【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微电子机械系统和微惯性测量，特别是一种小频差mems陀螺仪检测相移抑制系统。
技术介绍
1、mems陀螺仪是一种基于哥氏原理，使用mems工艺加工而成的角速度传感器，具有体积小、重量轻、低成本、低功耗、可批量生产的特点，在消费类电子、智慧城市、工业控制、航空航天等领域获得了广泛应用，0.1～1°/h零偏稳定性的mems陀螺仪市场前景巨大。缩小频差是提高机械灵敏度的有效手段，但小频差下检测谐振器的相移不理想，导致正交泄露，恶化零位噪声，制约mems陀螺仪精度的提高。
2、mems陀螺仪受工艺水平限制，存在梳齿不规则、支撑梁不对称等加工误差，由此产生正交耦合误差，与有用信号成90°相位，其可达10～1000°/s，且易受环境温度干扰。当前，mems陀螺仪量程约为±400°/s，正交耦合误差的存在严重影响陀螺仪的量程与零位输出，必须采取有效手段进行校正。相敏解调是抑制正交误差的常用手段，其利用正交误差与有用信号成90°的相位关系滤除正交信号，但需要保证驱动模态和检测模态的严格相位关系。模态分离式mems陀螺仪在100...
【技术保护点】
1.一种小频差MEMS陀螺仪检测相移抑制系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的小频差MEMS陀螺仪检测相移抑制系统，其特征在于，所述驱动环路包括：
3.根据权利要求1所述的小频差MEMS陀螺仪检测相移抑制系统，其特征在于，所述参量抑制环路包括：
4.根据权利要求1所述的小频差MEMS陀螺仪检测相移抑制系统，其特征在于，所述角速度解调模块包括：
5.根据权利要求2所述的小频差MEMS陀螺仪检测相移抑制系统，其特征在于，所述驱动接口电路包括：
6.根据权利要求3所述的小频差MEMS陀螺仪检测相移抑制系...
【技术特征摘要】
1.一种小频差mems陀螺仪检测相移抑制系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的小频差mems陀螺仪检测相移抑制系统，其特征在于，所述驱动环路包括：
3.根据权利要求1所述的小频差mems陀螺仪检测相移抑制系统，其特征在于，所述参量抑制环路包括：
4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵阳，杨翔岚，施芹，黄锦阳，夏国明，裘安萍，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：
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