设置于线网的上方，第二喷淋机构的喷射方向基本朝向硅片。
4、进一步地，管路组件包括与第二喷淋
5、进一步地，喷管支路上设置有支路控制阀，支路控制阀用于调节第二喷淋机构喷射出的切割液的压力或流量。
6、进一步地，定义一个垂直于硅棒高度方向的水平面，第二喷淋机构的喷射方向与水平面之间的夹角大于等于40°且小于等于50°。
7、进一步地，第二喷淋机构的数量设置为至少两个，且若干个第二喷淋机构关于硅棒的轴线对称分布。
8、进一步地，储液组件包括测量机构，测量机构用于检测储液组件内切割液的余量。
9、进一步地，管路组件中包括过滤机构，靠近过滤机构处设置有用于检测管路组件内切割液压力的压力检测模块。
10、进一步地，管路组件还包括散热机构，靠近散热机构处设置有用于检测管路组件内切割液温度的温度检测模块。
11、进一步地，切割组件还包括用于容纳硅棒的切割室，切割室与储液组件通过出水组件连通。
12、进一步地，管路组件包括与第一喷淋机构连接的喷管主路，喷管主路上设置有主路控制阀，主路控制阀用于调节第一喷淋机构喷射出的切割液的压力或流量。
13、线切机切割液循环系统通过设置用于润滑线网的第一喷淋机构和用于分离硅片的第二喷淋机构，避免硅片在切割完成后受切割液表面张力的影响而堆叠，且能够防止提料过程中切割完成的硅片断片，以此减少硅片的损耗，提升硅片生产的良品率。
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1.一种线切机切割液循环系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述管路组件包括与所述第二喷淋机构连接的喷管支路，所述第二喷淋机构通过所述喷管支路与所述储液组件连接。
3.根据权利要求2所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述喷管支路上设置有支路控制阀，所述支路控制阀用于调节所述第二喷淋机构喷射出的所述切割液的压力或流量。
4.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，定义一个垂直于所述硅棒高度方向的水平面，所述第二喷淋机构的喷射方向与所述水平面之间的夹角大于等于40°且小于等于50°。
5.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述第二喷淋机构的数量设置为至少两个，且若干个所述第二喷淋机构关于所述硅棒的轴线对称分布。
6.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述储液组件包括测量机构，所述测量机构用于检测所述储液组件内所述切割液的余量。
7.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述管路组件中包括过滤
8.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述管路组件还包括散热机构，靠近所述散热机构处设置有用于检测所述管路组件内所述切割液温度的温度检测模块。
9.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述切割组件还包括用于容纳所述硅棒的切割室，所述切割室与所述储液组件通过出水组件连通。
10.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述管路组件包括与所述第一喷淋机构连接的喷管主路，所述喷管主路上设置有主路控制阀，所述主路控制阀用于调节所述第一喷淋机构喷射出的所述切割液的压力或流量。
...【技术特征摘要】
1.一种线切机切割液循环系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述管路组件包括与所述第二喷淋机构连接的喷管支路，所述第二喷淋机构通过所述喷管支路与所述储液组件连接。
3.根据权利要求2所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述喷管支路上设置有支路控制阀，所述支路控制阀用于调节所述第二喷淋机构喷射出的所述切割液的压力或流量。
4.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，定义一个垂直于所述硅棒高度方向的水平面，所述第二喷淋机构的喷射方向与所述水平面之间的夹角大于等于40°且小于等于50°。
5.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在于，所述第二喷淋机构的数量设置为至少两个，且若干个所述第二喷淋机构关于所述硅棒的轴线对称分布。
6.根据权利要求1所述的线切机切割液循环系统，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，王金荣，孔玉梅，黄佳辉，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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