【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及水分纯化，尤其涉及一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置及再生方法。
技术介绍
1、高纯卤代烃气体是广泛应用于半导体工业制造中的一种气体，例如八氟环丁烷、六氟乙烷、六氟丁二烯等。然而，这些气体在制备和精馏纯化工艺过程中会引入大量水分，这会对气体的质量和稳定性产生不利影响，同时也会严重影响半导体制造工艺的效率和质量。
2、目前，已知有一些去除气体中水分的方法，例如冷凝法、吸附法、膜分离法、精馏法等等。cn109292736b公开了一种电子级氯化氢气体中痕量水分的去除的设备和使用方法，设计一种固定床反应器，采用一种负载型杂多酸盐吸附材料吸附水分，但是此设备操作复杂，不便移动，且效率较低。
3、cn104495871b公开了一种超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，涉及一种气体生产中去除水分的杂质，特别涉及一种去除超纯氨中水分杂质的去除装置。此技术利用氧化钙的吸水性能作为干燥剂，与水分反应后的最终产物为氢氧化钙，具有工艺简单，生产成本低的特点，但是其纯化填料需要频繁更换，降低了生产工作效率。
4、以上方法存在一些缺陷，例如操作复杂、效率低、成本高等。因此，需要一种高效的装置来去除卤代烃气体中的微量水分杂质。
技术实现思路
1、本专利技术目的在于提供一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置及再生方法，以解决上述技术中设备操作复杂、成本高和纯化器填料频繁更换的问题。
2、本专利技术的一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置及再生方法的具体技术方案如
3、一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，包括纯化器和储气单元，所述纯化器两端的管路上分别安装有前端控制阀和后端控制阀，所述前端控制阀连通有储气单元，所述后端控制阀连通有卤代烃气阀、惰性气体阀、真空阀和分析阀，分析阀另一端连接有水分快速检测仪，所述纯化器并联管路上连通有纯化器旁通阀，所述纯化器旁通阀一端管路连接在前端控制阀与储气单元之间，所述纯化器旁通阀另一端管路连接在后端控制阀与惰性气体阀之间。
4、优选的，所述纯化器包括处理柱，所述处理柱两端连通有输气管一和输气管二，所述输气管一上连通有流量控制器，所述流量控制器与前端控制阀连通，所述输气管二上连通有冷凝器，冷凝器上设有液体出口，液体出口与排水管连通，所述冷凝器与后端控制阀连通，所述处理柱内部设置有温度传感器和压力传感器，所述处理柱内部填充有除水材料，所述处理柱外部包覆有加热装置。
5、优选的，所述温度传感器连接有数显温度表，压力传感器连接有数显压力表，所述数显温度表和数显压力表与控制器电连接，所述控制器对处理柱内部的温度和压力进行控制。
6、优选的，所述控制器与加热装置电连接，控制处理柱内部的温度，所述控制器与流量控制器电连接，控制气体的流量，调控处理柱内部的压力。
7、优选的，所述控制器与后台计算机电连接，用于传输实时温度和压力的数据，便于进行调节和监控。
8、优选的，所述处理柱内填充的除水材料，包括分子筛和活性炭。
9、优选的，所述加热装置为电加热、水循环加热或者热气流循环加热。
10、本专利技术还提供了一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置的再生方法，包括以下步骤：
11、s1、将前端控制阀与储气单元连通，后端控制阀与惰性气体阀和真空阀连通；
12、s2、打开惰性气体阀和纯化器旁通阀，关闭纯化器两端的前端控制阀和后端控制阀，惰性气体通过纯化器旁通阀进入储气单元，储存于储气单元内；
13、s3、关闭惰性气体阀和纯化器旁通阀，打开前端控制阀和后端控制阀，打开真空阀，开始抽真空，储气单元内的惰性气体通过纯化器开始对纯化器中的处理柱进行再生；
14、s4、通过控制器控制加热装置，保持处理柱内的温度为160-220℃，控制器调控流量控制器，保持处理柱内部的压力小于等于0.6mpa；
15、s5、再生过程中处理柱内部排出的水分杂质，经过冷凝器冷凝后，从排水管流出；
16、s6、再生过程进行30min后，关闭真空阀，打开分析阀，检测排出气体中的水分，水分含量达标，纯化装置再生完成，若不达标，重复步骤s3-s5，直至水分含量达标，纯化装置再生完成。
17、本专利技术的一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，在使用过程中，先进行卤代烃气体水分纯化过程，在纯化过程中，打开卤代烃气阀、前端控制阀和后端控制阀，关闭纯化器旁通阀，卤代烃气体通过纯化器，先进过冷凝器，使一部分水分杂质先行冷凝排出，在进入处理柱，处理柱中的填料对水分杂质进行吸附，进一步去除卤代烃气体中的水分，去除水分后卤代烃气体进入卤代烃储存单元进行储存，储存单元可以进行拆卸更换。
18、当处理柱中的填料对水分的吸收能力变差后，再对纯化器进行再生过程，过程中首先打开惰性气体阀和纯化器旁通阀，关闭纯化器两端的前端控制阀和后端控制阀，惰性气体通过纯化器旁通阀进入储气单元，惰性气体储存于储气单元内；而后关闭惰性气体阀和纯化器旁通阀，打开前端控制阀和后端控制阀，打开真空阀，开始抽真空，储气单元内的惰性气体通过纯化器开始对纯化器中的处理柱进行再生，通过控制器控制加热装置，保持处理柱内的温度为160-220℃，控制器调控流量控制器，保持处理柱内部的压力小于0.6mpa，再生过程中处理柱内部排出的水分杂质，经过冷凝器冷凝后，从排水管流出，再生过程进行一段时间后，关闭真空阀，打开分析阀，检测排出气体中的水分，水分含量达标，纯化器再生完成，可用于下次吸收卤代烃气体中的水分。
19、本专利技术的一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置及再生方法，具有以下优点：
20、1、本专利技术的纯化器设置有加热装置和流量控制器，通过温度传感器和控制器，对处理柱内部温度进行调控，在纯化器再生的过程中控制处理柱内部的温度，通过流量控制器和控制器，对处理柱内部压力进行调控，在纯化器再生的过程中控制处理柱内部的压力，使纯化器内部吸附的水分杂质快速排出，完成纯化器内部填料的再生，避免了更换填料的过程，保障纯化装置可长期重复使用。
21、2、本专利技术的处理柱内填充有分子筛和活性炭等高效除水材料，可以高效吸附卤代烃气体中的水分杂质。
22、3、本专利技术纯化器并联管路上设置纯化器旁通阀，以适用不同场合的需求，包括水分纯化过程，再生过程和水分检测过程。
23、4、本专利技术纯化器结构紧凑，体积小，操作方便，可靠性高，维护成本低，具有高效除水、再生活化、可靠性高、使用寿命长等优点，适用于各种卤代烃气体的除水和纯化处理，卤代烃气体包括但不限于氟利昂、氯代烃、溴代烃、碘代烃，提高了气体处理的效率和质量，有着广泛的应用前景。
24、5、本专利技术控制器还可以连接后台计算机，实现自动化控制和操作，实现远程监控和数据采集，方便用户实时掌握处理柱内压力、温度等参数，实现及时调整和维护，实现可视化操作界面，让用户更直观地了解处理柱内的工作情况和操作状态，提高工作效率和精准度，降低人工干预的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，其特征在于，包括纯化器(1)和储气单元(5)，所述纯化器(1)两端的管路上分别安装有前端控制阀(2)和后端控制阀(3)，所述前端控制阀(2)连通有储气单元(5)，所述后端控制阀(3)连通有卤代烃气阀(6)、惰性气体阀(7)、真空阀(8)和分析阀(9)，分析阀(9)另一端连接有水分快速检测仪(10)，所述纯化器(1)并联管路上连通有纯化器旁通阀(4)，所述纯化器旁通阀(4)一端管路连接在前端控制阀(2)与储气单元(5)之间，所述纯化器旁通阀(4)另一端管路连接在后端控制阀(3)与惰性气体阀(7)之间。
2.根据权利要求1所述的一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，其特征在于，所述纯化器(1)包括处理柱(11)，所述处理柱(11)两端连通有输气管一(12)和输气管二(13)，所述输气管一(12)上连通有流量控制器(14)，所述流量控制器(14)与前端控制阀(2)连通，所述输气管二(13)上连通有冷凝器(15)，冷凝器(15)上设有液体出口，液体出口与排水管(16)连通，所述冷凝器(15)与后端控制阀(3)连通，所述处理柱(11)内部设
3.根据权利要求2所述的一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，其特征在于，温度传感器连接有数显温度表(17)，压力传感器连接有数显压力表(18)，所述数显温度表(17)和数显压力表(18)与控制器(20)电连接，所述控制器(20)对处理柱(11)内部的温度和压力进行控制。
4.根据权利要求3所述的一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，其特征在于，所述控制器(20)与加热装置(19)电连接，控制处理柱(11)内部的温度，所述控制器(20)与流量控制器(14)电连接，控制气体的流量，调控处理柱(11)内部的压力。
5.根据权利要求4所述的一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，其特征在于，所述控制器(20)与后台计算机电连接，用于传输实时温度和压力的数据，便于进行调节和监控。
6.根据权利要求2所述的一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，其特征在于，所述处理柱(11)内填充的除水材料，包括分子筛和活性炭。
7.根据权利要求2所述的一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，其特征在于，所述加热装置(19)为电加热、水循环加热或者热气流循环加热。
8.一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置的再生方法，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，其特征在于，包括纯化器(1)和储气单元(5)，所述纯化器(1)两端的管路上分别安装有前端控制阀(2)和后端控制阀(3)，所述前端控制阀(2)连通有储气单元(5)，所述后端控制阀(3)连通有卤代烃气阀(6)、惰性气体阀(7)、真空阀(8)和分析阀(9)，分析阀(9)另一端连接有水分快速检测仪(10)，所述纯化器(1)并联管路上连通有纯化器旁通阀(4)，所述纯化器旁通阀(4)一端管路连接在前端控制阀(2)与储气单元(5)之间，所述纯化器旁通阀(4)另一端管路连接在后端控制阀(3)与惰性气体阀(7)之间。
2.根据权利要求1所述的一种可再生的卤代烃气体水分纯化装置，其特征在于，所述纯化器(1)包括处理柱(11)，所述处理柱(11)两端连通有输气管一(12)和输气管二(13)，所述输气管一(12)上连通有流量控制器(14)，所述流量控制器(14)与前端控制阀(2)连通，所述输气管二(13)上连通有冷凝器(15)，冷凝器(15)上设有液体出口，液体出口与排水管(16)连通，所述冷凝器(15)与后端控制阀(3)连通，所述处理柱(11)内部设置有温度传感器和压力传感器，所述处理柱(11)内部填充有除水材料，所述处理柱(11)外部包覆有加热装置(...
【专利技术属性】
技术研发人员：张威，张帅，王云飞，白犇，吕舜，张乾程，李芳波，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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