【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于气缸，具体为一种三位置气缸。
技术介绍
1、通常气缸只有开、关两个位置，在某些半导体行业的某些制程工艺中如封测、镀层等，有时需要系统长期保持在一定真空度。
2、现有技术中，例如公开号为：“cn218407987u”的专利技术专利：“一种气缸”中记载的技术方案，采用一种缓冲组件，设置在有杆腔内，包括缓冲活塞、缓冲垫和中空的缓冲筒。缓冲活塞位于缓冲筒面向无杆腔的一侧，缓冲活塞上开设有第三气孔，第二气孔与第三气孔之间通过软管连接。
3、现有技术中气缸只有开、关两个位置，在某些半导体行业的某些制程工艺中，有时需要系统长期保持在一定真空度，而现有技术中，存在缺少将系统长时间保持在一定真空度的装置的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种三位置气缸，以解决
技术介绍
中提出的，现有技术中，气缸只有开关两个位置，存在不能将系统长时间保持在一定真空度的问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案是：
3、一种三位置气缸，包括缸体、缸盖以及活塞；其中，缸体与缸盖固定连接，活塞滑动设置在缸体的内部；
4、缸体的内部设置有第一腔体和第二腔体；第一腔体和第二腔体之间设置有限位挡圈；活塞包括第一活塞和第二活塞；其中，第一活塞设置在第一腔体的内部，第二腔体设置在第二腔体的内部；
5、在腔体的侧壁上设置有气孔，气孔包括第一气孔、第二气孔、第三气孔和第四气孔；其中，第一气孔和第四气孔分别设置在缸体的两端；
6、根据上述技术方案，缸体包括第一缸体和第二缸体；第一缸体和第二缸体可拆卸连接；限位挡圈设置在第一缸体和第二缸体之间的位置。
7、根据上述技术方案，第一缸体上设置有第一气孔和第二气孔，第一气孔和第二气孔均与第一缸体连通；第二缸体上设置有第三和第四气孔，第三气孔和第四气孔均与第二缸体连通。
8、根据上述技术方案，第一活塞的端部设置有第一凸起，缸体的内部设置有与第一凸起配合的固定台；第二活塞的端部设置有第二凸起，第二凸起与限位挡圈配合。
9、根据上述技术方案，在缸盖的中部设置有安装孔，安装孔用于安装调节螺柱，调节螺柱延伸至第二活塞的内部，在调节螺柱上设置有调节螺母。
10、根据上述技术方案，在第二活塞的内部设置有滑动槽，调节螺柱的一端以及调节螺母设置在滑动槽的内部。
11、根据上述技术方案，调节螺母采用多边形螺母，滑动槽的内壁设置为与调节螺母对应的多边形凹槽。
12、根据上述技术方案，第二活塞的中部还设置有安装槽，安装槽用于安装固定端盖。
13、根据上述技术方案，在限位挡圈的侧壁上设置有密封组件，密封组件包括第一密封组件和第二密封组件；第一密封组件和第二密封组件分别用于缸体与第二活塞的密封。
14、根据上述技术方案，第一密封组件包括第一密封槽和第一密封圈；第一密封槽设置在限位挡圈靠近缸体的一侧，第一密封圈设置在第一密封槽的内部；
15、第二密封组件包括第二密封槽和第二密封圈；第二密封槽设置在限位挡圈的内壁上，第二密封圈设置在第二密封槽的内部。
16、与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
17、在本专利技术中，通过在缸体的内部设置第一腔体和第二腔体，并在第一腔体的内部设置第一活塞，在第二腔体的内部设置第二活塞，通过第一气孔和第二气孔推动第一活塞运动，使得第一活塞带动系统开启或者关闭。通过第三气孔和第四气孔带动第二活塞运动，使得第二活塞对第一活塞形成阻挡，并通过气孔持续的通入压缩空气，使得第一活塞固定，从而保持系统内的真空度。
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1.一种三位置气缸，其特征在于：包括缸体(100)、缸盖(200)以及活塞；其中，缸体(100)与缸盖(200)固定连接，活塞滑动设置在缸体(100)的内部；
2.根据权利要求1所述的一种三位置气缸，其特征在于：缸体(100)包括第一缸体(112)和第二缸体(113)；第一缸体(112)和第二缸体(113)可拆卸连接；限位挡圈(500)设置在第一缸体(112)和第二缸体(113)之间的位置。
3.根据权利要求2所述的一种三位置气缸，其特征在于：第一缸体(112)上设置有第一气孔(800)和第二气孔(900)，第一气孔(800)和第二气孔(900)均与第一缸体(112)连通；第二缸体(113)上设置有第三和第四气孔(111)，第三气孔(110)和第四气孔(111)均与第二缸体(113)连通。
4.根据权利要求1所述的一种三位置气缸，其特征在于：第一活塞(600)的端部设置有第一凸起(114)，缸体(100)的内部设置有与第一凸起(114)配合的固定台(115)；第二活塞(700)的端部设置有第二凸起(116)，第二凸起(116)与限位挡圈(500
5.根据权利要求1所述的一种三位置气缸，其特征在于：在缸盖(200)的中部设置有安装孔(117)，安装孔(117)用于安装调节螺柱(118)，调节螺柱(118)延伸至第二活塞(700)的内部，在调节螺柱(118)上设置有调节螺母(119)。
6.根据权利要求5所述的一种三位置气缸，其特征在于：在第二活塞(700)的内部设置有滑动槽(120)，调节螺柱(118)的一端以及调节螺母(119)设置在滑动槽(120)的内部。
7.根据权利要求6所述的一种三位置气缸，其特征在于：调节螺母(119)采用多边形螺母，滑动槽(120)的内壁设置为与调节螺母(119)对应的多边形凹槽。
8.根据权利要求1所述的一种三位置气缸，其特征在于：第二活塞(700)的中部还设置有安装槽，安装槽用于安装固定端盖(121)。
9.根据权利要求1所述的一种三位置气缸，其特征在于：在限位挡圈(500)的侧壁上设置有密封组件，密封组件包括第一密封组件和第二密封组件；第一密封组件和第二密封组件分别用于缸体(100)与第二活塞(700)的密封。
10.根据权利要求9所述的一种三位置气缸，其特征在于：第一密封组件包括第一密封槽和第一密封圈(122)；第一密封槽设置在限位挡圈(500)靠近缸体(100)的一侧，第一密封圈(122)设置在第一密封槽的内部；
...【技术特征摘要】
1.一种三位置气缸，其特征在于：包括缸体(100)、缸盖(200)以及活塞；其中，缸体(100)与缸盖(200)固定连接，活塞滑动设置在缸体(100)的内部；
2.根据权利要求1所述的一种三位置气缸，其特征在于：缸体(100)包括第一缸体(112)和第二缸体(113)；第一缸体(112)和第二缸体(113)可拆卸连接；限位挡圈(500)设置在第一缸体(112)和第二缸体(113)之间的位置。
3.根据权利要求2所述的一种三位置气缸，其特征在于：第一缸体(112)上设置有第一气孔(800)和第二气孔(900)，第一气孔(800)和第二气孔(900)均与第一缸体(112)连通；第二缸体(113)上设置有第三和第四气孔(111)，第三气孔(110)和第四气孔(111)均与第二缸体(113)连通。
4.根据权利要求1所述的一种三位置气缸，其特征在于：第一活塞(600)的端部设置有第一凸起(114)，缸体(100)的内部设置有与第一凸起(114)配合的固定台(115)；第二活塞(700)的端部设置有第二凸起(116)，第二凸起(116)与限位挡圈(500)配合。
5.根据权利要求1所述的一种三位置气缸，其特征在于：在缸盖(200)的中部设置有安装孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，孙围华，宋铠钰，
申请(专利权)人：四川九天真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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