一种单面钝化接触异质结电池及其制备方法技术

技术编号:40033882 阅读:21 留言:0更新日期:2024-01-16 18:40
本发明专利技术公开了一种单面钝化接触异质结电池及其制备方法,属于电池领域,以n型晶硅为基底,其正面依次设置正面本征非晶硅层、n型掺杂非晶硅层、正面透明导电层、正面金属电极;其背面依次设置隧穿介质层、p型掺杂多晶硅层、背面减反射层和穿透背面减反射层与p型掺杂多晶硅层接触的背面金属电极,背面金属电极与p型掺杂多晶硅层之间设置有金属导电层。本发明专利技术的有益效果是:背面采用隧穿介质层与p型掺杂多晶硅层,经高温退火激活形成背面PN结,避免了p型掺杂非晶硅掺杂效率低和p型掺杂微晶硅层制备成本高的问题;既能有效钝化电池背面,保证足够的能带弯曲,促进电子空穴的分离,又能提供良好的横向导电能力,省去了透明导电层的制备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电池领域,具体而言,涉及一种单面钝化接触异质结电池及其制备方法


技术介绍

1、目前,perc电池已接近理论极限效率,以topcon、hjt、xbc为代表的n型技术快速渗透。在n型光伏技术中,异质结(hjt)电池具有高效率、高可靠性、可双面发电、低温工艺制程、薄硅片应用、温度特性好、无lid与pid效应等优点,受到国内外众多光伏企业密切关注。

2、异质结(hjt)电池具备对称双面电池结构,中间为n型晶体硅。正面依次沉积本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜,从而形成p-n结。背面则依次沉积本征非晶硅薄膜和n型非晶硅薄膜,以形成背表面场。鉴于非晶硅的导电性比较差,因此在电池两侧沉积透明导电薄膜(tco)进行导电,最后采用丝网印刷技术形成双面电极。

3、现有技术中的异质结(hjt)电池,p型掺杂层为掺b的非晶硅(p)a-si:b:h,但是受掺杂量极限限制,使得p型掺杂层的掺杂效率较低,电池背面pn结的电场减弱,pn结对光生载流子的分离作用减弱,导致光生载流子的复合增加,最终造成电池效率较低。为克服p型非晶硅的缺点,行业正尝试采用p本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单面钝化接触异质结电池,其特征在于,以n型晶硅为基底,其正面依次设置正面本征非晶硅层、n型掺杂非晶硅层、正面透明导电层、正面金属电极;

2.根据权利要求1所述的一种单面钝化接触异质结电池,其特征在于,所述隧穿介质层为SiOx层,其厚度为1-2nm;所述p型掺杂多晶硅层厚度为100-200nm,掺杂浓度控制在1e20-1e21cm-3。

3.根据权利要求1所述的一种单面钝化接触异质结电池,其特征在于,所述金属导电层为Al、Ti、Ni或其合金中的一种或多种组合。

4.根据权利要求1所述的一种单面钝化接触异质结电池,其特征在于,所述背面金属电极采用的...

【技术特征摘要】

1.一种单面钝化接触异质结电池,其特征在于,以n型晶硅为基底,其正面依次设置正面本征非晶硅层、n型掺杂非晶硅层、正面透明导电层、正面金属电极;

2.根据权利要求1所述的一种单面钝化接触异质结电池,其特征在于,所述隧穿介质层为siox层,其厚度为1-2nm;所述p型掺杂多晶硅层厚度为100-200nm,掺杂浓度控制在1e20-1e21cm-3。

3.根据权利要求1所述的一种单面钝化接触异质结电池,其特征在于,所述金属导电层为al、ti、ni或其合金中的一种或多种组合。

4.根据权利要求1所述的一种单面钝化接触异质结电池,其特征在于,所述背面金属电极采用的浆料为含银、银包铜、银包铝、银包玻璃和银包石墨中一种的低温金属浆料。

5.根据权利要求1所述的一种单面钝化接触异质结电池,其特征在于,所述背面减反射层为sinx、sioxny、siox中的一种或多种组合,其厚度为70-150nm。

6.一种根据权利要求1-5任一项所述单面钝化接触异质结电池的制备方法,其特征在于,包括:

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【专利技术属性】
技术研发人员:毛卫平周晓炜金竹陈桂栋邓日尧杨阳潘利民
申请(专利权)人:滁州捷泰新能源科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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