一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件制造技术

技术编号:39996484 阅读:6 留言:0更新日期:2024-01-09 02:49
本技术公开了一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,包括有安装架结构及设置于安装架结构上的两个固定组件,所述固定组件与安装架结构可拆式相连接,所述固定组件包括有底盘、液压缸一、放置结构、设置于放置结构顶部的卡紧结构及设置于放置结构内侧的紧固结构,所述底盘的顶部垂直连接液压缸一,位于所述液压缸一的输出端连接放置结构,所述放置结构包括有撑板,所述撑板的顶部等距设置有若干个斜架杆,若干个斜架杆的顶端共同连接有卡环盘,位于所述卡环盘的内部中心处设置有放置板。本技术整体固定较为稳定,自动化程度较高,便于进行加工生产。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体,具体为一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件


技术介绍

1、半导体元件全自动探针台通常使用探针卡来固定组件。探针卡是一个具有多个探针孔的工具,用于固定和连接半导体元件或芯片。这些探针孔与半导体元件上的引脚或测试点对应。在全自动探针台上,半导体元件被安装在探针卡上,并通过一系列机械运动和精密定位装置来确保准确的位置。探针卡通常具有微调功能,以便精确地对齐和接触元件上的引脚或测试点。一旦半导体元件被固定在探针卡上,探针卡会被放置在全自动探针台的探针头中。探针头包含了一组细小而灵活的探针,可以与半导体元件的引脚或测试点进行接触。这些探针负责传递电信号、进行测试或执行其他操作,如焊接或测量。通过使用探针卡固定半导体元件,全自动探针台能够实现高效、快速且精确的自动化测试和处理流程,提高生产效率和产品质量。

2、现有的探针卡固定组件,灵活性较差,无法进行全自动方式进行控制固定,不便于流水线式快速加工,影响生产效率,因此需要设计相应的技术方案解决存在的技术问题。


技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术不足,本技术提供了一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,解决了:现有的探针卡固定组件,灵活性较差,无法进行全自动方式进行控制固定,不便于流水线式快速加工,影响生产效率的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,包括有安装架结构及设置于安装架结构上的两个固定组件,所述固定组件与安装架结构可拆式相连接,所述固定组件包括有底盘、液压缸一、放置结构、设置于放置结构顶部的卡紧结构及设置于放置结构内侧的紧固结构,所述底盘的顶部垂直连接液压缸一,位于所述液压缸一的输出端连接放置结构,所述放置结构包括有撑板,所述撑板的顶部等距设置有若干个斜架杆,若干个斜架杆的顶端共同连接有卡环盘,位于所述卡环盘的内部中心处设置有放置板。

5、作为本技术的进一步优选方式,所述放置板呈圆盘状且内部开设有凹腔,位于所述放置板的底部连接有弹簧杆。

6、作为本技术的进一步优选方式,所述卡紧结构呈对称式分布,且设置有两个或四个,所述卡紧结构包括有两个楔块,两个楔块与卡环盘相连接,一侧的所述楔块的外壁上连接有舵机,且舵机的输出端连接有轴杆,所述轴杆上固定连接有导板,位于所述导板的外端连接有压块。

7、作为本技术的进一步优选方式,所述压块为半圆柱体状或半球状中的一种。

8、作为本技术的进一步优选方式,所述紧固结构包括有四个液压缸二,四个所述液压缸二等距设置于卡环盘的外壁上,且液压缸二的输出端连接有圆弧形的压板。

9、作为本技术的进一步优选方式,所述压板的内壁上等距设置有若干个凸齿。

10、作为本技术的进一步优选方式,所述安装架结构包括有导向框,所述导向框的两端对称连接有支架板,所述支架板的前后两端底部均连接有安装块。

11、作为本技术的进一步优选方式,位于所述导向框的中间位置处设有平衡板,所述平衡板的顶部设置有加固框,所述加固框的两侧对称设置有若干个条形槽。

12、(三)有益效果

13、本技术提供了一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件。具备以下有益效果:

14、本技术的探针卡固定组件,通过采用安装架结构将设备安装在传输加工设备上,并且安装架结构上安装有两个固定组件,固定组件采用底盘、液压缸一、放置结构、设置于放置结构顶部的卡紧结构及设置于放置结构内侧的紧固结构进行整体组合,底盘上的液压缸一可以调整放置结构进行上下升降,放置结构顶部的放置板可以对探针卡进行支撑放置,然后可以分别使用卡紧结构及设置于放置结构内侧的紧固结构对探针卡进行从顶部和侧面进行加固。

15、本技术的卡紧结构设置有多个且保持对称式分布,可以通过启动楔块上的舵机,通过电动带动轴杆上的导板和压块向内侧转动,并使用压块挤压探针卡,达到从上至下卡紧的效果,同时再卡环盘侧壁上的紧固结构,可以从内侧对探针卡进行加固,具体是启动液压缸二带动弧形的压板对探针卡的侧壁进行加固,整体固定较为稳定,自动化程度较高,便于进行加工生产。

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【技术保护点】

1.一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,包括有安装架结构及设置于安装架结构上的两个固定组件,其特征在于:所述固定组件与安装架结构可拆式相连接,所述固定组件包括有底盘(1)、液压缸一(2)、放置结构、设置于放置结构顶部的卡紧结构及设置于放置结构内侧的紧固结构,所述底盘(1)的顶部垂直连接液压缸一(2),位于所述液压缸一(2)的输出端连接放置结构,所述放置结构包括有撑板(3),所述撑板(3)的顶部等距设置有若干个斜架杆(4),若干个斜架杆(4)的顶端共同连接有卡环盘(5),位于所述卡环盘(5)的内部中心处设置有放置板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于:所述放置板(6)呈圆盘状且内部开设有凹腔,位于所述放置板(6)的底部连接有弹簧杆(7)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于:所述卡紧结构呈对称式分布,且设置有两个或四个,所述卡紧结构包括有两个楔块(8),两个楔块(8)与卡环盘(5)相连接,一侧的所述楔块(8)的外壁上连接有舵机(9),且舵机(9)的输出端连接有轴杆(10),所述轴杆(10)上固定连接有导板(11),位于所述导板(11)的外端连接有压块(12)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于:所述压块(12)为半圆柱体状或半球状中的一种。

5.根据权利要求4所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于:所述紧固结构包括有四个液压缸二(13),四个所述液压缸二(13)等距设置于卡环盘(5)的外壁上,且液压缸二(13)的输出端连接有圆弧形的压板(14)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于:所述压板(14)的内壁上等距设置有若干个凸齿(15)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于:所述安装架结构包括有导向框(16),所述导向框(16)的两端对称连接有支架板(17),所述支架板(17)的前后两端底部均连接有安装块(18)。

8.根据权利要求7所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于:位于所述导向框(16)的中间位置处设有平衡板(19),所述平衡板(19)的顶部设置有加固框(20),所述加固框(20)的两侧对称设置有若干个条形槽。

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【技术特征摘要】

1.一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,包括有安装架结构及设置于安装架结构上的两个固定组件,其特征在于:所述固定组件与安装架结构可拆式相连接,所述固定组件包括有底盘(1)、液压缸一(2)、放置结构、设置于放置结构顶部的卡紧结构及设置于放置结构内侧的紧固结构,所述底盘(1)的顶部垂直连接液压缸一(2),位于所述液压缸一(2)的输出端连接放置结构,所述放置结构包括有撑板(3),所述撑板(3)的顶部等距设置有若干个斜架杆(4),若干个斜架杆(4)的顶端共同连接有卡环盘(5),位于所述卡环盘(5)的内部中心处设置有放置板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于:所述放置板(6)呈圆盘状且内部开设有凹腔,位于所述放置板(6)的底部连接有弹簧杆(7)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于:所述卡紧结构呈对称式分布,且设置有两个或四个,所述卡紧结构包括有两个楔块(8),两个楔块(8)与卡环盘(5)相连接,一侧的所述楔块(8)的外壁上连接有舵机(9),且舵机(9)的输出端连接有轴杆(10),所述轴杆(10)上固定连接有导板(11),位...

【专利技术属性】
技术研发人员:宗渭钧华益星钱虎
申请(专利权)人:无锡钧源达电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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