【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路检测，具体为一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置。
技术介绍
1、集成电路是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。而集成电路在生产过程中均要进行检测，其检测包括性能检测和外观检测，外观检测的项目包括会造成集成电路性能问题的划痕、凹陷的缺陷，随着机器视觉检测的高速发展，视觉检测也广泛应用在集成电路板的外观检测中，代替了传统人工检测的方式，具有检测精确高与检测效率快的优点，机器视觉检测：通过工业相机对待检产品进行拍摄，拍摄的图片进行图像处理后与标准图片对比，从而判断是否存在缺陷，机器视觉检测技术在表面缺陷检测方面越来越成熟，但配套的检测设备并不完善，首先，集成电路板上集成有晶体管、电阻、电容等元件，目前的视觉检测只能整体采集集成电路板的图像，判断集成电路板的缺陷，但无法更精细的对晶体管、电阻、电容等精密的元件进行表面缺陷检测，存在较大的检测误差；其次，现有的检测设备不能一次性对集成电路的双面进行检测，在单面检测后，需要经过人工翻面后重新进入检测设备中进行另一面的缺陷检测，为保证检测效率，需要一批集成电路板单面检测完毕后，再统一对此批集成电路板的另一面进行检测，但此方式增加了集成电路板的裸露时间以及输送路径，增加了集成电路板刮花或损伤的风险。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术
2、本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，包括检测工作台，所述检测工作台上设置有双面翻转检测机构和矩阵式视觉检测机构，所述双面翻转检测机构包括左翻转板、右翻转板、双向螺纹丝杠和皮带传送组件，所述检测工作台上固定有两组安装支板，两组所述安装支板沿着垂直于集成电路的输送方向间隔设置，所述双向螺纹丝杠的两端分别转动连接两组所述安装支板，所述左翻转板与右翻转板分别螺纹套设在所述双向螺纹丝杠的两个螺纹旋向相反的螺纹段上，所述左翻转板靠近所述右翻转板的端面以及所述右翻转板靠近所述左翻转板的端面均设置有所述皮带传送组件，所述皮带传送组件位于所述双向螺纹丝杠的上方，所述皮带传送组件包括上传送带机构与下传送带机构，所述上传送带机构与下传送带机构沿着所述左翻转板的高度方向间隔设置；
3、所述矩阵式视觉检测机构包括中空检测箱和检测板，所述中空检测箱具有沿所述检测工作台高度方向移动的自由度，所述检测板固定在所述中空检测箱内，所述检测板的底部安装有多个视觉相机头，多个所述视觉相机头成矩形阵列设置。
4、在一些实施例中，所述双面翻转检测机构还包括翻转切换机构，所述翻转切换机构包括旋转限位板和限位锥，所述旋转限位板螺纹套装在所述双向螺纹丝杠上，所述旋转限位板的底部接触设置所述检测工作台的顶面，所述左翻转板位于所述旋转限位板与右翻转板之间，所述旋转限位板靠近所述左翻转板的端面滑动穿设有所述限位锥，所述限位锥沿着所述双向螺纹丝杠的轴向移动，所述左翻转板靠近所述旋转限位板的端面左右对称设置有锥形孔，所述左翻转板通过伸缩杆连接所述右翻转板，当所述限位锥适配在其中一所述锥形孔内时，所述双面翻转检测机构处于水平状态。
5、在一些实施例中，所述旋转限位板沿远离所述左翻转板的方向依次开设有小直径孔和大直径孔，所述限位锥滑动适配在所述小直径孔内，所述旋转限位板远离所述左翻转板的一侧设置有驱动盘，所述限位锥的一端固定连接所述驱动盘，所述大直径孔内设置有弹簧，所述弹簧套设在所述限位锥上，所述弹簧的一端连接在所述小直径孔与大直径孔形成的台阶上，所述弹簧的另一端连接所述驱动盘，所述旋转限位板上设置有推动气缸，所述驱动盘靠近所述旋转限位板的一端位于所述推动气缸的伸缩路径上，所述左翻转板与右翻转板上固定有摩擦环，所述摩擦环的内固定有弹性摩擦套，所述弹性摩擦套通过自身形变过盈套装在所述双向螺纹丝杠上。
6、在一些实施例中，所述双面翻转检测机构的一侧设置有驱动机构，所述驱动机构包括电机座和电机，所述电机座固定安装在所述检测工作台上，所述电机安装在所述电机座上，所述电机的输出轴传动连接所述双向螺纹丝杠的一端。
7、在一些实施例中，所述检测工作台上设置有顶升定位机构，所述顶升定位机构位于所述中空检测箱的正下方，所述顶升定位机构包括顶升柱和顶升板，所述检测工作台上开设有顶升窗口，所述检测工作台的下方竖直设置有第一气缸，所述顶升柱活动穿过所述顶升窗口连接所述第一气缸的伸缩轴，所述顶升板球形铰接在所述顶升柱的顶部，所述顶升板的下方设置有第二气缸，所述第二气缸的底座铰接在所述顶升柱的侧壁上，所述第二气缸的伸缩轴铰接在所述顶升板的一角位置，所述顶升柱上设置有小型激振器。
8、在一些实施例中，所述顶升板内设置有负压腔，所述顶升板的上表面开设有若干负压小孔，所述负压小孔与所述负压腔相通，所述顶升板通过负压管连接负压泵，所述负压管连通所述负压腔。
9、在一些实施例中，所述下传送带机构包括转动设置的第一皮带轮、第二皮带轮和第一张紧轮，所述第一皮带轮与第二皮带轮沿着集成电路的输送方向间隔设置，第一环形皮带套装在所述第一皮带轮、第二皮带轮和第一张紧轮上，所述左翻转板上的第一皮带轮通过第一伸缩轴连接所述右翻转板上的第一皮带轮，所述左翻转板上的第二皮带轮通过第二伸缩轴连接所述右翻转板上的第二皮带轮，所述第一皮带轮的轴传动连接第一电机的输出轴。
10、在一些实施例中，所述上传送带机构包括转动设置的第三皮带轮和第四皮带轮，所述第三皮带轮与第四皮带轮沿着集成电路的输送方向间隔设置，第二环形皮带套装在所述第三皮带轮与第四皮带轮上，所述左翻转板上的第三皮带轮通过第三伸缩轴连接所述右翻转板上的第三皮带轮，所述左翻转板上的第四皮带轮通过第四伸缩轴连接所述右翻转板上的第四皮带轮，所述第三皮带轮与第四皮带轮之间沿集成电路的输送方向对称设置有两组张紧机构，所述张紧机构包括张紧滑块、张紧轮和第三气缸，所述张紧滑块沿着所述检测工作台的高度方向滑动设置，所述张紧轮转动设置在所述张紧滑块上，所述第二环形皮带从所述张紧轮的底部绕过，所述第三气缸的伸缩轴连接所述张紧滑块。
11、在一些实施例中，所述双面翻转检测机构的两端分别设置有送料传送带与出料传送带，所述送料传送带的输入端以及出料传送带的输出端均设置有电路板上下料机构，所述电路板上下料机构包括第一旋转电机、第二旋转电机和负压上料管，所述第一旋转电机与第二旋转电机沿着垂直于集成电路的输送方向间隔设置，所述第一旋转电机的输出轴与第二旋转电机的输出轴分别连接有第一旋转座和第二旋转座，所述第一旋转座的侧壁与第二旋转座的侧壁分别固定有第一旋转臂和第二旋转臂，所述第一旋转臂远离所述第一旋转座的一端铰接有第一执行臂，所述第一执行臂远离所述第一旋转臂的一端铰接在本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，包括检测工作台（1），所述检测工作台（1）上设置有双面翻转检测机构（2）和矩阵式视觉检测机构（3），所述双面翻转检测机构（2）包括左翻转板（4）、右翻转板（5）、双向螺纹丝杠（6）和皮带传送组件，所述检测工作台（1）上固定有两组安装支板（7），两组所述安装支板（7）沿着垂直于集成电路的输送方向间隔设置，所述双向螺纹丝杠（6）的两端分别转动连接两组所述安装支板（7），所述左翻转板（4）与右翻转板（5）分别螺纹套设在所述双向螺纹丝杠（6）的两个螺纹旋向相反的螺纹段上，所述左翻转板（4）靠近所述右翻转板（5）的端面以及所述右翻转板（5）靠近所述左翻转板（4）的端面均设置有所述皮带传送组件，所述皮带传送组件位于所述双向螺纹丝杠（6）的上方，所述皮带传送组件包括上传送带机构与下传送带机构，所述上传送带机构与下传送带机构沿着所述左翻转板（4）的高度方向间隔设置；
2.根据权利要求1所述的一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，所述双面翻转检测机构（2）还包括翻转切换机构，所述翻转切换机构包括旋
3.根据权利要求2所述的一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，所述旋转限位板（11）沿远离所述左翻转板（4）的方向依次开设有小直径孔（15）和大直径孔（16），所述限位锥（12）滑动适配在所述小直径孔（15）内，所述旋转限位板（11）远离所述左翻转板（4）的一侧设置有驱动盘（17），所述限位锥（12）的一端固定连接所述驱动盘（17），所述大直径孔（16）内设置有弹簧（18），所述弹簧（18）套设在所述限位锥（12）上，所述弹簧（18）的一端连接在所述小直径孔（15）与大直径孔（16）形成的台阶上，所述弹簧（18）的另一端连接所述驱动盘（17），所述旋转限位板（11）上设置有推动气缸（19），所述驱动盘（17）靠近所述旋转限位板（11）的一端位于所述推动气缸（19）的伸缩路径上，所述左翻转板（4）与右翻转板（5）上固定有摩擦环（20），所述摩擦环（20）的内固定有弹性摩擦套，所述弹性摩擦套通过自身形变过盈套装在所述双向螺纹丝杠（6）上。
4.根据权利要求3所述的一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，所述双面翻转检测机构（2）的一侧设置有驱动机构，所述驱动机构包括电机座（21）和电机（22），所述电机座（21）固定安装在所述检测工作台（1）上，所述电机（22）安装在所述电机座（21）上，所述电机（22）的输出轴传动连接所述双向螺纹丝杠（6）的一端。
5.根据权利要求1所述的一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，所述检测工作台（1）上设置有顶升定位机构，所述顶升定位机构位于所述中空检测箱（8）的正下方，所述顶升定位机构包括顶升柱（30）和顶升板（31），所述检测工作台（1）上开设有顶升窗口，所述检测工作台（1）的下方竖直设置有第一气缸（32），所述顶升柱（30）活动穿过所述顶升窗口连接所述第一气缸（32）的伸缩轴，所述顶升板（31）球形铰接在所述顶升柱（30）的顶部，所述顶升板（31）的下方设置有第二气缸（33），所述第二气缸（33）的底座铰接在所述顶升柱（30）的侧壁上，所述第二气缸（33）的伸缩轴铰接在所述顶升板（31）的一角位置，所述顶升柱（30）上设置有小型激振器（34）。
6.根据权利要求5所述的一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，所述顶升板（31）内设置有负压腔，所述顶升板（31）的上表面开设有若干负压小孔（35），所述负压小孔（35）与所述负压腔相通，所述顶升板（31）通过负压管（36）连接负压泵，所述负压管（36）连通所述负压腔。
7.根据权利要求1所述的一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，所述下传送带机构包括转动设置的第一皮带轮（37）、第二皮带轮（38）和第一张紧轮（...
【技术特征摘要】
1.一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，包括检测工作台（1），所述检测工作台（1）上设置有双面翻转检测机构（2）和矩阵式视觉检测机构（3），所述双面翻转检测机构（2）包括左翻转板（4）、右翻转板（5）、双向螺纹丝杠（6）和皮带传送组件，所述检测工作台（1）上固定有两组安装支板（7），两组所述安装支板（7）沿着垂直于集成电路的输送方向间隔设置，所述双向螺纹丝杠（6）的两端分别转动连接两组所述安装支板（7），所述左翻转板（4）与右翻转板（5）分别螺纹套设在所述双向螺纹丝杠（6）的两个螺纹旋向相反的螺纹段上，所述左翻转板（4）靠近所述右翻转板（5）的端面以及所述右翻转板（5）靠近所述左翻转板（4）的端面均设置有所述皮带传送组件，所述皮带传送组件位于所述双向螺纹丝杠（6）的上方，所述皮带传送组件包括上传送带机构与下传送带机构，所述上传送带机构与下传送带机构沿着所述左翻转板（4）的高度方向间隔设置；
2.根据权利要求1所述的一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，所述双面翻转检测机构（2）还包括翻转切换机构，所述翻转切换机构包括旋转限位板（11）和限位锥（12），所述旋转限位板（11）螺纹套装在所述双向螺纹丝杠（6）上，所述旋转限位板（11）的底部接触设置所述检测工作台（1）的顶面，所述左翻转板（4）位于所述旋转限位板（11）与右翻转板（5）之间，所述旋转限位板（11）靠近所述左翻转板（4）的端面滑动穿设有所述限位锥（12），所述限位锥（12）沿着所述双向螺纹丝杠（6）的轴向移动，所述左翻转板（4）靠近所述旋转限位板（11）的端面左右对称设置有锥形孔（13），所述左翻转板（4）通过伸缩杆（14）连接所述右翻转板（5），当所述限位锥（12）适配在其中一所述锥形孔（13）内时，所述双面翻转检测机构（2）处于水平状态。
3.根据权利要求2所述的一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，所述旋转限位板（11）沿远离所述左翻转板（4）的方向依次开设有小直径孔（15）和大直径孔（16），所述限位锥（12）滑动适配在所述小直径孔（15）内，所述旋转限位板（11）远离所述左翻转板（4）的一侧设置有驱动盘（17），所述限位锥（12）的一端固定连接所述驱动盘（17），所述大直径孔（16）内设置有弹簧（18），所述弹簧（18）套设在所述限位锥（12）上，所述弹簧（18）的一端连接在所述小直径孔（15）与大直径孔（16）形成的台阶上，所述弹簧（18）的另一端连接所述驱动盘（17），所述旋转限位板（11）上设置有推动气缸（19），所述驱动盘（17）靠近所述旋转限位板（11）的一端位于所述推动气缸（19）的伸缩路径上，所述左翻转板（4）与右翻转板（5）上固定有摩擦环（20），所述摩擦环（20）的内固定有弹性摩擦套，所述弹性摩擦套通过自身形变过盈套装在所述双向螺纹丝杠（6）上。
4.根据权利要求3所述的一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，所述双面翻转检测机构（2）的一侧设置有驱动机构，所述驱动机构包括电机座（21）和电机（22），所述电机座（21）固定安装在所述检测工作台（1）上，所述电机（22）安装在所述电机座（21）上，所述电机（22）的输出轴传动连接所述双向螺纹丝杠（6）的一端。
5.根据权利要求1所述的一种基于视觉检测的矩阵式集成电路表面缺陷检测装置，其特征在于，所述检测工作台（1）上设置有顶升定位机构，所述顶升定位机构位于所述中空检测箱（8）的正下方，所述顶升定位机构包括顶升柱（30）和顶升板（31），所述检测工作台（1）上开设有顶升窗口，所述检测工作台（1）的下方竖直设置有第一气缸（32），所述顶升柱（30）活动穿过所述顶升窗口连接所述第一气缸（32）的伸缩轴，所述顶升板（31）球形铰接在所述顶升柱（30）的顶部，所述顶升板（31...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓丹，王曦，颜鑫，
申请(专利权)人：四川弘智远大科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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