【技术实现步骤摘要】
本申请属于氘气制备和纯化的领域，具体涉及一种脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的方法及装置。
技术介绍
1、氘气，由氘(重氢)同位素构成。与普通氢气相比，氘气具有略微不同的物理和化学性质，其在核能、医学检验、制药以及激光武器等领域被广泛应用；尤其在半导体行业中，氘气的应用主要集中在退火处理和金属有机化学气相沉积(mocvd)等关键工艺中。退火处理是半导体制造中不可或缺的步骤之一，可用于改善晶体的结构和性能。氘气可以作为退火过程中的氢源替代物，其较重的同位素能够提供更高的热传导能力，从而实现更精确的退火效果。此外，氘气还可用于金属有机化学气相沉积过程中的氢源，以调控沉积薄膜的特性和结构，从而提高薄膜的质量和性能。
2、然而，氘气在半导体行业中的应用仍面临一些技术挑战；其中之一半导体行业对氘气纯度和氘气纯度的稳定性要求较高，但是目前常用的氘气制备方法为重水电解法，受限于其工艺流程，产品氘气中的氮气和氧气含量较高，存在纯化难度高、纯化成本高的问题。
技术实现思路
1、为了解决现有技术的重水电解法制备氘气过程中，产品氘气中的氮气和氧气纯化难度和成本均较高的问题，本申请提供一种脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的方法及装置。
2、第一方面，本申请提供一种脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的装置，采用如下的技术方案：
3、一种通过脱气膜预处理重水以提高电解制备高纯氘气的装置，包括电解槽、氧分离器、氘分离器、干燥塔、脱气膜组件、循环泵、真空泵；
<...【技术保护点】
1.一种脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的装置，其特征在于：包括电解槽(1)、氧分离器(2)、氘分离器(3)、干燥塔(7)、脱气膜组件(5)、循环泵(4)、真空泵(6)；
2.根据权利要求1所述的脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的装置，其特征在于：氘分离器(3)的底部与循环泵(4)接通。
3.根据权利要求1所述的脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的装置，其特征在于：脱气膜组件(5)包括壳体、脱气膜和封装胶，脱气膜内置于壳体中，封装胶将脱气膜固定在壳体中；其中脱气膜的材质为聚四氟乙烯。
4.一种脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的方法，其特征在于，包括如下的步骤：
5.根据权利要求4所述的脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的方法，其特征在于：步骤一中所用重水的纯度≥99.7％。
6.根据权利要求4所述的脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的方法，其特征在于：循环泵(4)的速率为5～8kg/min。
7.根据权利要求4所述的脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的方法，其特征在于：真空泵(6)的压力为
...【技术特征摘要】
1.一种脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的装置，其特征在于：包括电解槽(1)、氧分离器(2)、氘分离器(3)、干燥塔(7)、脱气膜组件(5)、循环泵(4)、真空泵(6)；
2.根据权利要求1所述的脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的装置，其特征在于：氘分离器(3)的底部与循环泵(4)接通。
3.根据权利要求1所述的脱气膜预处理重水提高电解制备高纯氘气的装置，其特征在于：脱气膜组件(5)包括壳体、脱气膜和封装胶，脱气膜内置于壳体中，封装胶将脱气膜固定在壳体中；其中脱气膜的材质为聚...
【专利技术属性】
技术研发人员：周钰良，张长金，申永明，杨万吉，滕鑫胜，张网，郭晓彬，齐治乐，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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