探针座和探针单元制造技术

本发明专利技术的探针座保持分别在长度方向上的两端部与接触对象的电极接触的接触探针，具备：第一层叠部件，其由多个部件层叠而成；以及第二层叠部件，其由多个部件层叠而成，并与第一层叠部件接合，第一层叠部件和第二层叠部件分别具有：第一部件，其由介电常数低的材料构成；第二部件，其设置在第一部件的一个表面上，并具有比该第一部件高的硬质性；以及第三部件，其设置在第一部件的另一个表面上，并具有比该第一部件高的硬质性，探针座将第一层叠部件及第二层叠部件的第三部件彼此接合而成，形成有保持孔，其在第一层叠部件和第二层叠部件的层叠方向上贯穿，并第二部件侧呈直径缩小的带台阶孔状。该探针座能够抑制在高频时的损耗增大。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及探针座和探针单元。

技术介绍

1、传统上，当在对半导体集成电路或液晶面板等检测对象进行导通状态检测或操作特性检测时，为了使检测对象与用来输出检测用信号的信号处理装置之间电连接，使用探针单元，该探针单元具备：多个接触探针和收纳多个接触探针的探针座(例如，参考专利文献1)。专利文献1所示那样的现有的探针座由三片板件层叠而成。在各个板件中分别形成有能够收纳接触探针的一部分的孔，并通过使各个板件的孔连通，来形成用于收纳各个接触探针的保持孔。该保持孔呈两端直径缩小的带台阶形状。在探针单元中，通过使接触探针卡止于保持孔的台阶部，来防止接触探针从探针座脱落。

2、通常，当输出/输入高频的电信号时，会产生称为插入损耗(insertion loss)的信号损耗。在探针单元中，为了高精度地进行高速操作，在所使用的频域中减小此插入损耗很重要。为了降低插入损耗，通过使用介电常数低的材料，例如聚四氟乙烯(ptfe)，来形成探针座，以调整特性阻抗。

3、另外，在使用ptfe制作探针座时，由于ptfe为较软的材料，通过由较硬的材料，例如聚醚醚酮(p本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针座，其保持分别在长度方向上的两端部与接触对象的电极接触的接触探针，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的探针座，其特征在于，具有：

3.根据权利要求2所述的探针座，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的探针座，其特征在于：

5.一种探针单元，其特征在于，具备：

【技术特征摘要】

1.一种探针座，其保持分别在长度方向上的两端部与接触对象的电极接触的接触探针，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的探针座，其特征在于，具有：

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤修，相马一也，荒井肇，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：