【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于在工作平面上产生限定的激光照射的设备，该设备具有：激光源，该激光源设置用于产生具有第一角谱(winkelspektrum)的原始激光射束；以及光学组件，该光学组件接收原始激光射束并且将其沿光轴改形(umformen)成照射射束，其中照射射束限定与工作平面相交的射束方向，其中光学组件具有至少两个微透镜阵列，该至少两个微透镜阵列沿光轴以彼此相距限定间距的方式布置，并且其中限定间距被选择成使得照射射束在工作平面的区域中具有照射射束轮廓，该照射射束轮廓包含多个分开的照射点。
技术介绍
1、在de 10 2018 211 972 b4中公开了这样的设备。
2、通常需要工作平面上的限定的激光照射来加工工件。工件例如可以是用作载体的玻璃板上的塑料材料。塑料材料例如可以是在其上制造有机发光二极管(所谓的oled)和/或薄膜晶体管的薄膜。oled薄膜越来越多地用于智能手机、平板电脑、电视机和其他带屏幕显示器的设备中的显示器。在制造电子结构之后必须将薄膜从玻璃载体上剥离。这可以有利地利用激光照射来实现，激光照射以限定的速度...
【技术保护点】
1.一种用于在工作平面(50)上产生限定的激光照射的设备，所述设备具有：激光源(12)，所述激光源设置用于产生具有第一角谱(26)的原始激光射束(14)；以及光学组件(64)，所述光学组件接收所述原始激光射束(14)并且沿光轴(20)将所述原始激光射束改形成照射射束(48)，其中，所述照射射束(48)限定与所述工作平面(50)相交的射束方向(52)，其中，所述光学组件(64)具有至少两个微透镜阵列(38，40)，所述至少两个微透镜阵列沿所述光轴(20)以彼此相距限定间距(42)的方式布置，其中，所述限定间距(42)被选择成使得所述照射射束(48)在所述工作平面(50)...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于在工作平面(50)上产生限定的激光照射的设备，所述设备具有：激光源(12)，所述激光源设置用于产生具有第一角谱(26)的原始激光射束(14)；以及光学组件(64)，所述光学组件接收所述原始激光射束(14)并且沿光轴(20)将所述原始激光射束改形成照射射束(48)，其中，所述照射射束(48)限定与所述工作平面(50)相交的射束方向(52)，其中，所述光学组件(64)具有至少两个微透镜阵列(38，40)，所述至少两个微透镜阵列沿所述光轴(20)以彼此相距限定间距(42)的方式布置，其中，所述限定间距(42)被选择成使得所述照射射束(48)在所述工作平面(50)的区域中具有照射射束轮廓(47)，所述照射射束轮廓包含多个分开的照射点(46)，其特征在于，所述光学组件(64)还具有射束成形元件(24；60)，所述射束成形元件沿所述光轴(20)布置在所述至少两个微透镜阵列(38，40)之前，其中，所述射束成形元件(24；60)产生与所述第一角谱(26)不同的第二角谱(32)。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第二角谱(32)具有顶帽状的强度轮廓。
3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述第一角谱(26)在垂直于所述光轴(20)的平面(28)上具有第一足迹(30)，所述第二角谱(32)在垂直于所述光轴(20)的另一平面(34)上具有与所述第一足迹(30)不同的第二足迹(36)。
4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述第二足迹(36)是多边形的。
5.根据权利要求1至4之一所述的设备，其特征在于，所述光学组件(64)具有调节机构(44)，利用所述调节机构能够沿所述光轴(20)调节所述至少两个微透镜阵列(38，40)中的至少一...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·海梅斯，D·弗拉姆，
申请(专利权)人：通快激光与系统工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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