【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探针座和探针单元。
技术介绍
1、传统上，当在对半导体集成电路或液晶面板等检测对象进行导通状态检测或操作特性检测时，为了使检测对象与用来输出检测用信号的信号处理装置之间电连接，使用探针单元，该探针单元具备：多个接触探针和收纳多个接触探针的探针座(例如，参考专利文献1)。专利文献1所示那样的现有的探针座由三片板件层叠而成。在各个板件中分别形成有能够收纳接触探针的一部分的孔，并通过使各个板件的孔连通，来形成用于收纳各个接触探针的保持孔。该保持孔呈两端直径缩小的带台阶形状。在探针单元中，通过使接触探针卡止于保持孔的台阶部，来防止接触探针从探针座脱落。
2、通常，当输出/输入高频的电信号时，会产生称为插入损耗(insertion loss)的信号损耗。在探针单元中，为了高精度地进行高速操作，在所使用的频域中减小此插入损耗很重要。为了降低插入损耗，通过使用介电常数低的材料，例如聚四氟乙烯(ptfe)，来形成探针座，以调整特性阻抗。
3、另外，在使用ptfe制作探针座时，由于ptfe为较软的材料，通过由较硬的材料，例如聚醚醚酮(peek)构成的两个第二板件将由该ptfe构成的第一板件夹在中间，来提高探针座的强度。
4、专利文献1：日本特开2018-36129号公报
技术实现思路
1、然而，由于ptfe为较软的材料，所以在保持孔的加工时，该保持孔的形成位置有时产生偏离。因此，在将第一板件和第二板件组合而作为探针座时，在板件之间孔的位置产生偏离，可
2、本专利技术是有鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种能够抑制在高频时的损耗增大的探针座和探针单元。
3、为了解决上述问题，以达成目的，本专利技术涉及的探针座，其保持分别在长度方向上的两端部与接触对象的电极接触的接触探针，具备：第一层叠部件，其由多个部件层叠而成；以及第二层叠部件，其由多个部件层叠而成，并与所述第一层叠部件接合，所述第一层叠部件和所述第二层叠部件分别具有：第一部件，其由介电常数低的材料构成；第二部件，其设置在所述第一部件的一个表面上，并具有比该第一部件高的硬质性；以及第三部件，其设置在所述第一部件的另一个表面上，并具有比该第一部件高的硬质性，所述探针座由将所述第一层叠部件及所述第二层叠部件的所述第三部件彼此接合而构成，所述探针座形成有保持孔，所述保持孔在所述第一层叠部件和所述第二层叠部件的层叠方向上贯穿，并且所述保持孔的所述第二部件侧呈直径缩小的带台阶孔状。
4、此外，本专利技术涉及的探针座在上述专利技术中，具有：沉孔部，其在所述第二部件和/或所述第三部件中，由形成在所述保持孔的周围的贯穿孔来形成中空空间。
5、此外，本专利技术涉及的探针座在上述专利技术中，所述沉孔部具有：第一沉孔部，其由形成在所述第一层叠部件的所述第二部件上的贯穿孔来形成中空空间；第二沉孔部，其由形成在所述第二层叠部件的所述第二部件上的贯穿孔来形成中空空间；以及第三沉孔部，其由分别形成在所述第一层叠部件及所述第二层叠部件的所述第三部件上的贯穿孔来形成中空空间。
6、此外，本专利技术涉及的探针座在上述专利技术中，所述沉孔部以所述第一部件的表面作为底面。
7、此外，本专利技术涉及的探针单元，具备：接触探针，其分别在长度方向上的两端部与接触对象的电极接触；以及探针座，其具备绝缘性的主体部，所述主体部保持所述接触探针，所述探针座具备：第一层叠部件，其由多个部件层叠而成；以及第二层叠部件，其由多个部件层叠而成，并与所述第一层叠部件接合，所述第一层叠部件和所述第二层叠部件分别具有：第一部件，其由介电常数低的材料构成；第二部件，其设置在所述第一部件的一个表面上，并具有比该第一部件高的硬质性；以及第三部件，其设置在所述第一部件的另一个表面上，并具有比该第一部件高的硬质性，所述探针座由将所述第一层叠部件及所述第二层叠部件的所述第三部件彼此接合而构成，所述探针座形成有保持孔，所述保持孔在所述第一层叠部件和所述第二层叠部件的层叠方向上贯穿，并且所述保持孔的所述第二部件侧呈直径缩小的带台阶孔状。
8、根据本专利技术，能够起到可抑制在高频时的损耗增大的效果。
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1.一种探针座，其保持分别在长度方向上的两端部与接触对象的电极接触的接触探针，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的探针座，其特征在于，具有：
3.根据权利要求2所述的探针座，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的探针座，其特征在于：
5.一种探针单元，其特征在于，具备：
【技术特征摘要】
1.一种探针座，其保持分别在长度方向上的两端部与接触对象的电极接触的接触探针，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的探针座，其特征在于，具有：
【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤修，相马一也，荒井肇，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：
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