【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气浮结构制造，具体涉及一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置。
技术介绍
1、pcb曝光机是一种用于制作印刷电路板（pcb）的设备，pcb曝光机主要用于将设计好的电路图案转移到光敏胶片或光阻板上，以便进行后续的蚀刻或制作工艺。pcb曝光机的气浮机构是一种常见的支撑和调整工作台平整度的装置。这种机构通过利用气体的压力和流动来实现工作台的浮动和平衡，可以实现工作台的平整度调节、减少机械摩擦、降低噪音和振动，从而提高曝光的精度和稳定性以确保曝光过程中工作台的平整度。气浮机构在pcb曝光机中的应用可以有效地改善曝光过程中工作台的平整度，提高曝光质量。
2、基于气浮结构技术的超精密气浮定位工作平台是一种新型的精度运动机构，具有定位精度高、重复性好等优点，但气浮结构的设计涉及到结构动力学和有限元分析，对理论要求较高，对结构件的制造精度也有较高要求，实际制造过程中往往由于过程中出现不可预测的偏差造成成品的气浮结构气膜高度偏小，承载能力不足。在曝光机正常生产中，气浮结构的承载力是非常重要的，因为曝光机的启停瞬间，由于气浮运动部分的惯性力的作用，会使浮动部分产生一定程度的俯仰，当俯仰产生的气膜偏差大于气膜厚度时，气浮板间就会产生破坏性的刮擦，对气浮结构造成损伤。
3、在申请号为201910232548 .1的专利技术专利中，提供了一种自动曝光机，其包括用于对待曝光基板进行对位操作的第一气浮式对位装置、用于对待曝光基板进行第一表面的曝光操作的第一气浮式曝光装置、用于对待曝光基板进行板面翻转操作的气浮式翻转装置、用于
技术实现思路
1、本专利技术基于上述
技术介绍
中存在的不足，针对传统曝光机的气浮结构气膜高度较小，对水平工作台的承载能力不足的问题，目的是提供一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，在工作台两侧持续提供支撑力以达到卸荷的效果。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：
3、一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，气浮机构用于承载水平工作台，卸荷装置给水平工作台提供支撑力以卸荷，所述卸荷装置对称设于水平工作台的两端，卸荷装置包括水平固定在曝光机支架上的支撑梁和滑动连接在支撑梁上的安装盒，安装盒内形成有竖向弹性空间，水平工作台与安装盒的上表面连接。
4、气浮机构包括气浮板和气浮轴，气浮板的气孔通气后，气浮板和气浮轴之间会产生气膜使气浮板悬浮于气浮轴之上，同时气浮板卡接在气浮轴上且气浮板可沿着气浮轴的轴向运动。
5、pcb曝光机包括曝光机底座和设于底座四周的曝光机支架，支撑梁分别架设在水平工作台两侧的曝光机支架之间，支撑梁上滑接有安装盒，安装盒内形成有竖向弹性空间，安装盒分别在两侧持续给水平工作台提供一个支撑力，使水平工作台作用在气浮板上的载荷减小，达到卸荷效果，故气浮板和气浮轴之间的气膜厚度增加、承载能力提升；同时水平工作台通过安装盒滑动连接在支撑梁上，以保持水平工作台与气浮板同步运动。
6、作为本专利技术的进一步改进，所述安装盒包括上弹性座、下弹性座，所述竖向弹性空间设于上弹性座、下弹性座之间。
7、作为本专利技术的进一步改进，所述竖向弹性空间包括均匀分布的沉孔，沉孔内均设有矩形弹簧。
8、通过更换不同弹性系数、不同长度的矩形弹簧可匹配出不同的卸荷负载，扩大了本卸荷装置的适用范围。
9、作为本专利技术的进一步改进，所述上弹性座、下弹性座之间还连接有预压螺钉。
10、作为本专利技术的进一步改进，所述下弹性座的底部设有轴承滚轮，所述支撑梁的上表面设有支撑滚道，所述安装盒通过轴承滚轮滑动连接在支撑滚道上。
11、作为本专利技术的进一步改进，所述安装盒与水平工作台之间连接有弯折板，弯折板的一端固定在上弹性座的上表面，另一端与水平工作台连接。
12、作为本专利技术的进一步改进，所述弯折板与上弹性座连接的一端与所述支撑滚道保持平行。
13、作为本专利技术的进一步改进，所述曝光机支架上设有支撑立柱，所述支撑梁的两端架设在支撑立柱的上表面。
14、作为本专利技术的进一步改进，所述支撑梁与支撑立柱之间还设有调节垫片，通过调节垫片调节支撑梁使支撑梁上表面与气浮机构上表面保持平行。
15、采用高精度调节连接面、支撑滚道面间的平行度，保证气浮机构卸荷后承压均匀，运行顺畅。
16、作为本专利技术的进一步改进，所述支撑立柱上还横向连接有用于防止卸荷装置下沉的保护销。
17、因此，本专利技术的主要有益效果在于：
18、（1）本专利技术提供的一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，通过设置形成有弹性空间的安装盒和支撑梁，安装盒分别在两侧持续给水平工作台提供一个支撑力，使水平工作台作用在气浮板上的载荷减小，达到卸荷效果，故气浮板和气浮轴之间的气膜厚度增加、承载能力提升；同时水平工作台通过安装盒滑动连接在支撑梁上，以保持水平工作台与气浮板同步运动；
19、（2）进一步地，通过设置分体式的上弹性座、下弹性座，上弹性座、下弹性座之间形成用于容纳矩形弹簧的沉孔，通过更换不同弹性系数、不同长度的矩形弹簧可匹配出不同的卸荷负载，增强了本卸荷装置的适应性；
20、（3）进一步地，通过设置调节垫片结合电子水平仪测量高精度地保持支撑滚道面与连接面之间的平行度，保证气浮机构卸荷后承压均匀，运行顺畅。附图说明
21、为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请实施例中的一部分，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22、图1为本实施例卸荷装置安装在pcb曝光机上的结构示意图；
23、图2为本实施例卸荷装置各部件的连接示意图；
24、图3为本实施例安装盒的结构示意图；
25、附图标记说明，其中：
26、气浮机构0-1，气浮轴0-11，气浮板0-12，水平工作台0-2，曝光机底座0-3，曝光机支架0-4，支撑梁1，支撑滚道1-1，安装盒2，上弹性座2-1，下弹性座2-2，矩形弹簧2-3，预压螺钉2-4，轴承滚轮2-5，竖向弹性空间3，沉孔3-1，弯折板4，支撑立柱5，调节垫片5-1，保护销6。
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1.一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，气浮机构用于承载水平工作台，卸荷装置给水平工作台提供支撑力以卸荷，其特征在于，所述卸荷装置对称设于水平工作台的两端，卸荷装置包括水平固定在曝光机支架上的支撑梁（1）和滑动连接在支撑梁上的安装盒（2），安装盒内形成有竖向弹性空间（3），水平工作台与安装盒（2）的上表面连接。
2.根据权利要求1所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述安装盒（2）包括上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2），所述竖向弹性空间（3）设于上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2）之间。
3.根据权利要求2所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述竖向弹性空间（3）包括均匀分布的沉孔（3-1），沉孔内均设有矩形弹簧（2-3）。
4.根据权利要求2所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2）之间还连接有预压螺钉（2-4）。
5.根据权利要求2所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述下弹性座（2-2）的底部设有轴承滚轮（2-5）
6.根据权利要求5所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述安装盒（2）与水平工作台之间连接有弯折板（4），弯折板的一端固定在上弹性座（2-1）的上表面，另一端与水平工作台连接。
7.根据权利要求6所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述弯折板（4）与上弹性座（2-1）连接的一端与所述支撑滚道（1-1）保持平行。
8.根据权利要求1所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述曝光机支架上设有支撑立柱（5），所述支撑梁（1）的两端架设在支撑立柱（5）的上表面。
9.根据权利要求8所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述支撑梁（1）与支撑立柱（5）之间还设有调节垫片（5-1），通过调节垫片调节支撑梁（1）使支撑梁上表面与气浮机构上表面保持平行。
10.根据权利要求8所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述支撑立柱（5）上还横向连接有用于防止卸荷装置下沉的保护销（6）。
...【技术特征摘要】
1.一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，气浮机构用于承载水平工作台，卸荷装置给水平工作台提供支撑力以卸荷，其特征在于，所述卸荷装置对称设于水平工作台的两端，卸荷装置包括水平固定在曝光机支架上的支撑梁（1）和滑动连接在支撑梁上的安装盒（2），安装盒内形成有竖向弹性空间（3），水平工作台与安装盒（2）的上表面连接。
2.根据权利要求1所述的一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述安装盒（2）包括上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2），所述竖向弹性空间（3）设于上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2）之间。
3.根据权利要求2所述的一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述竖向弹性空间（3）包括均匀分布的沉孔（3-1），沉孔内均设有矩形弹簧（2-3）。
4.根据权利要求2所述的一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2）之间还连接有预压螺钉（2-4）。
5.根据权利要求2所述的一种pcb曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述下弹性座（2-2）的底部设有轴承滚轮（2-5），所述支撑梁（1）的上表...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖平强，张继钊，赵豪杰，汪益立，
申请(专利权)人：杭州欣俊哲微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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