【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及全氟醚弹性体制备领域,具体涉及一种全氟醚弹性体组合物的制备方法。
技术介绍
1、在半导体制造过程中使用的许多有腐蚀性或可燃性化合物,经过复杂的加工过程,形成有毒有害的气体混合物,这些气体混合物在经过化学吸收等处理之前,需要在管道内保证密封,不能泄露。这就需要使用的密封材料不但机械性能优异、化学性质稳定,还需要具有较高的气体阻隔性能。
2、密封件泄漏主要有两种形式,一是界面泄漏:由于结构面粗糙变形、密封垫未压紧、螺栓变形造成的;二是渗透泄漏:由于密封材料疏松、致密性差而形成的。渗透泄露是需要解决的主要难题,尤其是当采用氦气作为示踪气体进行泄露检测时,对密封材料的致密性有更高的要求。由于组成高分子聚合物单元的多重性及蠕变性,高分子聚合物本身具有可渗透性。高分子材料的阻隔性能指的是高分子材料阻挡水蒸汽、氧气、二氧化碳、有机物分子等小分子物质穿透的能力。高分子材料的阻隔性能取决于渗透的小分子物质的种类、高分子聚合物的结构性能、高分子聚合物之间的相互作用以及温度和湿度等外界环境条件。如果高分子聚合物的分子链段和结晶结构排
...【技术保护点】
1.一种全氟醚弹性体组合物的制备方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种全氟醚弹性体组合物的制备方法,其特征在于,所述S1中表面活性剂为浓度为1wt%-2wt%的全氟硅烷水溶液。
3.根据权利要求2所述的一种全氟醚弹性体组合物的制备方法,其特征在于,所述S1中表面活性剂包括十七氟癸基三甲氧基硅烷或全氟癸基三乙氧基硅烷。
4.根据权利要求1所述的一种全氟醚弹性体组合物的制备方法,其特征在于,所述S1中表面疏水改性的氧化石墨烯和氟醚油的质量比为1.0:(1.0-2.0)。
5.根据权利要求1所述
...【技术特征摘要】
1.一种全氟醚弹性体组合物的制备方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种全氟醚弹性体组合物的制备方法,其特征在于,所述s1中表面活性剂为浓度为1wt%-2wt%的全氟硅烷水溶液。
3.根据权利要求2所述的一种全氟醚弹性体组合物的制备方法,其特征在于,所述s1中表面活性剂包括十七氟癸基三甲氧基硅烷或全氟癸基三乙氧基硅烷。
4.根据权利要求1所述的一种全氟醚弹性体组合物的制备方法,其特征在于,所述s1中表面疏水改性的氧化石墨烯和氟醚油的质量比为1.0:(1.0-2.0)。
5.根据权利要求1所述的一种全氟醚弹性体组合物的制备方法,其特征在于,所述s1和s5中氧化石墨烯的总添加量为所述s3中全氟醚弹性体共聚单体质量的5wt%-20wt%,且s1和s5中氧化石墨烯的质量比为1.0:(0.5-2.0)。
6.根据权利要求1所述的一种全氟醚弹性体组合物的制备方法,其特征在于,所述s1中氟醚油包括cf3cf2cf2o(cf(cf3)cf2o)ncf=cf2和cf3o(cf2o)mcf=cf2中的任意一种,其中,n为0-5,m为0-...
【专利技术属性】
技术研发人员:尚家庄,顾伟超,修国华,
申请(专利权)人:上海森桓新材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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