一种蒸镀机镀膜控制优化方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀机镀膜控制优化方法、装置、设备及存储介质。该优化方法包括：建立蒸镀机的镀膜模型，其中，镀膜模型包括多个蒸发舟，每一蒸发舟对应一测试点位；向镀膜模型输入蒸镀机的镀膜函数；其中，镀膜函数包括最大送丝速度函数、蒸发速度函数、蒸汽浓度熔合函数和镀膜厚度转换函数；采用MAPPO算法对每一蒸发舟的送丝参数进行优化，以使镀膜模型根据优化后的送丝参数镀膜后的厚度与目标厚度的差值的绝对值小于预设阈值。本发明专利技术的技术方案可以实现对多个蒸发舟的送丝参数进行优化，实现对多个蒸发舟的协同控制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蒸镀机镀膜控制，尤其涉及一种蒸镀机镀膜控制优化方法、装置、设备及存储介质。

技术介绍

1、真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。真空蒸镀可以对显示屏等器件进行镀膜，还可以蒸镀防伪标志镀层、纺织品镀层等，因此应用广泛。

2、目前的蒸镀机的镀膜是通过控制多个蒸发舟送丝角度、送丝速度实现对镀膜厚度的控制。蒸发舟的送丝角度、送丝速度通过比例积分微分(proportional integralderivative，pid)调节器来进行控制，目标是使得镀膜厚度更接近目标的厚度。其控制的基本原理是：根据测量点测量的镀膜厚度以及目标镀膜厚度的差值，优化pid调节器输出的蒸发舟的送丝角度和送丝速度，使得镀膜厚度更加接近目标厚度。

3、但是pid调节器是单输入单输出的控制策略，面对多个蒸发舟的协同控制，控制难度较大，很难控制镀膜达到目标厚度。

技术实现思路

1、本专利技术提供了一种蒸镀机镀膜控制优化本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸镀机镀膜控制优化方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述向所述镀膜模型输入所述蒸镀机的镀膜函数，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用MAPPO算法对每一蒸发舟的送丝参数进行优化，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在根据所有测试点对应的元组数据对所述策略网络的参数进行更新优化之前，还包括：

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所有测试点对应的元组数据对所述策略网络的参数进行更新优化，包括：

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述采...

【技术特征摘要】

1.一种蒸镀机镀膜控制优化方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述向所述镀膜模型输入所述蒸镀机的镀膜函数，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用mappo算法对每一蒸发舟的送丝参数进行优化，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在根据所有测试点对应的元组数据对所述策略网络的参数进行更新优化之前，还包括：

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所有测试点对应的元组数据对所述策略网络的参数进行更新优化，包括：

6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛震，罗凡明，
申请(专利权)人：南栖仙策南京高新技术有限公司，
类型：发明
国别省市：