一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及气浮结构制造技术领域，具体涉及一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置。气浮机构用于承载水平工作台，卸荷装置给水平工作台提供支撑力以卸荷，所述卸荷装置对称设于水平工作台的两端，卸荷装置包括水平固定在曝光机支架上的支撑梁和滑动连接在支撑梁上的安装盒，安装盒内形成有竖向弹性空间，水平工作台与安装盒的上表面连接。安装盒分别在两侧持续给水平工作台提供一个支撑力，使水平工作台作用在气浮板上的载荷减小，达到卸荷效果，故气浮板和气浮轴之间的气膜厚度增加、承载能力提升。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气浮结构制造，具体涉及一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置。

技术介绍

1、pcb曝光机是一种用于制作印刷电路板（pcb）的设备，pcb曝光机主要用于将设计好的电路图案转移到光敏胶片或光阻板上，以便进行后续的蚀刻或制作工艺。pcb曝光机的气浮机构是一种常见的支撑和调整工作台平整度的装置。这种机构通过利用气体的压力和流动来实现工作台的浮动和平衡，可以实现工作台的平整度调节、减少机械摩擦、降低噪音和振动，从而提高曝光的精度和稳定性以确保曝光过程中工作台的平整度。气浮机构在pcb曝光机中的应用可以有效地改善曝光过程中工作台的平整度，提高曝光质量。

2、基于气浮结构技术的超精密气浮定位工作平台是一种新型的精度运动机构，具有定位精度高、重复性好等优点，但气浮结构的设计涉及到结构动力学和有限元分析，对理论要求较高，对结构件的制造精度也有较高要求，实际制造过程中往往由于过程中出现不可预测的偏差造成成品的气浮结构气膜高度偏小，承载能力不足。在曝光机正常生产中，气浮结构的承载力是非常重要的，因为曝光机的启停瞬间，由于气浮运动部分的惯性力的作用，会使浮本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，气浮机构用于承载水平工作台，卸荷装置给水平工作台提供支撑力以卸荷，其特征在于，所述卸荷装置对称设于水平工作台的两端，卸荷装置包括水平固定在曝光机支架上的支撑梁（1）和滑动连接在支撑梁上的安装盒（2），安装盒内形成有竖向弹性空间（3），水平工作台与安装盒（2）的上表面连接。

2.根据权利要求1所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述安装盒（2）包括上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2），所述竖向弹性空间（3）设于上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2）之间。

3.根据权利要求2所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸...

【技术特征摘要】

1.一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，气浮机构用于承载水平工作台，卸荷装置给水平工作台提供支撑力以卸荷，其特征在于，所述卸荷装置对称设于水平工作台的两端，卸荷装置包括水平固定在曝光机支架上的支撑梁（1）和滑动连接在支撑梁上的安装盒（2），安装盒内形成有竖向弹性空间（3），水平工作台与安装盒（2）的上表面连接。

2.根据权利要求1所述的一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述安装盒（2）包括上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2），所述竖向弹性空间（3）设于上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2）之间。

3.根据权利要求2所述的一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述竖向弹性空间（3）包括均匀分布的沉孔（3-1），沉孔内均设有矩形弹簧（2-3）。

4.根据权利要求2所述的一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2）之间还连接有预压螺钉（2-4）。

5.根据权利要求2所述的一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述下弹性座（2-2）的底部设有轴承滚轮（2-5），所述支撑梁（1）的上表...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖平强，张继钊，赵豪杰，汪益立，
申请(专利权)人：杭州欣俊哲微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：