并联微型无阀压电泵制造技术

本技术公开了并联微型无阀压电泵，涉及压电泵领域，包括中间体，所述中间体设有至少两个通孔，所述通孔之间相互连通或不连通，所述通孔的一侧对应设有顶板组件，所述顶板组件为一体结构或分体结构，所述顶板组件对应所述通孔的位置设有压电元件和流入口；所述通孔的另一侧设有底板组件，所述底板组件为一体结构或分体结构，所述底板组件对应所述通孔的位置设有流出口，所述顶板组件、中间体、通孔和底板组件沿厚度方向夹持形成的空腔构成泵腔。本技术能够平衡所有连通的微泵流入口的压力以及连通的微泵之间流出口的压力；同时通过多个压电元件同步振动，多个泵腔进行同步的吸入和排出，提高单位时间内的流量变化。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及压电泵领域，特别是涉及并联微型无阀压电泵。

技术介绍

1、压电泵是利用周边固定的压电振子在交变电压驱动下，泵腔容积变化而在腔内外产生一定的压差，驱动流体产生流动，因此压电泵工作时泵腔容积变化的大小决定压电泵的输出能力。单腔体压电泵受单个振子驱动能力的限制，输送能力有限。

2、申请号为cn202210078740.1的中国专利公开了一种单腔三振子压电泵及驱动方法，其方案通过三个振子驱动可以极大增加压电振子变形产生的腔体容积变化量，提高输送能力。但是该方案只有一个流入口和流出口，泵腔吸入和排出的流量有限。

3、同时对于微型压电泵来说，随着泵腔数目的增加，如何平衡微泵流入口附近的压力，使得流入口各个微泵的压力相近，从而使得输出压力和流出速度相近，避免各个微泵之间流出压力和速度不平衡还没有相关的专利进行说明。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供并联微型无阀压电泵，以解决
技术介绍
中存在的问题。

2、本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：

3、并联微型无阀压电泵，包括中间体，所述中间体设有至少两个通孔，所述通孔之间相互连通或不连通，所述通孔的一侧对应设有顶板组件，所述顶板组件为一体结构或分体结构，所述顶板组件对应所述通孔的位置设有压电元件和流入口；所述通孔的另一侧设有底板组件，所述底板组件为一体结构或分体结构，所述底板组件对应所述通孔的位置设有流出口，所述顶板组件、中间体、通孔和底板组件沿厚度方向夹持形成的空腔构成泵腔。

<p>4、进一步地，所述通孔均匀阵列布置在所述中间体上，所述中间体上设有连通道，所述连通道为凹槽结构，所述流入口位于所述压电元件的外圈并与所述通孔连通，所述流出口位于所述通孔对应的所述底板组件的中央并与所述通孔连通。

5、进一步地，所述连通道位于每排相邻的两个通孔之间，每排相邻的两个所述通孔通过所述连通道连通。

6、进一步地，所述连通道位于每排和每列中相邻的两个所述通孔之间，每排和每列中相邻的两个所述通孔通过所述连通道连通。

7、进一步地，所述连通道位于两个呈对角布置的通孔之间，每个通孔都通过所述连通道与对角布置的连通道连通。

8、进一步地，所述底板组件上设有第二流入口，每个所述第二流入口位于交叉的两条所述连通道的底部，所述第二流入口与所述连通道连通。

9、进一步地，当所述顶板组件为一体结构时，所述顶板组件由一个顶板组成，所述顶板与所述中间体固定，所述顶板的尺寸与所述中间体的尺寸相适配；当所述底板组件为一体结构时，所述底板组件由一个底板组成，所述底板与所述中间体连接，所述底板的尺寸与所述中间体尺寸相适配。

10、进一步地，当所述顶板组件为分体结构时，所述顶板组件包括多个顶板，所述顶板的数量与所述通孔的数量相适配，每个所述顶板分别固定在一个所述通孔的上方；当所述底板组件为分体结构时，所述底板组件包括多个底板，所述底板的数量与所述通孔的数量相适配，每个底板分别固定在一个所述通孔的下方。

11、进一步地，当所述底板组件为分体结构时，所述底板组件包括第一底板和第二底板，所述第一底板与所述中间体连接，所述第二底板与所述第一底板连接并位于远离所述中间体的一侧，所述流出口位于所述第一底板上并对应所述通孔的中央布置，所述第二底板上设有连通槽，所述流出口被所述连通槽包围在内，所述第一底板、第二底板和连通槽沿厚度方向夹持形成的空腔构成连通腔，所述第二底板设有连通孔，所述连通孔位于所述连通槽内，所述连通孔为贯通孔。

12、进一步地，所述连通槽相互连通或不连通。

13、本技术的有益效果是：

14、1）通过连通道连通相邻的泵腔，能够平衡所有微泵流入口附近的压力，使得所有连通的微泵的压力相近，从而使得输出压力相近，保证所有连通的微泵之间流出压力平衡。

15、2）通过多个压电元件同步振动，通过多个泵腔进行同步的吸入和排出，提高单位时间内的流量变化。

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【技术保护点】

1.并联微型无阀压电泵，其特征在于：包括中间体，所述中间体设有至少两个通孔，所述通孔之间相互连通或不连通，所述通孔的一侧对应设有顶板组件，所述顶板组件为一体结构或分体结构，所述顶板组件对应所述通孔的位置设有压电元件和流入口；所述通孔的另一侧设有底板组件，所述底板组件为一体结构或分体结构，所述底板组件对应所述通孔的位置设有流出口，所述顶板组件、中间体、通孔和底板组件沿厚度方向夹持形成的空腔构成泵腔。

2.根据权利要求1所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述通孔均匀阵列布置在所述中间体上，所述中间体上设有连通道，所述连通道为凹槽结构，所述流入口位于所述压电元件的外圈并与所述通孔连通，所述流出口位于所述通孔对应的所述底板组件的中央并与所述通孔连通。

3.根据权利要求2所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述连通道位于每排相邻的两个通孔之间，每排相邻的两个所述通孔通过所述连通道连通。

4.根据权利要求2所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述连通道位于每排和每列中相邻的两个所述通孔之间，每排和每列中相邻的两个所述通孔通过所述连通道连通。

5.根据权利要求2所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述连通道位于两个呈对角布置的通孔之间，每个通孔都通过所述连通道与对角布置的连通道连通。

6.根据权利要求5所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述底板组件上设有第二流入口，每个所述第二流入口位于交叉的两条所述连通道的底部，所述第二流入口与所述连通道连通。

7.根据权利要求1所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：当所述顶板组件为一体结构时，所述顶板组件由一个顶板组成，所述顶板与所述中间体固定，所述顶板的尺寸与所述中间体的尺寸相适配；当所述底板组件为一体结构时，所述底板组件由一个底板组成，所述底板与所述中间体连接，所述底板的尺寸与所述中间体尺寸相适配。

8.根据权利要求1所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：当所述顶板组件为分体结构时，所述顶板组件包括多个顶板，所述顶板的数量与所述通孔的数量相适配，每个所述顶板分别固定在一个所述通孔的上方；当所述底板组件为分体结构时，所述底板组件包括多个底板，所述底板的数量与所述通孔的数量相适配，每个底板分别固定在一个所述通孔的下方。

9.根据权利要求1所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：当所述底板组件为分体结构时，所述底板组件包括第一底板和第二底板，所述第一底板与所述中间体连接，所述第二底板与所述第一底板连接并位于远离所述中间体的一侧，所述流出口位于所述第一底板上并对应所述通孔的中央布置，所述第二底板上设有连通槽，所述流出口被所述连通槽包围在内，所述第一底板、第二底板和连通槽沿厚度方向夹持形成的空腔构成连通腔，所述第二底板设有连通孔，所述连通孔位于所述连通槽内，所述连通孔为贯通孔。

10.根据权利要求9所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述连通槽相互连通或不连通。

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【技术特征摘要】

1.并联微型无阀压电泵，其特征在于：包括中间体，所述中间体设有至少两个通孔，所述通孔之间相互连通或不连通，所述通孔的一侧对应设有顶板组件，所述顶板组件为一体结构或分体结构，所述顶板组件对应所述通孔的位置设有压电元件和流入口；所述通孔的另一侧设有底板组件，所述底板组件为一体结构或分体结构，所述底板组件对应所述通孔的位置设有流出口，所述顶板组件、中间体、通孔和底板组件沿厚度方向夹持形成的空腔构成泵腔。

2.根据权利要求1所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述通孔均匀阵列布置在所述中间体上，所述中间体上设有连通道，所述连通道为凹槽结构，所述流入口位于所述压电元件的外圈并与所述通孔连通，所述流出口位于所述通孔对应的所述底板组件的中央并与所述通孔连通。

3.根据权利要求2所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述连通道位于每排相邻的两个通孔之间，每排相邻的两个所述通孔通过所述连通道连通。

4.根据权利要求2所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述连通道位于每排和每列中相邻的两个所述通孔之间，每排和每列中相邻的两个所述通孔通过所述连通道连通。

5.根据权利要求2所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述连通道位于两个呈对角布置的通孔之间，每个通孔都通过所述连通道与对角布置的连通道连通。

6.根据权利要求5所述的并联微型无阀压电泵，其特征在于：所述底板组件上设有第二流入口，每个所述第二流入口位于交叉的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张统宇，
申请(专利权)人：海豚乐智科技成都有限责任公司，
类型：新型
国别省市：