磁检测装置、磁传感器以及磁检测方法制造方法及图纸

技术编号：40057247 阅读：9 留言：0更新日期：2024-01-16 22:08

对2个轴方向的磁场进行检测。本发明专利技术所涉及的磁检测装置(1)具有磁传感器(20)以及测定装置(10)。磁传感器(20)具有第1传送线路(21)以及第2传送线路(22)，第1传送线路(21)及第2传送线路(22)非平行地配置。测定装置(10)具有：信号发生器(11)，其生成第1入射波及第2入射波；信号检波器(12)，其对因第1传送线路(21)的阻抗不匹配而产生的第1反射波、以及因第2传送线路22的阻抗不匹配而产生的第2反射波进行检波；以及控制部(13)。控制部(13)基于第1入射波及第1反射波对第1磁场进行计算，基于第2入射波及第2反射波对第2磁场进行计算，基于第1磁场及第2磁场对2个轴方向的磁场进行计算。

全部详细技术资料下载

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及磁检测装置、磁传感器以及磁检测方法。

技术介绍

1、当前，已知能够检测磁场的磁检测装置。在磁检测装置中存在各种结构的装置。

2、已知使对磁场进行检测的磁传感器形成为线状结构的磁检测装置(例如专利文献1及专利文献2)。

3、线状的磁传感器的柔软性较高，因此具有能够与测定对象相应地自由设置磁传感器的优点。另外，具有如下优点，即，如果利用线状的磁传感器，则能够在线状的磁传感器的任意位置处检测磁场。

4、专利文献1：日本特开2020-60565号公报

5、专利文献2：日本特开2021-162456号公报

技术实现思路

1、专利文献1及2所记载的磁检测装置检测的磁场是沿着线状的磁传感器的长边方向的方向的磁场。即，专利文献1及2所记载的磁检测装置能够检测1个轴方向的磁场。

2、关于利用线状的磁传感器的磁检测装置，优选不仅能够对1个轴方向的磁场进行检测，还能够对2个轴方向的磁场进行检测。

3、因此，本专利技术的目的在于提供能够对2个轴方向的磁场进行检测的磁检测装置、磁传感器以及磁检测方法。

4、几个实施方式所涉及的磁检测装置具有磁传感器以及测定装置，所述磁传感器具有：第1传送线路，其包含含有磁性材料的线状的第1导体；以及第2传送线路，其包含含有磁性材料的线状的第2导体，所述第1传送线路及所述第2传送线路非平行地配置，所述测定装置具有：信号发生器，其生成输入至所述第1传送线路的第1入射波以及输入至所述

5、关于一个实施方式所涉及的磁检测装置，可以构成为，所述磁传感器具有：并联连接的多个所述第1传送线路，它们彼此平行地配置；以及并联连接的多个所述第2传送线路，它们彼此平行地配置，多个所述第1传送线路及多个所述第2传送线路非平行地配置。由此，能够减小电阻损失。

6、关于一个实施方式所涉及的磁检测装置，可以构成为，所述第1传送线路及所述第2传送线路为同轴线缆、平行双线路、条带线路、微带线路、共面线路以及波导管中的任一种。这样，将第1传送线路及第2传送线路设为同轴线缆而能够使得第1传送线路及第2传送线路具有柔软性。另外，在柔性基板构成平行双线路、条带线路、微带线路、共面线路或者波导管而能够使第1传送线路及第2传送线路具有柔软性。

7、关于一个实施方式所涉及的磁检测装置，可以构成为，所述第1传送线路包含多个所述第1导体，多个所述第1导体由至少1个非磁性材料的导体连接，所述第1传送线路为锯齿状的形状，所述第2传送线路包含多个所述第2导体，多个所述第2导体由至少1个非磁性材料的导体连接，所述第2传送线路为锯齿状的形状，多个所述第1导体及多个所述第2导体非平行地配置。由此，不会使磁传感器的短边方向的长度增大，另外，不会使磁场的短边方向的灵敏度降低，能够在长边方向上扩大磁传感器能够检测磁场的范围。

8、关于一个实施方式所涉及的磁检测装置，可以构成为，多个所述第1导体中的相邻的2个第1导体具有在所述磁传感器的长边方向上重叠的区域，多个所述第2导体中的相邻的2个第2导体具有在所述磁传感器的长边方向上重叠的区域。由此，能够防止存在相对于外部磁场而灵敏度有可能降低的区域。

9、关于一个实施方式所涉及的磁检测装置，可以构成为，还具有对所述第1传送线路及所述第2传送线路施加偏置磁场的线圈。由此，能够在表现出较高的线性、较小的迟滞以及较高的灵敏度的动作点对第1磁场及第2磁场进行计算。

10、几个实施方式所涉及的磁传感器具有：第1传送线路，其包含含有磁性材料的线状的第1导体；以及第2传送线路，其包含含有磁性材料的线状的第2导体，所述第1传送线路及所述第2传送线路非平行地配置。根据这种磁传感器，能够对2个轴方向的磁场进行检测。

11、几个实施方式所涉及的磁检测方法是具有磁传感器以及测定装置的磁检测装置的磁检测方法，所述磁传感器具有：第1传送线路，其包含含有磁性材料的线状的第1导体；以及第2传送线路，其包含含有磁性材料的线状的第2导体，所述第1传送线路及所述第2传送线路非平行地配置，所述磁检测方法包含如下步骤：所述测定装置生成输入至所述第1传送线路的第1入射波以及输入至所述第2传送线路的第2入射波的步骤；对在针对所述磁传感器的磁场施加位置处因所述第1传送线路的阻抗不匹配而产生的第1反射波、以及在所述磁场施加位置处因所述第2传送线路的阻抗不匹配而产生的第2反射波进行检波的步骤；基于所述第1入射波及所述第1反射波，对所述磁场施加位置的沿着所述第1传送线路的方向的第1磁场进行计算的步骤；基于所述第2入射波及所述第2反射波，对所述磁场施加位置的沿着所述第2传送线路的方向的第2磁场进行计算的步骤；以及基于所述第1磁场及所述第2磁场，对2个轴方向的磁场进行计算的步骤。根据这种磁检测方法，能够对2个轴方向的磁场进行检测。

12、专利技术的效果

13、根据本专利技术，能够提供能够对2个轴方向的磁场进行检测的磁检测装置、磁传感器以及磁检测方法。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种磁检测装置，其具有磁传感器以及测定装置，其中，

2.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

3.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

4.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

5.根据权利要求4所述的磁检测装置，其中，

6.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

7.一种磁传感器，其中，

8.一种磁检测方法，其是具有磁传感器以及测定装置的磁检测装置的磁检测方法，其中，

【技术特征摘要】

1.一种磁检测装置，其具有磁传感器以及测定装置，其中，

2.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

3.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

4.根据权利要求1所述的磁检测装置，其中，

【专利技术属性】
技术研发人员：竹中一马，野口直记，
申请(专利权)人：横河电机株式会社，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人