一种石英摆片下垂量测量系统及测量方法技术方案

本发明专利技术提供了一种石英摆片下垂量测量系统及测量方法，用于解决现有人工手持卡规的测量方法受限于测量设备的精度和人工肉眼的观察，导致只能进行宽范围定性测量和引入测量误差的技术问题。本发明专利技术提供的一种石英摆片下垂量测量系统中，测量单元包括旋转模块和图像采集模块；旋转模块包括旋转平台、驱动旋转平台旋转的驱动机构以及固定设置在旋转平台上的摆片工装；图像采集模块包括相对设置在摆片工装的两侧的双远心平行光源和工业相机；摆片工装用于固定待测摆片，且使待测摆片的轴心与工业相机的轴心垂直；处理单元，用于根据工业相机拍摄的摆片图像分析和提取定位环轮廓和摆舌轮廓，进而获得待测摆片的下垂量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及石英摆片，尤其涉及一种石英摆片下垂量测量系统及测量方法。

技术介绍

1、石英加速度计作为惯性系统中测量微小加速度的高精度传感器，具有精度高、体积小、适应性强等优点。而石英摆片是石英加速度计的关键元件之一，其形状复杂，加工要求较高。石英摆片的外形参数决定了石英摆片的质量优劣，进而影响石英加速度计的性能。目前，一般将测量的外形参数与理想值进行对比，来判断生产过程中的石英摆片是否符合质量要求，并将缺陷大的石英摆片在加工过程中剔除掉，这样可以省略后续加工工序，节省成本。准确检测石英摆片的外形参数，不仅对提高石英加速度计的性能有重要意义，同时也为石英摆片批量生产中的质量监控提供可靠的依据。

2、石英摆片的摆梁的厚度直接影响着摆片的刚度，因此一般通过测量摆片的下垂量来体现摆片的刚度。如图1所示，为石英摆片的结构示意图，下垂量表示摆舌02的外侧上边缘至定位环01上表面的垂直距离。目前，摆片下垂量的测量通常采用手动人工测量，即操作人员通过卡规从正反两个方向测量摆片下垂量的下垂范围。这种手持卡规的测量方法受限于测量设备的精度和人工目视的观察，因此，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于：

4.根据权利要求1-3任一所述的一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于：

6.一种石英摆片下垂量测量方法，基于权利要求1-5任一所述的一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于，包括以下步骤：

7.根据权利要求6所述的一种石英摆片下垂量测量方法，其特征在于：p>

8.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于：

4.根据权利要求1-3任一所述的一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的一种石英摆片下垂量测量系统，其特征在于：

6.一种石英摆片下垂量测量方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨娜，李瑞峰，邓耀辉，程军，郭静，张力力，曹萌，
申请(专利权)人：西安航天赛能自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：