【技术实现步骤摘要】
本申请涉及检测设备，尤其涉及一种元件转移系统及元件转移方法。
技术介绍
1、随着科学技术水平的发展，电子设备的复杂程度也逐渐增大，并且设备内部的电器元件也逐渐向微型化发展。通过减少电器元件的尺寸大小从而能够在有限空间内集成更多电器元件，以此提高使用体验。
2、而微型化的电器元件通常需要进行转移，但是现有的转移装置很难实现对电器元件的巨量转移。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种元件转移系统及元件转移方法，能够实现巨量转移。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种元件转移系统，元件转移系统包括供体基板、目标基板、元件拾取机构、转移机构、控制机构以及调平机构，供体基板上设置有待转移元件。元件拾取机构包括基底以及设置于基底靠近供体基板一侧的吸附功能层。供体基板、目标基板以及元件拾取机构中的至少一者设置于转移机构，转移机构被配置为能够调节元件拾取机构相对于供体基板以及目标基板之间的相对位置。
3、控制机构被配置为能够调节吸附功能层的环境条件，以改变吸附功能层对待转移元件的吸附能力。调平机构被配置为检测供体基板、目标基板以及元件拾取机构中至少两者之间的平面度关系。其中，控制机构与转移机构电连接设置，以实现待转移元件在供体基板、目标基板以及元件拾取机构中的转移。
4、在一些实施例中，转移机构包括运动载台，供体基板以及目标基板中的至少一者设置于运动载台上。其中，运动载台被配置为能够带动供体基板以及目标基板中的至少一者移动，以使其靠近或远离元件拾
5、在一些实施例中，运动载台具有空间平动自由度以及空间转动自由度，以调节供体基板以及目标基板中至少一者与元件拾取机构之间的距离以及平面度关系。
6、在一些实施例中，控制机构电连接于调平机构，控制机构被配置为接收调平机构传递的检测信息，并控制转移机构调节供体基板、目标基板以及元件拾取机构中至少两者之间的平面度关系。
7、在一些实施例中，元件转移系统还包括感应机构，感应机构用于感应元件拾取机构相对于供体基板与目标基板中至少一者之间的距离关系。
8、在一些实施例中，感应机构包括压力传感器、位置传感器、位移传感器以及测距传感器中的至少一者。
9、在一些实施例中，感应机构可以设置在元件拾取机构内；和/或，感应机构可以设置在元件拾取机构与转移机构之间；和/或，感应机构设置于供体基板与目标基板中至少一者与转移机构之间；和/或，感应机构设置于供体基板与目标基板中至少一者与元件拾取机构之间。
10、在一些实施例中，元件拾取机构还包括与控制结构电连接的调节单元，调节单元被配置为在控制机构的控制下，调节吸附功能层的环境条件。
11、第二方面，本申请实施例提供了一种元件转移方法，应用于控制机构，元件转移方法包括：
12、控制元件拾取机构靠近供体基板，元件拾取机构包括吸附功能层，供体基板上设置有待转移元件；
13、对供体基板与元件拾取机构进行调平处理；
14、调节吸附功能层的环境条件，以使吸附功能层拾取待转移元件；
15、控制元件拾取机构远离供体基板并靠近目标基板；
16、对目标基板与元件拾取机构进行调平处理；
17、调节吸附功能层的环境条件，以使吸附功能层中的待转移元件转移至目标基板。
18、本申请实施例提供一种元件转移系统及元件转移方法，元件转移系统集成了元件拾取机构以及移动机构。在此基础上，控制机构可以对元件拾取机构中吸附功能层的吸附能力进行控制，同时还可以借助移动机构实现对元件拾取机构相对于供体基板以及目标基板之间相对位置的控制，从而实现对整个元件转移过程的集中管控，有助于实现转移过程的智能协调，以此提高元件转移过程的效率。并且调平机构的设置可以提高元件转移的精度，以使元待转移元件可以高效精确的进行巨量转移。
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1.一种元件转移系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的元件转移系统，其特征在于，所述转移机构包括运动载台，所述供体基板以及所述目标基板中的至少一者设置于所述运动载台上；
3.根据权利要求2所述的元件转移系统，其特征在于，所述运动载台具有空间平动自由度以及空间转动自由度，以调节所述供体基板以及所述目标基板中的至少一者与所述元件拾取机构之间的距离以及角度平面度关系。
4.根据权利要求1所述的元件转移系统，其特征在于，所述控制机构电连接于所述调平机构，所述控制机构被配置为接收所述调平机构传递的检测信息，并控制所述转移机构调节所述供体基板、所述目标基板以及所述元件拾取机构中至少两者之间的平面度关系。
5.根据权利要求1所述的元件转移系统，其特征在于，还包括感应机构，所述感应机构用于感应所述元件拾取机构相对于所述供体基板与所述目标基板中至少一者之间的距离关系。
6.根据权利要求5所述的元件转移系统，其特征在于，所述感应机构包括压力传感器、位置传感器、位移传感器以及测距传感器中的至少一者。
7.根据权利要求5
8.根据权利要求1所述的元件转移系统，其特征在于，所述元件拾取机构还包括与所述控制机构电连接的调节单元，所述调节单元被配置为在所述控制机构的控制下，调节所述吸附功能层的环境条件。
9.根据权利要求8所述的元件转移系统，其特征在于，所述基底包括位于自身厚度方向上的第一面，以及连接于第一面边缘处的第二面，所述第二面相对所述第一面向远离所述吸附功能层的方向倾斜；
10.一种元件转移方法，应用于控制机构，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种元件转移系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的元件转移系统，其特征在于，所述转移机构包括运动载台，所述供体基板以及所述目标基板中的至少一者设置于所述运动载台上；
3.根据权利要求2所述的元件转移系统，其特征在于，所述运动载台具有空间平动自由度以及空间转动自由度，以调节所述供体基板以及所述目标基板中的至少一者与所述元件拾取机构之间的距离以及角度平面度关系。
4.根据权利要求1所述的元件转移系统，其特征在于，所述控制机构电连接于所述调平机构，所述控制机构被配置为接收所述调平机构传递的检测信息，并控制所述转移机构调节所述供体基板、所述目标基板以及所述元件拾取机构中至少两者之间的平面度关系。
5.根据权利要求1所述的元件转移系统，其特征在于，还包括感应机构，所述感应机构用于感应所述元件拾取机构相...
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